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所在地区: | 广东 |
主营产品: | 电子化学品,高纯材料 |
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产品详情
收藏此产品产品名称:厂家销售电子级正硅酸四乙酯TEOS
- 型号规格:8N
- 产品品牌:leadmat
- 关 键 词: 电子级正硅酸四乙酯 正硅酸四乙酯 电子级TEOS
- 设备类型: 光伏生产原材料及辅料供应商 > 硅棒/硅锭生产用原材料 >其它原材料
- 产品单价:面议
- 供 应 商:暂无供应商
- 地 区:广东
- 更新时间:2021-12-10
手机: 13590328766 电 话:0755-82382356
产品说明
电子级正硅酸四乙酯TEOS
名称 |
正硅酸四乙酯(TEOS) |
化学式 |
C8H20O4Si |
相对分子量 |
208.33 |
CAS号 |
|
理化性质 |
无色透明液体,熔点- |
主要用途
主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积(CVD)制程,用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的电子化学品。
前驱体材料 Precursor Material
序号 |
中文名 |
化学式 |
CAS号 |
中文别名 |
英文名 |
1 |
三甲基铝 |
C3H9Al |
75-24-1 |
三甲基铝 |
Trimethylaluminium |
2 |
三甲基锑 |
Sb(CH3)3 |
|
三甲基锑 |
Trimethylantimony |
3 |
三乙基锑 |
C6H15Sb |
617-85-6 |
三乙基锑 |
Antimony triethide |
4 |
二叔丁基碲 |
PhTeMgBr |
83817-35-0 |
二叔丁基碲 |
Tert-butyl telluride |
5 |
二乙基碲 |
Te(C2H5)2 |
627-54-3 |
二乙基碲 |
Telluriumdiethyl |
6 |
二异丙基碲 |
C6H14Te |
51112-72-2 |
二异丙基碲 |
Diisopropyl telluride |
7 |
三(二甲氨基)镓 |
Ga(N(CH3)2)3 |
57731-40-5 |
三(二甲基酰氨基)镓(III) |
Tris(dimethylamido)gallium(III) |
8 |
三(二甲氨基)硅 |
C6H19N3Si |
15112-89-7 |
三(二甲胺基)硅烷 |
Tris(dimethylamino)silane |
9 |
三(二甲氨基)锑 |
C6H18N3Sb |
7289-92-1 |
三(二甲氨基)锑 |
Tris(dimethylamino)antimony |
10 |
四(二甲氨基)铪 |
C8H24HfN4 |
1 |
四(二乙氨基)铪 |
Tetrakis(diethylamion)hafnium |
11 |
四(甲乙胺基)铪 |
C12H32HfN4 |
35 |
四双(乙基甲基氨)铪(IV) |
Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium(IV) |
12 |
四(二甲氨基)锗 |
C8H24GaN4 |
7344-40-3 |
四(二甲氨基)锗 |
Germanium dimethylamide |
13 |
四(二甲氨基)锆 |
C8H24N4Zr |
1 |
四(二乙氨基)锆(Ⅳ) |
Tetrakis(diethylamion)zirconium( Ⅳ) |
14 |
四(甲乙胺基)锆 |
C12H32N4Zr |
17 |
四(乙基甲基氨基)锆(IV) |
Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium(iv) |
15 |
四(二甲氨基)锡 |
C8H24N4Sn |
1066-77-9 |
四(二甲氨基)锡 |
Tetrakis(dimethylamino)tin |
16 |
四(二甲氨基)钛 |
C8H24N4Ti |
3275-24-9 |
四(二甲氨基)钛 |
Titanium tetrakis(dimethylamide)/TDMAT |
17 |
四(甲乙胺基)钒 |
C12H32N4V |
791114-66-4 |
四(乙基甲基氨基)钒 |
Tetrakis(ethylmethylamino)vanadium |
18 |
五(乙氧基)钽 |
C10H30O5Ta |
6074-84-6 |
乙醇钽(V) |
Tantalum(5+) ethanolate |
|
19 |
五(二甲氨基)钽 |
C10H30N5Ta |
19824-59-0 |
五(二甲氨基)钽 |
Pentakis(dimethylamino)tantalum(V) |
|
|
|
|
|
二环茂二烯铁 ;双环戊二烯基铁 ; |
Ferrocene |
|
20 |
二茂铁 |
C10H10Fe |
102-54-5 |
环戊二茂铁 |
||
|
||||||
21 |
二茂锰 |
C10H10Mn |
73138-26-8 |
双(环戊二基)锰 |
Bis(cyclopentadienyl)manganese( Ⅱ) |
|
22 |
二茂镍 |
C10H10Ni |
1271-28-9 |
双(环戊二烯)镍 |
Bis(η5-2,4-cyclopentadien -1-yl)nickel |
|
23 |
二茂钌 |
C10H10Ru |
1287-13-4 |
双(环戊二烯)钌 |
Ruthenocene |
|
24 |
甲基二茂镁 |
C12H14Mg |
40672-08-0 |
双(甲基环戊二烯)镁 |
Bis(methylcyclopentadienyl)magnesium |
|
25 |
乙基二茂镁 |
C14H18Mg |
11 |
双(乙基环戊二烯)镁 |
Bis(ethylcyclopentadienyl)magnesium |
|
26 |
乙基二茂锰 |
C14H18Mn |
101923-26-6 |
二(乙基环戊二烯基 )锰(II) |
Bis(ethylcyclopentadienyl)manganese |
|
27 |
乙基二茂钌 |
C7H9RuC7H9 |
32992-96-4 |
双(乙基环戊二烯基 )钌(II) |
Bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium(II) |
|
28 |
三甲基甲基环戊二烯基铂 |
C9H |
94442-22-5 |
(三甲基)甲基环戊二烯合铂 (IV) |
(Trimethyl)methylcyclopentadienylplatinum (IV) |
|
29 |
(四甲基庚二酮)锂 |
C11H19LiO2 |
22441-13-0 |
(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)锂 |
(2,2,6,6-Tetramethyl-3,5-heptanedionato)lithium |
|
30 |
(四甲基庚二酮)银 |
C11H19AgO2 |
79827-25-1 |
2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸根银(I) |
2,2,6,6-Tetramethyl-3,5-heptanedionato silver (I) |
|
31 |
二(六氟戊二酮)铜 |
C10H2CuF12O4 |
14781-45-4 |
双(六氟乙酰丙酮)合铜(II) |
Copper(II) hexafluoro-2,4-pentanedionate |
|
32 |
三(乙酰丙酮)铱 |
C15H21IrO6 |
15635-87-7 |
三(乙酰丙酮根)合铱(III) |
Iridium(III) acetylacetonate |
|
33 |
三(四甲基庚二酮)镧 |
C33H57LaO6 |
14319-13-2 |
(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)镧 |
BIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATO)LEAD(II) |
|
34 |
二(四甲基庚二酮)铅 |
C22H38O4Pb |
21319-43-7 |
双(2,2,6,6,-四甲基-3,5-庚二酮酸)铅 |
BIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATO)LEAD(II) |
|
35 |
三(四甲基庚二酮)铋 |
C33H57BiO6 |
142617-53-6 |
三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酸)铋 |
BISMUTH TRIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATE) |
|
36 |
三(四甲基庚二酮)铒 |
C33H57ErO6 |
34750-80-6 |
三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)铒 |
ERBIUM TRIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL -3,5-HEPTANEDIONATE) |
|
37 |
三(四甲基庚二酮)钇 |
C33H57O6Y |
15632-39-0 |
三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钇 |
TRIS(2,2,6,6-TETRAMETHYL-3,5-HEPTANEDIONATO)YTTRIUM(III) |
|
38 |
环戊二烯铟 |
C5H |
34822-89-4 |
环戊二烯铟(I) |
Cyclopentadienylindium (I) |
|
39 |
四氯化锡 |
Cl4Sn |
7646-78-8 |
四氯化锡 |
Tin tetrachloride |
|
40 |
四异丙醇钛 |
C12H28O4Ti |
546-68-9 |
钛酸四异丙酯 |
Titanium tetraisopropanolate |
|
41 |
叔丁醇锂 |
C4H9LiO |
1907-33-1 |
叔丁醇锂 |
Lithium tert-butoxide |