来源：贺利氏可再生能源2020-05-14

hjt的降低成本路线 （1）hjt采用了与传统晶硅电池工艺设备不兼容的薄膜沉积的技术，设备一次投资高，带来成本的上升，通过推动hjt产业规模化发展，设备成本有望持续下降，接近与perc持平。...基于以上特点，hjt电池实验室转换效率达到25%，结合ibc技术的hbc电池突破26％，目前采用mbb多主栅、光注入退火，rpd等增效技术，量产平均效率在近期也可望突破24％，与传统perc和n-topcon

来源：未来智库2020-05-06

tco 薄 膜沉积目前有两种方法：rpd(反应等离子体沉积)和 pvd（物理化学 气象沉积）。住友重工拥有 rpd 的专利，而 pvd 技术发展成熟，提 供给设备的厂家较多。

来源：光伏测试网2020-02-24

rpd设备应用广泛，除应用于hjt电池产线外，还可应用于oled、钙钛矿电池等诸多领域。...其中，捷佳伟创应用hjt电池产线的rpd设备，是捷佳伟创获得住友重工（中国大陆地区）独家授权后进行研发制造的核心工艺设备，对于hjt电池转换效率的提升具有较大的贡献。

来源：广发证券2020-02-12

hjt 工艺所需的核心设备包括：（1）湿法设备；（2）非晶硅沉积所需的pecvd 设备；（3） tco 制膜设备的pvd（rpd）设备；（4）金属化设备。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-02-10

迈为股份则主攻hit中的丝网印刷与pecvd技术，清洗环节选择采购日本yac的成熟产品，tco膜沉积环节选择的是rpd设备采购德国的阿登纳的设备，以此来提供完整产线。...二者相比，捷佳伟创的野心更大，hit电池工艺技术中制绒清洗设备、rpd设备、丝网印刷线均自研成功，但还处于工艺验证阶段，而难度最大的pecvd样机预计也将于2020年一季度交于客户验证，如一切顺利，捷佳伟创将有能力提供完全国产化生产线

来源：招商证券机械团队2020-02-04

随着rpd设备国产化与产能放大化，再匹配国产蒸镀靶材后rpd将会显现出一定的优势，未来仍会存在pvd与rpd之争。...但是rpd缺点较为明显，第一：设备产能较低（百mw投资高）导致售价高 ,第二：rpd主要核心部件为住友把持，成本较高，第三：rpd的靶材受制于住友专利问题销售限制性较大，并且成本过于高昂。

来源：电新产业研究2020-01-07

tco沉积：使用pvd或者rpd设备沉积金属氧化物导电层tco，该工艺在平板显示领域应用较多，已经十分成熟，pvd和rpd目前还存在路线之争。...设备端清洗制绒、pvd/rpd、丝网印刷都已突破，唯一的难点在于pecvd，海内外众多企业都在集中攻关以提高pecvd的节拍、稳定性、均匀性，并降低设备价格，明年可能会有较大突破。

来源：中信建投2019-12-17

设备选型稳健，后续国产化空间大设备选型方面，爱康第一条线较为稳健，仍以海外设备为主，清洗制绒、pecvd 镀膜、丝网印刷、自动化均选用海外主流供应商，仅第三道镀透明导电膜选用捷佳国产的rpd 设备。

来源：电新产业研究2019-12-16

设备端清洗制绒、pvd/rpd、丝网印刷都已突破，唯一的难点在于pecvd，海内外众多企业都在集中攻关以提高pecvd的节拍、稳定性、均匀性，并降低设备价格，明年可能会有较大突破。

来源：摩尔光伏 中信证券2019-12-04

与perc工艺的区别在于：1）非晶硅薄膜沉积环节，使用pecvd或rpd沉积本征氢化非晶硅层和p型/n型氢化非晶硅层；2）镀膜环节使用pvd沉积tco导电膜；3）印刷电极方面需使用低温银浆；4）烧结过程需控制低温烧结

来源：PV兔子2019-10-18

tco薄膜沉积目前有两种方法：rpd(反应等离子体沉积)和pvd（物理化学气象沉积）。住友重工拥有rpd的专利，而pvd技术发展成熟，提供给设备的厂家较多。...兔子君认为在perc和hjt技术布局的设备企业最终将走出来，成为成长性的公司。

来源：上海证券2019-10-17

目前hjt电池设备以国外为主，国产企业加速布局，在其中最重要的pecvd、rpd和pvd设备，国内企业都已经有产品推出，并且在下游客户应用。...perc电池新建产能有望持续维持高位，国产化设备企业有望获得大量订单。hjt电池产业化加快，国产设备逐步布局，hjt电池将为设备提供翻倍以上的设备市场空间。

来源：光伏前沿2019-09-04

其中hjt电池工艺技术中超洁净hjt单晶制绒清洗设备研发、透光导电薄膜设备（rpd设备）研发、金属电极丝网印刷线研发已基本完成，进入工艺验证阶段，hjt整线生产设备国产化正在积极推进中；背钝化技术氧化铝镀膜设备研发已形成批量生产销售

来源：中信建投证券2019-07-24

与perc工艺的区别在于：1）非晶硅薄膜沉积环节，使用pecvd或rpd沉积本征氢化非晶硅层和p型/n型氢化非晶硅层；2）镀膜环节使用pvd沉积tco导电膜；3）印刷电极方面需使用低温银浆；4）烧结过程需控制低温烧结

来源：光伏前沿2019-07-22

但是rpd缺点较为明显，第一：设备产能较低（百mw投资高）导致售价高 ,第二：rpd主要核心部件为住友把持，成本较高，第三：rpd的靶材受制于住友专利问题销售限制性较大，并且成本过于高昂。

来源：中信建投2019-02-11

与perc工艺的区别在于：1）非晶硅薄膜沉积环节，使用pecvd或rpd沉积本征氢化非晶硅层和p型/n型氢化非晶硅层；2）镀膜环节使用 pvd沉积tco导电膜； 3）印刷电极方面需使用低温银浆；4）烧结过程需控制低温烧结

来源：一起光伏APP2018-09-04

日本三洋采取了rpd的技术。从材料的选择讲起来，可以选择其它金属的氧化物，日常长洲做的一个结构。多主栅技术和无主栅技术，无主栅技术。铜金属化，工艺相对复杂一点，面对环保的问题。...工艺设备，这里列出三种，国内的公司选用的设备供应商的情况，有国产的，也有进口的，当然现在以进口的为主。那么做得最早的还是松下，可以做到25.6，这是他们的组件，他们的产品还是小电子的，中国的还是大寸。

来源：能见2017-10-17

tco呢，我们是ppd和rpd都在用。在电极制备上，还是主要考虑丝网印刷的。这个也可以配合浆料改进应用。...在生产线的规划上，一个是全自动化的一个生产线，权限的spc的管控，用行业当中比较成熟的量产设备，主要是把生产线变成传统电池，能够24小时能够量产的生产线去跑。也考虑到国产化设备的潜力。