来源：晶盛机电2024-04-18

在电池环节开发了兼容bc和topcon工艺的管式pecvd、lpcvd、扩散、退火、单腔室多舟ald和舟干清洗等设备，通过创新的设计和工艺实现竞争的差异化。在组件环节强化了叠瓦组件的整线设备供应能力。...成功开发具有国际先进水平的8英寸单片式和双片式碳化硅外延生长设备，以及6-8英寸碳化硅衬底片和外延片的光学量测设备；同时公司基于产业链延伸，开发出了应用于8-12英寸晶圆及封装端的减薄设备、外延设备、lpcvd设备、ald

来源：北极星太阳能光伏网2024-03-18

根据合同约定，公司拟向该企业销售全自动ald钝化设 备及pe-poly设备，合同金额合计约5.2亿元（含税）。

来源：北极星太阳能光伏网2024-01-22

笑气站、硅烷站、食堂、倒班宿舍、门卫室等生产及公辅设施，租用建筑面积229335.85平方米；购置安装硼扩散、等离子体增强化学气相沉积设备（pecvd）、物理气相沉积设备（pvd）、板式原子层沉积设备（ald

来源：北极星太阳能光伏网2024-01-17

资料显示，ald设备配套公司自主研制的管式pecvd镀膜设备、pe-poly si设备、低压扩散设备等系列新产品，单双面镀膜工艺、热处理方式以及突出的设备产能，为高效topcon电池大规模产业化增添强劲动力

来源：北极星太阳能光伏网2024-01-12

第三，公司技术储备丰富，覆盖pvd、ald、蒸镀等多种技术路线，产品矩阵正在不断优化和完善中。

来源：晟成光伏2023-10-17

当前，ald设备国产化市场占有量仅为2%，在这一背景下，晟成光伏积极响应国家创新发展战略，致力于提高国内ald设备的研发水平和生产能力，以满足不断增长的市场需求。

来源：北极星太阳能光伏网2023-10-11

据悉，晶盛光子主营管式pecvd、lpcvd、硼扩和退火，以及单腔室多舟ald和舟干清洗等多种太阳电池工艺设备。

来源：北极星太阳能光伏网2023-09-07

，规划用地面积343829m2（约515.7亩），总建筑面积261755.48m2，包括电池厂房、仓库、废水处理站及配套附属设施，购置制绒清洗设备、石英舟清洗机、非晶硅设备、丝网印刷设备、磷扩散设备、ald

来源：北极星太阳能光伏网2023-08-03

项目主要生产工艺：制绒、硼扩散、碱抛、lpcvd、磷扩散、rca、ald、正背膜处理、丝网印刷、光注入、检测、包装入库等。公告显示，该项目在审批前进行了受理公示，无单位或个人反对本项目的建设。...主机台、ald自动化设备、pecvd主机台、pecvd自动化设备、pecvd镀舟机、丝网双轨机、退火双轨机、离线测试分选一体机、离线el测试机、成品热缩膜机、超声波清洗机、石英管-石英舟清洗机、石墨舟-

来源：北极星太阳能光伏网2023-06-25

合同标的为topcon电池设备，包括但不限于ald设备、peald设备、pecvd设备、管式扩散氧化退火炉等。设备交付时间为2023年7月10日开始到货，60天完成设备全部到货。

来源：北极星太阳能光伏网2023-06-14

topcon电池设备，包括但不限于ald设备、peald设备、pecvd设备、管式氧化退火炉、管式扩散炉等，设备交付时间为2023年6月30日，第一台设备进厂，后续按照双方约定陆续交付。

来源：宝馨科技2023-05-27

宝馨科技合资公司——西安宝馨光能科技有限公司与嘉兴科民电子设备技术有限公司、江苏迪塔镁克科技有限公司就钙钛矿/异质结叠层太阳电池设备采购举行签约仪式，签订了钙钛矿/异质结实验线用pvd、ald、涂布设备采购协议

来源：北极星太阳能光伏网2023-04-10

为了进一步延展嘉拓智能产品线，在协同公司材料设备需求的同时服务光伏领域客户，嘉拓智能通过控股子公司东莞嘉拓日晟智能科技有限公司发起设立无锡嘉拓，生产光伏电池片关键工艺设备，主要包括：离子注入机、管式pecvd、热丝cvd、ald

来源：北极星太阳能光伏网2023-01-19

根据合同约定，公司拟向彭山通威销售全自动ald钝化设备及pe-poly设备，合同金额总计人民币45,180.00万元整（含13%增值税），占公司2021年度经审计营业收入的105.58%。

来源：北极星太阳能光伏网2022-12-23

、柔性电子的ald设备，新增年产120台ald设备的生产能力。...（二）基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目项目拟基于公司现有ald设备产线进行升级扩产，开发适用于半导体的ald设备，新增年产40套ald设备。

来源：北极星太阳能光伏网2022-12-21

硕士在内的高科技人才，与诸多行业龙头、知名高校、工艺专家及科研院所等建立长期战略合作关系，主要提供高效硅基电池用清洗制绒设备、真空镀膜设备；钙钛矿电池组件、钙钛矿叠层电池制造整体解决方案；半导体领域pvd、ald

来源：北极星太阳能光伏网2022-07-18

主要投资内容包括土地、厂房建设、设备购置及安装投资、 基本预备费、铺底流动资金等，其中光伏电池片项目产品主要是ald设备，光 伏组件设备项目的产品主要为串焊机、叠焊机和排版机。

来源：南京大学2022-05-27

为了克服上述互连结构中的离子扩散难题，团队巧妙地采用原子层沉积（ald）制备致密的sno2电子传输层（ald-sno2），该ald-sno2层可完美地保形沉积于子电池间的互联区域，有效阻隔了互连结构中钙钛矿与金属间的直接接触

来源：先导智能2021-04-22

此次无锡尚德与先导智能、江苏微导合作研制开发的高效topcon 光伏电池整线智能工厂采用了行业领先的基于工业互联网技术的数字化智能工厂解决方案、基于ald 原子层沉积镀膜技术、丝网印刷技术的 topcon

来源：北极星太阳能光伏网2020-10-20

据了解，背钝化膜的制备是perc电池最为核心的工艺步骤，主要分为以韩华为代表的原子层沉积（ald），和以梅耶博格为代表的板式（pecvd）沉积方式，隆基采用的是pecvd技术。