来源：中国电力报2017-04-20

其中，比较成熟、大规模使用的镀膜方法主要是pecvd方法。目前，国内有些公司已经在尝试的pecvd镀膜方法是平板直接法、平板式离域法，但都未能达到较高的水平。...国内的管式直接法的pecvd镀膜方法可以做氧化硅，但很难制备三氧化铝。而使用氧化硅制备的perc电池的效率不如三氧化二铝高。他说。pert电池的工艺难点之一是硼离子掺杂这是一个世界性的难题。

来源：正泰集团2016-12-05

正泰研发的我国首台太阳能电池关键高端生产设备（pecvd）打破了西方长期垄断。过硬的品质给了正泰走出去的底气。...正泰集团：练好内功走向世界陆川：我这个中央的控制系统会去分析，判断如果会出现质量问题了，它会提前预警，那设备工程师提前去修正参数。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2016-06-30

进口串焊设备遭遇滑铁卢据悉，积累至今，我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，其中除3种设备(全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式pecvd)完全依赖进口外，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等已开始少量出口

来源：北极星太阳能光伏网2015-11-24

加快高效电池用平板式pecvd、离子注入机、刻蚀机、原子层沉积镀膜设备（ald）等关键工艺设备研发领域均有入围。...因其研究难度大、周期长，特别是在基础材料、关键工艺、核心元部件、系统集成等方面的关键共性技术，已成为制约我国产业健康持续发展和提升产业核心竞争力的瓶颈问题。

来源：EnergyTrend2015-09-21

：以现有设备搭配独特氧化铝浆料的方式呈现perc的效果，这都将让pecvd不再独霸一方。...展望明年，除了主流机台仍旧订单满载之外，无法顺利购得机台的厂商为了不失去竞争力也会再做更多尝试，届时除了用pecvd镀氧化铝之外，也会有厂商选用ald技术，或是不愿冒机台风险的厂商可能会重新评估采用长兴材料集团的方式

来源：PV-Tech2015-08-20

事实上，先进的perc电池技术已被证明实际上成为该行业大部分所选择的下一项电池技术，使得大部分现有设备得以使用，特别是pecvd和扩散炉，以满足电池效率提升。...领先的半导体设备供应商应用材料日前向记者证实，其将关闭其总部位于瑞士的精密切割系统(pws)线锯业务，并且停止其solion离子注入产品的开发。

来源：光伏标准及技术2015-07-30

目前，在中国微波法pecvd系统占据市场的主流，而管式pecvd系统也占据不少份额，而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法pecvd系统还没有进入中国市场。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2015-05-29

manz在湿法蚀刻的槽体里面提供pecvd上下料系统。接下来，在后端的丝网印刷环节，manz还会提供一次丝网印刷或者两次丝网印刷工艺技术的支持。...目前，manz也拥有了pecvd技术、激光开孔技术、还有背面抛光的湿法蚀刻技术，这些设备是目前manz在晶硅太阳能里面所提供的主要设备。

来源：北极星太阳能光伏网2015-04-21

而合作多年伙伴扩散炉管及pecvd领导设备商tempress，其n型高效电池及成熟p型高产能量产技术受到高度瞩目及肯定；一向以高精度及低银浆耗量特色著称的网印设备商整合集团资源以全新asm alternative...﹔此外，在分布式系统持续成长的趋势下，发电成本较低、发电量更高的高效产品愈受瞩目。

来源：PV-Tech2015-02-09

系统订单涵盖扩散、等离子体增强化学气相沉积(pecvd)和离子注入系统，预计将在未来三至九个月出货。...amtech指出，其中一个订单包括多个tempress pecvd系统，对于日本一家领先的太阳能电池和组件制造商。

来源：PV-Tech2015-01-14

此外，如果在ald电池工艺中，在sin封层上直接使用pecvd，则可采用集成退火工艺，其最终制成的电池性能要比pecvd氧化铝工艺好得多。...我们的目标是向太阳能产业表明，在晶硅太阳能电池的钝化工艺中使用空间ald解决方案，相较于pecvd氧化铝具有更高的潜力。

来源：pv-magazine2015-01-07

该套系统已被美国太阳能制造商missionsolarenergy部署在n型生产扩展中。amtech表示solaytecald工具将与tempresspecvd程序进行组合一并推出。

来源：pv-magazine2015-01-07

该套系统已被美国太阳能制造商mission solar energy部署在n型生产扩展中。amtech表示solaytecald工具将与tempresspecvd程序进行组合一并推出。

来源：光伏资讯2014-12-12

硅片切割后，进入电池片生产阶段，此时除了前期对于硅片的清洗制绒外需要各类酸碱和纯水辅料外，扩散还需要用到三氯氧磷气体，pecvd要用到硅烷气体，电极加工要用到银浆和铝浆，这些辅材的消耗量甚至不亚于主原料硅的价值...1.4光伏电站组件后的电站也包括不少东西，例如支架、汇流盒、电缆、逆变、追日系统、等，这些属于装备类，将在后面的设备链中细说。

来源：世纪新能源网2014-11-24

，他也说中国的装备制造其实也已经走到了世界前列，不知不觉，因为中国体量最大，吨位决定地位，就是60%制造业都在中国，这个装备不可能自己没有进步，也是现在过来了，过去我们只有层压机、模拟仪、扩散炉，现在pecvd...到9月4日，能源局公布了新的分布式光伏的政策，大型电站配额也都是，对某些省都放量，对某些国营企业，大的系统集成商也都给了单独的从能源局直接给的配额，这个就是说使得，我认为今年可能到四季度，可能有一个抢装潮

来源：实密国际贸易(上海）有限公司2014-07-16

实密国际贸易(上海）有限公司紧跟市场未来发展趋势，引入archers的pecvdhjt生产工艺关键设备，据悉此pecvd设备镀非晶硅层膜后的开路电压voc730mv,为客户开拓了宽广的制程窗口,加上客户自行印刷与模块封装等后制程

来源：北极星太阳能光伏网2014-05-22

此外，vcs 1200系统使得pecvd层可以实现单面沉积，而不会出现另一面也有边缘沉积的情况。manz的高性能pecvd工艺技术保障了最佳的加工再现性，以及业界最高的太阳能电池效率和均匀性。

来源：PV-Tech2014-05-09

amtech表示，第一季度光伏相关新订单为1360万美元，包括二月签订的对于其pecvd设备的生产订单。总订单储备达3100万美元，其太阳能部门储备总计达2050万美元。...此外，二月我们从一家全球技术领导者手中获得我们pecvd产品的第二个生产订单，表明其性能价值。我们的半导体或led业务继续增值，并且在2014财年前六个月较去年同期大幅改进，订单增长85%。

来源：PV-Tech2014-05-09

amtech表示，第一季度光伏相关新订单为1360万美元，包括二月签订的对于其pecvd设备的生产订单。...amtech表示，第一季度光伏相关新订单为1360万美元，包括二月签订的对于其pecvd设备的生产订单。总订单储备达3100万美元，其太阳能部门储备总计达2050万美元。

来源：湖南省政府门户网站2014-04-14

为了提升光伏装备的核心竞争力，48所组织科研团队奋起直追，先后成功研发了清洗机、pecvd、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，其中全自动太阳能电池测试分选设备填补了国内空白，并成功打破该设备关键技术长期由西方少数公司垄断的历史