来源：江苏省地方税务局2013-06-09

密切跟踪光伏行业技术转型升级，对晶澳（扬州）太阳能科技有限公司三期800mw太阳能电池组件及配套项目和太阳能刻蚀工艺技改项目，实行专人负责，全程辅导，帮助企业规范财务核算和研究开发费用归集，让企业及时享受企业所得税等税收优惠政策

来源：Solarzoom2013-06-05

纳米结构的制备是通过等离子体刻蚀完成的，这可以极大地削弱光线的反射。此外，ald方式制备出恰当的钝化薄层可以使表面层的载流子复合减少。"

来源：Solarzoom2013-05-28

同时还需要更换清洗和刻蚀设备，这对于电池制造商又是一笔现金支出对于不同公司也各不相同。

来源：中国河北2013-04-27

经过多次试验，晶澳研究人员用化学溶液在平整膜面上刻蚀出绒面，增加光程，减少光的反射。经过湿法刻蚀工艺改造后，晶澳综合成本降低了2%。在使用方面，高光电转化率就可以在有限面积的屋顶上发出更多的电。

来源：世纪新能源网2013-04-22

ibc电池的工艺流程大致如下：清洗-制绒-扩散n+-丝印刻蚀光阻-刻蚀p扩散区-扩散p+-减反射镀膜-热氧化-丝印电极-烧结-激光烧结。

来源：PV-Tech2013-04-11

ae公司致力于研究和生产基于等离子状态下薄膜沉积和刻蚀工艺的开关电源，产品主要包括直流电源、直流脉冲电源、低频和中频电源以及射频电源。

来源：扬州网2013-04-03

这是我们公司新改造的太阳能刻蚀工艺技术应用。...宋锋兵介绍，整个晶硅电池生产线分为制绒、扩散、刻蚀、pecvd、丝网印刷等5个环节，原先的4个环节都处于全球一流水准，只有刻蚀这个环节仍然需要3台机器同时运转。

来源：北极星太阳能光伏网2012-12-25

其中单晶炉、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备、组件层压机、太阳模拟仪等已达到或接近国际先进水平，性价比优势十分明显。

来源：中国电子报2012-12-04

他们很快推出高温扩散炉和等离子体刻蚀机，并连续多年取得国内市场占有率80%的佳绩。在此基础上他们乘胜追击，开发成功太阳能电池制造7道主要工序的所有工艺设备，市场覆盖全国，并出口20个国家和地区。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-11-30

银浆烧制程序从550度融化玻璃料开始，熔融的玻璃料刻蚀arc薄膜，并继续到达sio2的表面，造成轻微腐蚀。此时，银纳米粒子跟釉料到达被轻微腐蚀的硅表面，银和硅的合金化也是发生在这一刻。

来源：北极星太阳能光伏网2012-11-21

清洗后可达到：无光刻胶和聚合物残留;刻蚀通孔侧壁无铜的残留物;与铜及电介质材料如fsg、sin等相容性;在铜表面形成保护钝化膜层;缺陷率满足65纳米技术带的要求(如颗粒指标、水印等)。...北京七星华创电子股份有限公司(以下简称七星电子)是国内知名电子专用设备供应商，是我国最早的半导体设备研制企业，是我国第一台半导体扩散炉、第一台等离子刻蚀机、第一台气体质量流量控制器研制企业，也是我国最早的半导体清洗设备研制企业

来源：PV-Tech2012-11-01

为制作黑硅材料，nrel首先在硅片表面制备银纳米颗粒，然后在通过湿法刻蚀制作特殊的多孔表面结构。通过控制溶液的配比，科学家可以调整纳米结构的形态。

来源：PV-Tech2012-11-01

为制作黑硅材料，nrel首先在硅片表面制备银纳米颗粒，然后在通过湿法刻蚀制作特殊的多孔表面结构。通过控制溶液的配比，科学家可以调整纳米结构的形态。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-09-06

目前行业出现的另外一种技术化学腐蚀去边与背面腐蚀抛光技术集刻蚀与去psg一体，背面绒面的抛光极大降低了入射光的透射损失、提高电池红光响应。...激光开槽隔离技术根据pn结深度而在硅片边缘开一物理隔离槽，但与国外情况相反，据国内使用情况来看电池效率反而不及等离子体刻蚀技术，因此该方法有待进一步研究。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-09-04

反应离子刻蚀技术(rie)是最有发展前景的技术，它首先在硅片表面形成一层mask(掩膜)再显影出表面织构模型，然后再利用反应离子刻蚀方法制备表面织构。...京瓷产业化17.2%~17.7%的多晶硅电池就是采用等离子刻蚀工艺的一个成功典范。(作者：和海一样的新能源)

来源：北极星太阳能光伏网2012-08-30

④ 扩散炉和刻蚀机采用从48所订制的半导体级产品，扩散后有特殊处理。

来源：北极星太阳能光伏网2012-08-27

多晶硅由于结构的各项同性而使采用碱腐蚀织构化效果不好，日本京瓷(kyocera)公司采用pecvd/sin+表面织构化采用反应性等离子刻蚀技术(rie)。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-27

多晶硅由于结构的各项同性而使采用碱腐蚀织构化效果不好，日本京瓷(kyocera)公司采用pecvd/sin+表面织构化采用反应性等离子刻蚀技术 (rie)。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-07-31

但同时由于：①存在soret效应，②hcl和sicl4在高温下对硅棒具有刻蚀作用，③高温导致反应气体不能到达硅棒表面，即化学气相沉积未在硅棒表面发生，而是在高温区的气相中就已经反应了，使得硅粉微粒被气相带出反应器

来源：工控网2012-07-02

我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、光伏组件的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机...我国光伏电池制造设备的技术水平首先，在湿法腐蚀、清洗设备、扩散方面，主要是自动制绒设备、自动清洗设备、全封闭扩散炉、刻蚀机、去psg设备等国内已经能够制造，已经达到世界先进水平，且性价比优势十分明显;国产