来源:21世纪网2012-11-14
上述销售合同包含了420台pecvd设备及90台pvd设备,大概能支持3gw非晶硅薄膜电池的产能。...汉能购买铂阳的设备,而铂阳则购买汉能的研发中心和技术专利。2012年4月20日,铂阳宣布持股99%北京铂阳,以1.5亿人民
来源:北极星太阳能光伏网(独家)2012-11-07
从当前的市场状况可以看到,虽然在管式pecvd设备研制代孕上国产设备成绩喜人,但在该设备的高端领域平板pecvd设备开发方面,本土产品仍处于相对滞后的状态。
来源:中国太阳能光伏网2012-10-22
所以oerlikon早在20年前开发薄膜太阳技术及设备时,将其开发重点集中在pecvd设备超高频电源与反应器装置的开发。...据孙海燕博士介绍,非晶工艺和非晶微晶工艺的主要区别在于pecvd工艺,后者在镀膜的过程中需要40mh的超高频,以获得高沉积速率、高均匀性以及低损伤。
来源:北极星太阳能光伏网2012-05-24
图6.1pecvd的结构示意图6.2pecvd的工作原理和特点目前太阳能光伏市场上用的pecvd设备,国外的主要有德国centrotherm和日本岛津的镀膜设备;国内的主要有生产型管式pecvd,接下来就该管式
来源:北极星太阳能光伏网2012-04-19
二、实验方法本文针对的是管式pecvd设备的流量实验,在石墨舟的前后依次沿轴线放置7片抛光片,通过测量膜厚来鉴定膜的生长速度,通过不同的流量来分析流量对成膜性能的影响,对膜性能测试是在固定其它参数的情况获得的
来源:仪表网2012-03-27
在电池片制备中,国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选,这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距,最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白,希望有实力的设备生产企业尽快涉足,以解国内燃眉之急
来源:北极星太阳能光伏网2012-03-19
si500d等离子沉积系统是icp-pecvd设备,用于在基片上沉积 siox, sioxny或 siny薄膜。沉积薄膜的厚度、折射率、应力可以简单的、连续的调节。...sentech icp-pecvd设备的安装,由德国原厂技术支持工程师和东方集成工程师共同完成,由sentech和东方集成共同承担售后保修,具有标志性的历史意义。
来源:志趣网2011-09-29
总体上讲,目前我国光伏装备制造业处于国产化替代进口阶段,平板式pecvd、激光刻边机、湿法化学刻蚀机、链式扩散炉等少数设备还依赖进口。...先后对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进,取得了重大技术突破,扩散炉、pecvd
来源:普乐2011-09-02
针对于锗烷高昂的价格,单室多片的平行模式pecvd设备又是非常理想经济的产业化设备,在这种设备上沉积出优质的非晶硅锗薄膜是非常具有发展前景的。
来源:中国能源报2011-08-31
来源:21IC电子网2011-08-10
由于影响pecvd系统淀积效果的参数很多,如气体流量和流量比,工艺腔温度,射频功率,沉积气压等等,而且对不同的pecvd设备会有不同的最佳参数,我们有必要就主要的控制参数进行研究,摸索出在这台pecvd
来源:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司副总裁 李本成2011-06-17
来源:中国电子科技集团公司第四十八研究所副所长 伍三忠2011-06-15
先后对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进,取得了重大技术突破,扩散炉、pecvd
来源:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司副总裁 李本成2011-06-15
来源:中国电子报2011-04-21
通过技术升级,扩散炉、pecvd设备、清洗机、高温烧结炉等关键工艺装备的各项技术性能指标均达到国内领先、国际一流的水平。 第三,大生产有能力加快装备的研发进度。...近几年来,48所通过在大生产运行中积极探索先进工艺,对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进