来源：北极星太阳能光伏网2024-02-05

2023年3月2日，金辰股份发布公告称，向特定对象发行募集资金金额不超过 100,000万元（含100,000万元），扣除发行费用后的募集资金净额将高效电池片pvd设备产业化项目等。...而从应用环节来看，如异质结、topcon、钙钛矿等高效电池相关设备占比超6成，此外受2023年多晶硅、硅片企业扩产影响，对于多晶硅还原炉设备、切片机设备等需求高涨。

来源：北极星太阳能光伏网2024-01-17

（二）高效电池片pvd设备产业化项目本项目旨在进行高效电池片用pvd工艺设备研制并形成量产能力，相关设备是hjt电池片生产线的核心工艺设备之一，主要通过磁控溅射技术在非晶硅钝化异质结电池正背面沉积tco

来源：北极星太阳能光伏网2023-09-08

9月7日晚间，福建钜能电力官方微信公众号发布了一则5gw高效异质结太阳能电池生产pecvd、pvd设备采购公告。...根据公告，该笔采购包含5gw pecvd、pvd设备及匹配的自动化设备和辅助设备的制造、供货、包装、仓储、运输、吊装、拆箱、搬入、安装、调试、验收、验收后移交、技术服务、质保期保障及其他相关服务内容。

来源：北极星太阳能光伏网2023-08-08

、pecvd设备、pvd设备、丝网印刷机、固化炉、串焊机、层压机、空压机、冷水机组等。...该项目将建设年产7.2gw光伏电池片生产线和5gw光伏组件生产线，主要建构筑物包括电池片生产车间、组件生产车间、固废暂储存区、化学品仓库、硅烷站、特气站、氢气房、cda房、氮气站、废水处理站、综合楼等，主要设备包括制绒清洗机

来源：北极星太阳能光伏网2023-05-05

（二）高效电池片 pvd 设备产业化项目本项目旨在进行高效电池片用 pvd 工艺设备研制并形成量产能力，相关设 备是 hjt 电池片生产线的核心工艺设备之一，主要通过磁控溅射技术在非晶硅 钝化异质结电池正背面沉积

来源：北极星太阳能光伏网2023-03-27

最重要的是，双异质结hdt2.0技术的研发是在金石能源自主pecvd、pvd设备上进行，从hdt1.0技术升级到双异质结hdt2.0技术几乎没有障碍，而金石能源已推出大腔室单线1gw产能异质结电池产线，

来源：北极星太阳能光伏网2023-03-02

（二）高效电池片pvd设备产业化项目项目旨在进行高效电池片用pvd工艺设备研制并形成量产能力，相关设备是hjt电池片生产线的核心工艺设备之一，主要通过磁控溅射技术在非晶硅钝化异质结电池正背面沉积透明金属氧化物导电膜

来源：北极星太阳能光伏网2023-01-12

（二）高效电池片pvd设备产业化项目本项目旨在进行高效电池片用pvd工艺设备研制并形成量产能力，相关设备是hjt电池片生产线的核心工艺设备之一，主要通过磁控溅射技术在非晶硅钝化异质结电池正背面沉积透明金属氧化物导电膜

来源：理想万里晖2021-09-30

理想万里晖在异质结领域积极延伸产业链，布局整线战略，现已有系列pecvd设备、pvd设备、整线集成及交钥匙服务，目前已有异质结客户12家，通过验收客户9家。...理想万里晖始终致力于光伏异质结设备的国产替代和降本增效，助力光伏产业蓬勃发展。

来源：北极星太阳能光伏网2021-03-29

新购置制绒清洗设备、 pecvd 设备、pvd 设备、丝网印刷线机、划片串焊设备、叠焊机、 层压机等生产及辅助设备885 台/套，项目主导产品为n型高效太阳能电池组件。

来源：钧石能源2021-02-08

钧石能源自主研发的pvd设备经过多年的潜心研发与改进，钧石能源拥有自主知识产权的pecvd、pvd等核心生产设备技术，主要设备pecvd、pvd等兼容166mm、18xmm、210mm尺寸硅片，适应未来行业的发展要求

来源：集邦新能源网2021-01-12

对于 pvd 设备结合 ito 靶材的工艺，靶材密度大于 7.1g/cm3，靶材成本约为 2700 元/kg，电池片的靶材成本约 0.4~0.5 元/片。...tco 薄膜沉积环节主要存在 pvd 与 rpd 两种技术路线，pvd 技术以 ito/scot 作为靶材，rpd技术采用 iwo/ico 作为靶材。靶材

来源：摩尔光伏2020-09-08

0.6亿元的pvd设备订单...未来，随着相关国产设备的进一步研发及国内低成本材料供应商的逐渐加码，hjt技术的潜力将不断显现。

来源：苏大光伏校友会2020-09-03

此次订单也标志着国产设备节拍效率进一步大幅提升，同时实现了pvd设备的覆盖生产，超出了市场预期。...pvd设备订单（合计产能13500片/时），理想万里晖中标一套0.55亿元pecvd设备（产能4000片/时），苏州中辰昊科技中标一套0.19亿元丝网印刷线。

来源：东吴研究所2020-08-26

2. pvd设备积极布局，致力于提供hit光伏电池技术整线解决方案hit四大步骤对应的设备分别为清洗设备、cvd设备、pvd设备、丝网印刷设备。

来源：北极星太阳能光伏网(独家)2020-06-27

迈为在异质结的布局从丝网印刷设备拓展至薄膜沉积环节，并积极布局包括清洗设备、cvd设备、pvd设备、丝网印刷设备在内的hjt整线解决方案。

来源：光伏們2020-05-19

工艺流程简单 异质结电池的另一项优势在于工艺步骤相对简单，以梅耶博格所开发的整合沉积正反面非晶硅薄膜的 helia pecvd 及沉积电池正反面的透明氧化物导电薄膜（tco）的helia pvd 设备来说

来源：铑财2020-03-04

值得注意的是，北玻股份上述提到的pvd，是在hit电池制造工序中所用到的设备，通过该设备沉积金属氧化物导电层tco，这也是hit电池在制作电极前的最后一步。但pvd设备，并不是hit最大难题。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-02-10

主流上，hit产线共涉及四项设备：用于清洗制绒的rca、用于非晶硅薄膜沉积的pecvd、用于tco膜沉积的pvd、和用于电极金属化的丝网印刷，在这四条赛道上，中国的设备企业已经蓄势待发。

来源：招商证券机械团队2020-02-04

现阶段采用pvd方式成膜的企业较多，主要是pvd设备较为成熟，价格便宜，同时设备较为稳定，产能完全可以做到6000pcs以上，德国冯阿登纳公司今年已经推出产能8000pcs设备，主要采用直流磁控溅射工艺