来源：PV-Tech2012-11-01

为制作黑硅材料，nrel首先在硅片表面制备银纳米颗粒，然后在通过湿法刻蚀制作特殊的多孔表面结构。通过控制溶液的配比，科学家可以调整纳米结构的形态。

来源：PV-Tech2012-11-01

为制作黑硅材料，nrel首先在硅片表面制备银纳米颗粒，然后在通过湿法刻蚀制作特殊的多孔表面结构。通过控制溶液的配比，科学家可以调整纳米结构的形态。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-09-06

目前行业出现的另外一种技术化学腐蚀去边与背面腐蚀抛光技术集刻蚀与去psg一体，背面绒面的抛光极大降低了入射光的透射损失、提高电池红光响应。...该方法工艺简单、易于实现inline自动化生产，不存在钻刻与刻蚀不均匀现象，工艺相对稳定，因此尽管配套设备昂贵但仍引起业内广泛关注。(作者：和海一样的新能源)

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-09-04

京瓷产业化17.2%~17.7%的多晶硅电池就是采用等离子刻蚀工艺的一个成功典范。(作者：和海一样的新能源)

来源：北极星太阳能光伏网2012-08-30

④ 扩散炉和刻蚀机采用从48所订制的半导体级产品，扩散后有特殊处理。

来源：北极星太阳能光伏网2012-08-27

多晶硅由于结构的各项同性而使采用碱腐蚀织构化效果不好，日本京瓷(kyocera)公司采用pecvd/sin+表面织构化采用反应性等离子刻蚀技术(rie)。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-27

多晶硅由于结构的各项同性而使采用碱腐蚀织构化效果不好，日本京瓷(kyocera)公司采用pecvd/sin+表面织构化采用反应性等离子刻蚀技术 (rie)。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-07-31

但同时由于：①存在soret效应，②hcl和sicl4在高温下对硅棒具有刻蚀作用，③高温导致反应气体不能到达硅棒表面，即化学气相沉积未在硅棒表面发生，而是在高温区的气相中就已经反应了，使得硅粉微粒被气相带出反应器

来源：工控网2012-07-02

我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、光伏组件的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机...我国光伏电池制造设备的技术水平首先，在湿法腐蚀、清洗设备、扩散方面，主要是自动制绒设备、自动清洗设备、全封闭扩散炉、刻蚀机、去psg设备等国内已经能够制造，已经达到世界先进水平，且性价比优势十分明显;国产

来源：solarzoom2012-06-11

此外，当气压过高时，氢等离子体的刻蚀变得更加活跃，使得sih2结构的基团增多，sih2基团的增多意味着有更多的晶界和微孔，它们都是类似于悬挂键的有效复合中心。因此少子寿命降低。

来源：中国电子报2012-05-29

近年来，先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、pecvd、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交钥匙系统方案...2001年，中国电科48所与无锡尚德太阳能科技股份有限公司合作开发太阳能光伏专用装备--刻蚀机与扩散炉，中国电科48所正式进军光伏领域，标志着我国太阳能电池专用装备进入了自主研发阶段;2006年，在国家高性能晶体硅太阳能电池生产成套技术研究项目的支持下

来源：北极星太阳能光伏2012-05-25

在太阳能电池的一般生产工艺中，经过扩散制结，等离子刻蚀去周边和pecvd制减反膜，下一工艺主要是形成良好的电极接触，而这正是通过丝网印刷和烧结两道工艺共同完成的。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-24

概述前面几章已经介绍了太阳电池生产线上的清洗制绒、扩散和刻蚀等设备结构及性能参数。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-23

本章首先对光伏刻蚀技术进行了简单的介绍，并在此基础上介绍了几类典型的刻蚀清洗设备的使用和维护。5.1刻蚀技术简介5.1.1刻蚀的原理在刻蚀工艺的前一步，对硅片进行了扩散，形成了p-n结。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-22

本次调查所指称的晶体硅太阳能光伏电池指使用硅片厚度大于20微米，使用任意工艺形成有p-n结，接受但不仅限于以下工艺处理：清洗、刻蚀、镀膜、金属化及其他导电技术。

来源：北极星太阳能光伏（独家）2012-05-14

目前，多晶硅绒面技术主要有机械刻槽、激光刻槽、等离子刻蚀（ｒｉｅ）和各向同性酸腐蚀。...等离子刻蚀制备出硅片表面陷光效果是非常好的，但它需要相对复杂的处理工序和昂贵的加工系统。在硅片表面织构的制作过程中，可能会引入机械应力和损伤，在后处理中形成缺陷。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-05-08

由于温度较高的情况下，溶液在制绒槽时会不稳定，所以一般不宜长时间超过10℃，当前补液能保证刻蚀速率不下降，那么无需调高刻蚀溶液的温度。

来源：Solarbe2012-05-04

激光刻蚀之薄也创下了纪录。这不仅增加了组件的活动范围，也显著提高了组件的工作效率。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-04-25

所以适当调节湿法刻蚀工艺，在保证刻蚀深度的情况下，尽量减小边缘刻蚀宽度，从而在一定程度上可以减少高漏电电池比例。...２.２．３湿法刻蚀工艺湿法刻蚀造成电池暗电流偏高的个重要原因是刻蚀边缘较大，ｐｎ结遭到破坏，导致镀膜印刷烧结后漏电。

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-24

而边缘发亮的黑片我们称之为非短路黑片，这种电池片大多产生于单面扩散工艺或是湿法刻蚀工艺，单面扩散放反导致在背面镀膜印刷，造成是pn结反，也就是我们通常所说的n型片，这种电池片会造成iv测试曲线呈现台阶，