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| 企业认证： |  已认证 |
| 所在地区： | 广东 |
| 主营产品： | 电子化学品，高纯材料 |
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联系方式
| 姓名： | 宋华 |
| QQ： | 1205008114  |
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产品名称：供应电子级三氯氧磷
- 型号规格：6N，7N
- 产品品牌：leadmat
- 关 键 词： 电子级三氯氧磷 三氯氧磷 高纯三氯氧磷
- 设备类型： 光伏生产原材料及辅料供应商 > 硅棒/硅锭生产用原材料 >其它原材料
- 产品单价：面议
- 供 应 商：暂无供应商
- 地 区：广东
- 更新时间：2021-12-10
手机： 13590328766 电 话：0755-82382356
产品说明
电子级三氯氧磷
一、分子式：POCl3
二、分子量：153.35
三、理化性质:
无色透明挥发性液体，具有强烈的刺激性气味。易水解于潮湿的空气中，生成磷酸和盐酸。熔点为
四、用途:
主要用于芯片的N型掺杂，是制作集成电路、太阳能电池、光纤预制棒、分离器件等的液态磷源，是芯片制程中必须的电子化学品，同时电子级三氯氧磷也是制作高纯磷酸酯的原料。
CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料
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Dielectrics PMD/IMD |
TEOS ,TEPO,TMPO,TEB,TMB |
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Low K Dielectrics |
4MS ,OMCATS |
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High K Dielectrics |
TAETO (Ta2O5 Precursor ) TEMAZ (ALD ZrO2 Precursor) TMA (Al2O3 Precursor) |
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Metal Gate and Interconnect Metal |
TDMAT (TiN Precursor ) TiCl4 ( Ti /TiN Precursor ) |
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Low-Temp Nitride/Oxide |
HCDS |
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Diffusion |
POCl3 |
供应半导体化学气相沉积材料，专业研发及制造各种先进CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料，TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEB Precursor，TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-K Material，TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。
