来源：山东省政府2024-01-24

支持钙钛矿太阳能电池材料（钙钛矿材料、透明导电氧化物镀膜玻璃、吸光材料等）、生产装备（激光设备、原子层沉积设备等）、电池组件等领域项目建设和技术突破，引导钙钛矿太阳能电池产业链各环节快速发展。

来源：四川省发展和改革委2024-01-15

四、项目设计、建设单位在落实节能报告各项措施基础上，应改进和加强以下节能工作：（一）鉴于磁控溅射沉积设备、化学气相沉积设备、化镍镀镍湿法设备、镀铜镀锡湿法设备、线性源多源蒸镀机、pvd蓝黄膜一体机、原子层沉积设备

来源：晟成光伏2023-10-17

晟成光伏空间型原子层沉积量产工艺及 装备开发项目基于空间式sald的技术，研究适合于钙钛矿电池电子传输层sno2膜层以及封装阻水层al2o3膜层的原子层沉积技术，结合晟成光伏的钙钛矿电池中试线的验证测试

来源：北极星太阳能光伏网2022-12-23

（二）基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目项目拟基于公司现有ald设备产线进行升级扩产，开发适用于半导体的ald设备，新增年产40套ald设备。...本次募集资金总额扣除发行费用后，拟全部用于公司主营业务相关的项目及主营业务发展所需资金，具体如下：（一）基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目项目拟基于公司现有ald设备产线进行升级扩产，开发适用于光伏

来源：南京大学2022-05-27

为了克服上述互连结构中的离子扩散难题，团队巧妙地采用原子层沉积（ald）制备致密的sno2电子传输层（ald-sno2），该ald-sno2层可完美地保形沉积于子电池间的互联区域，有效阻隔了互连结构中钙钛矿与金属间的直接接触

来源：通威集团2021-07-14

通威太阳能在原子层沉积背钝化、选择性发射极工艺、双面电池、多主栅、hjt电池、高效组件等核心技术领域形成了具有自主知识产权的多项技术成果。...通威在topcon技术方面也取得了重大突破，采用210尺寸pecvd隧穿氧化/多晶硅沉积设备和工艺，研发线平均电池效率达到24.10%，同时1gw topcon中试线也正在建设中。

来源：先导智能2021-04-22

此次无锡尚德与先导智能、江苏微导合作研制开发的高效topcon 光伏电池整线智能工厂采用了行业领先的基于工业互联网技术的数字化智能工厂解决方案、基于ald 原子层沉积镀膜技术、丝网印刷技术的 topcon

来源：北极星太阳能光伏网2020-10-20

据了解，背钝化膜的制备是perc电池最为核心的工艺步骤，主要分为以韩华为代表的原子层沉积（ald），和以梅耶博格为代表的板式（pecvd）沉积方式，隆基采用的是pecvd技术。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-09-30

据了解，背钝化膜的制备是perc电池最为核心的工艺步骤，主要分为以韩华为代表的原子层沉积（ald），和以梅耶博格为代表的板式（pecvd）沉积方式，隆基采用的是pecvd技术。

来源：科创板日报2020-08-06

2014年起，理想晶延开始布局高效光伏背钝化设备开发，采用国际先进的ald（原子层沉积）技术，自主研发了氧化铝背钝化ald设备。...公开资料显示，原子层沉积ald属于化学气相沉积的一种，其具备成膜均匀性好、薄膜密度高、台阶覆盖性好、低温沉积等优点。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-06-28

据了解，微导纳米以原子层沉积(atomiclayerdeposition，以下简称“ald”)技术为核心，致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案

来源：资本邦2020-06-23

公司以原子层沉积(atomiclayerdeposition，以下简称“ald”)技术为核心，致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案

来源：盖世汽车网2020-04-23

表面积大unist团队利用原子层沉积（ald）将氧化铝（al2o3）层涂在硅导电带上，使硅表面钝化。...据外媒报道，韩国蔚山国家科学技术研究院（unist）的研究人员研发了一款可伸缩无色太阳能电池，转换效率可达8%，经过数十次弯曲测试后，性能仍可保持在95%左右。

来源：国家税务总局2019-12-12

国家支持发展的重大技术装备和产品目录(2019年修订)》和《重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录(2019年修订)》，即附件一和附件二中的第十五章节，对光伏领域所需的进口化学气相沉积设备，低压扩散设备、原子层沉积设备等设备和所需的零部件

来源：光伏們2019-11-20

随后在3月14日，继在美国和德国，韩华新能源又以相同的原因，向澳大利亚联邦法院对晶科、隆基提起专利侵权诉讼，称专利权利要求不限于任何特定的制造方法，例如原子层沉积（ald）或等离子体增强化学沉积（pecvd

来源：光伏测试网2019-11-18

随后，梅耶伯格站队隆基:“韩华声称是基于使用原子层沉积（ald），与隆基使用的制造工艺不同；目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。”

来源：未来智库2019-07-25

下面介绍一下背面钝化工艺、背面开槽工艺的主流设备和技术:1)背面钝化设备:背面钝化设备是实现perc工艺的主设备，其技术方案主要有pecvd(等离子体增强化学气相沉积)、ald(原子层沉积)两种，其他技术方案如

来源：中国知识产权报2019-04-17

据了解，背钝化膜的制备，是perc电池最为核心的工艺步骤，产业化沉积薄膜的技术手段主要有以solaytec、韩华新能源等厂商为代表的原子层沉积（ald）方式，及以瑞士meyerburger为代表的板式（

来源：北极星太阳能光伏网2019-03-15

总部位于瑞士图恩的meyer burger认为，hanwha声称是基于使用原子层沉积（ald），与隆基使用的制造工艺不同。目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。

来源：亚化咨询2019-02-19

目前，用于perc电池量产的alox钝化膜沉积方法主要有原子层沉积法（ald）和等离子化学气相沉积法（pecvd）。...其中，根据设备形式的不同，pecvd沉积工艺设备包括板式pecvd和管式pecvd，ald沉积工艺设备也主要分为管式ald和板式ald，值得注意的是，在管式ald工艺下，还分为单插片与双插片的区别，即双面镀膜和单面镀膜的差异