来源：北极星太阳能光伏网2011-11-03

设备系统。...这次新闻发布会所展示的solarcell整厂整线生产设备，包括wis（外延片检查机）、texture（蚀刻机）、diffusion（磷扩散炉）、inoxside（化学晶边绝缘机）、pecvd（电浆辅助化学相沉积炉

来源：PV-Tech2011-10-26

电池生产系统包括硅片检测机、蚀刻机、磷扩散炉、电浆辅助化学气相沉积设备、双次丝网印刷设备、快速烧结炉、iv检测及分类机，以及texture至pecvd各主机衔接的装载、卸载设备。...近日，广运机电(苏州)有限公司(以下简称广运机电)宣布推出一套新设计的太阳能电池、组件整线生产系统。

来源：Solarbe2011-10-25

此次广运展示的光伏电池生产设备，包含硅片检查机、蚀刻机、磷扩散炉、化学晶边纪缘机、电浆辅助化学相沈积炉、网印机、快速烧结炉、iv检测及分类机以及texture至pecvd各主机衍接loader及unloader...设备系统。

来源：志趣网2011-09-29

先后对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进，取得了重大技术突破，扩散炉、pecvd

2011-09-28

目前，强生光电公司自行研发和制造pecvd等核心设备，生产成本仅为进口的20%；非晶硅薄膜电池产能、转换率、销售量均居中国非晶硅薄膜电池工厂前列，已在欧洲等地建有20多处光伏电站。...工程今年9月上旬竣工，26日通过国家金太阳示范工程专家组验收，是目前国内最大的薄膜电池光伏幕墙工程，也是全国光伏建筑一体化项目中唯一一座兆瓦级非晶硅薄膜光伏系统。

来源：新华日报2011-09-27

据介绍，目前，强生光电公司自行研发和制造pecvd等核心设备，生产线成本仅为进口的20%；非晶薄膜电池产能、转换率、销售量均居中国非晶薄膜电池工厂前列，是国内乃至全世界薄膜电池组件成本最低并能取得盈利的工厂之一...这是国内太阳能建筑一体化项目中唯一一座兆瓦级非晶硅薄膜光伏系统。

来源：沈阳众拓公司2011-09-26

沈阳众拓机器人设备有限公司开发的ztr-elzu-hdk快速移栽机器人主要用于对太阳能硅片及电池片上下料的应用，是目前世界上速度最快的四轴机器人之一，每小时高达4000片的拾取速度和高达2公斤的有效负载，被广泛应用于pecvd

来源：易恩孚2011-09-16

pecvd技术会场二：1)光伏产业投融资专场光伏电站投资机遇及风险分析2011年中国光伏产业投资机遇及热点晶硅电池与薄膜电池行业投资优势及亮点分析解析中国光伏产业发展相关规划、目标及优惠扶持政策2)光伏产业园区专场光伏产业园区的规划与建设光伏产业园区的功能介绍常州高新区锦州经济开发区

来源：新华社2011-09-16

十二五期间，我国应继续通过863、973等科研计划，支持多线切割机、pecvd镀膜设备、自动丝网印刷机等高端光伏电池生产设备和电子浆料、石英制品等基础材料的技术攻关。...2009年我国光伏发电系统造价为22-30元/瓦，组件销售价格14-18元/瓦；2010年光伏发电系统造价降到17-22元/瓦，组件销售价格降为12-15元/瓦；2011年，光伏发电系统造价为进一步降至

来源：新华网2011-09-07

十二五期间，我国应继续通过863、973等科研计划，支持多线切割机、pecvd镀膜设备、自动丝网印刷机等高端光伏电池生产设备和电子浆料、石英制品等基础材料的技术攻关。...2009年我国光伏发电系统造价为22-30元/瓦，组件销售价格14-18元/瓦；2010年光伏发电系统造价降到17-22元/瓦，组件销售价格降为12-15元/瓦；2011年，光伏发电系统造价为进一步降至

来源：普乐2011-09-02

近年来，普乐一直在做这方面的研发和生产，目前已经能在单室多片的平行模式pecvd系统中沉积出了均匀性很好的非晶硅锗薄膜了。...众所周知，以等离子体增强化学气相沉积（pecvd）法生长的非晶硅和微晶硅材料，一直是薄膜太阳能电池制备中很有前景的材料。

来源：《成都商报》2011-09-02

不怕温度高不怕光照低在成都也能广泛应用在整洁的车间里，成都商报记者参观了汉能控股集团薄膜太阳能电池生产线，这条生产线采用汉能自主研发的pecvd核心装备和工艺技术，已达到全球领先水平。...据南昌大学光伏学院院长周浪教授测算，在我国中等光照条件的地区，安装一个1兆瓦的太阳能光伏发电系统，年发电量约为120万千瓦时；而1兆瓦的晶硅电池，在生产过程中耗电300万千瓦时以上，也就是需要3年左右的时间

来源：中国能源报2011-08-31

近年来，普乐一直在做这方面的研发和生产，目前已经能在单室多片的平行模式pecvd系统中沉积出了均匀性很好的非晶硅锗薄膜了。...众所周知，以等离子体增强化学气相沉积（pecvd）法生长的非晶硅和微晶硅材料，一直是薄膜太阳能电池制备中很有前景的材料。

来源：21IC电子网2011-08-10

由于影响pecvd系统淀积效果的参数很多，如气体流量和流量比，工艺腔温度，射频功率，沉积气压等等，而且对不同的pecvd设备会有不同的最佳参数，我们有必要就主要的控制参数进行研究，摸索出在这台pecvd

来源：Solarbe2011-08-10

日前，singulus技术公司宣布研制了一种新的电感耦合等离子体（icp-pecvd）覆膜设备，该设备用于晶体硅太阳能光伏组件的生产，将在第26届德国汉堡的eu—pvsec上展出。...singulus指出，改进后的silex系统避免了使用挥发性溶剂包括异丙醇（ipa）。同时，该公司指出，这比传统的蚀刻系统成本更低，使蚀刻液的寿命延长了3倍并缩短蚀刻时间。

来源：中国电子报2011-07-14

、快速烧结炉)和进口设备并存但份额在逐步增大，3种(全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式pecvd)则完全依赖进口。...管式pecvd、快速烧结炉与国际先进水平有差距，但不大，已开始在大生产线使用，市场份额逐步扩大，性价比优势明显。

来源：南通强生光电科技有限公司2011-07-06

目前，我司整合的60mw生产线，全部投入不超过1亿元人民币，该线核心装备pecvd和真空溅射设备与美国著名真空制造企业合作生产，激光刻线机采用全球著名的德国企业高精度产品。...我们的目标：再用三年时间，使薄膜电池组件成本降至3.8元/w(含税)，折合美元usd0.5/w，市场销售价 4.50元/w，光伏系统造价降至8元/w以内，加上投资利息，用户侧发电成本为0.53元/kwh

来源：中国电子科技集团公司第四十八研究所副所长 伍三忠2011-06-15

先后对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进，取得了重大技术突破，扩散炉、pecvd

来源：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司副总裁 李本成2011-06-15

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：中国科学院上海微系统与信息技术研究所新能源技术中心 孟凡英2011-06-15

目前硅基薄膜太阳能电池，无论单结、双结还是三结电池，制造工艺都是采用等离子体增强的化学气相沉积(pecvd)方法，真空腔的清洗基本是氟化物(sf6或nf3)，排出物是含氟气体。...此外由于硅薄膜组件效率低(5%～7%)，在光伏系统应用中单位发电功率占地面积几乎是晶体硅组件(效率为13%～15%)的2倍，相应地，bos的成本也要增加，可见提高硅基薄膜组件的光电转换效率是赢得市场的重要条件