来源：光伏前沿2019-09-04

先导智能于2009年进军光伏装备行业，光伏设备主要产品为自动化制绒/刻蚀清洗上/下料机、自动化扩散上/下料机、自动化管式pecvd上/下料机、电池片自动串焊机、组件自动流水线及光伏电池整线解决方案等。

来源：光伏测试网2019-08-30

4.针对皮带接触方面:刻蚀下料加装翻片器，减少硅片背面与皮带接触;定期检查硅片进盒位置、感应器位置，减少皮带与硅片摩擦;定期清洁、更好皮带，减少皮带硅粉、浆料沾污。...，此环节需要仪器schmid刻蚀机、schmid自动动化仪器;四是背钝化在硅片背面沉积三氧化二铝膜和氮化硅膜，此环节需仪器meyerburger的一体机式镀膜机、罗博特科自动化仪器;五是pecvd正面沉积氮化硅膜

来源：巨潮资讯网2019-08-28

据悉，捷佳伟创主营业务为pecvd设备、扩散炉制绒刻蚀清洗自动化配套设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要研发、制造和销售。

来源：证券市场红周刊2019-08-28

1、上游加工设备产业链及公司梳理：光伏上游设备产业链包括：晶硅炉、切割机、铸锭机、清洗设备、刻蚀设备和电池片设备等，涉及a股上市公司有晶盛机电、北方华创、精功科技、京运通、三超新材、东尼电子、捷佳伟创、

来源：光伏测试网2019-07-04

电池生产工艺:碱腐蚀去损伤层、制备电池表面陷光层→单面磷 (pocl3) 扩散形成pn结→湿法刻蚀周边结及清洗→电池上表面热氧化制氧化硅薄层→等离子增强化学气相沉积 (pecvd) 在电池上表面沉积sinx

来源：招商证券研究所2019-06-25

新建产能和改造产能比例约为 8：2，而新建产能设备投入约 3亿元\/gw，改造产能设备投入约 0.8亿元\/gw，则 2019\/2020年设备空间可达 102亿、 77亿，2019年对应制绒设备、扩散炉、刻蚀机

来源：摩尔光伏2019-06-24

可用其他开槽方式代替激光，如丝网印刷刻蚀膏，或材料打印机打印刻蚀液（氟化铵）等；二、硅片需经历氧化和扩散两次高温过程，高温损伤比常规片要大，对硅片质量要求较高，普通多晶硅可能满足不了要求；三、氧化层厚度和均匀性需要控制得较好

来源：长城证券2019-05-22

当前中国光伏电池制造设备企业已具备了成套工艺流程设备的供应能力，部分产品如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机等已在国内生产线中占据主导地位，但整体技术水平同国际一流厂商仍有差距，成套线自动化程度较低。...电池设备高速发展，年均市场空间达百亿从工艺上来看，perc电池片的制作流程主要包括以下环节:清洗制绒、扩散制结、单面刻蚀和边缘隔离、背面沉积氧化铝、双面沉积氮化硅、背面钝化激光开槽、丝网印刷、烧结、分选

来源：东吴证券2018-12-14

捷佳伟创：产品线广、协同性强的电池设备龙头除丝网印刷外，公司基本涵盖了电池片生产的主要设备，包括 pecvd设备(市占率 50%-60%)、扩散炉(市占率 50%)、制绒设备(市占率70%-80%)、刻蚀设备

来源：pvmagazine2018-11-12

实验本文所有的电池片生产工艺均在常规的晶体硅太阳电池生产线上进行：（1）在氢氧化钠、异丙醇、硅酸钠和制绒添加剂构成的碱性溶液中进行制绒，绒面金字塔大小在5μm以内；（2）扩散炉中高温磷扩散形成n型发射结，方阻在80ω／□左右；（3）等离子体刻蚀去边结后

来源：摩尔光伏2018-11-09

选取了其中的“黑丝”电池片（位错富集片，其表现为位错在晶体中成丝状或团状分布，该区域的少子寿命较低，导致其在el图像下呈“黑丝”状分布，同时由于该区域活化能较低易在酸刻蚀过程中留下黑丝状分布的深坑痕迹）

来源：正泰新能源2018-09-30

双面制绒双面电池采用氢氧化钾碱刻蚀双面制绒体系，背顿化双面电池小批量量跑，对比酸刻蚀，正面效率下降0.06%，背面效率提升1.08%，双面率达81.2%。

来源：全景网2018-08-21

目前，捷佳伟创系国内领先的晶体硅太阳能电池生产设备制造商，主营pecvd设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、自动化配套设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要设备的研发、制造和销售，为太阳能光伏电池生产企业提供高转换效率大产能整体解决方案

来源：OFweek太阳能光伏网2018-08-14

公司系国内领先的晶体硅太阳能电池生产设备制造商，主营pecvd设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、自动化配套设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要设备的研发、制造和销售。

来源：科华恒盛2018-05-14

芯片光刻操作室以微米单位为计的操作空间下，晶圆光刻时做掩膜除了操作环境，光刻机、刻蚀机对电能质量也有严苛要求。

来源：pv-magazine2018-03-27

新加坡国立大学这一湿化学法以纳米特征尺度刻蚀晶片表面，从而增加了光线反射表面的次数及被晶片材料吸收的机会。该工艺使用专利性化学品，具有低成本性和可扩展性，且极易被集成入电池生产线。

来源：PV兔子2018-02-27

同时在这一步工艺中，两面生长氧化层，正面掺杂的多晶硅对硅片起到吸杂(gettering)的效果去除正面氧化层，再使用光刻技术对背面氧化层开孔使用koh刻蚀，正面制绒，背面断开掺杂区域的衔接ald生长20nm

来源：摩尔光伏2018-01-04

到目前为止制绒添加剂技术、干法黑硅技术（反应离子刻蚀法reactiveionetching，rie）和湿法黑硅技术（金属催化化学腐蚀法metalcatalyzedchemicaletching，mcce

来源：摩尔光伏2017-12-08

除了依赖添加剂厂家开发更高效的金刚线制绒添加剂，优化扩散、刻蚀、pecvd及丝印等后道工艺也是提高金刚线添加剂制备的电池效率重要途径。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-29

因为先前的减反射膜已经形成正面的电性绝缘，所以银浆一般掺有含铅的硼酸玻璃粉（pbo-b2o3-sio glass frit），在高温烧结时玻璃粉硼酸成分与氮化硅反应并刻蚀穿透氮化硅薄膜，此时银可以渗入其下方并与硅形成此种局部区域性的电性接触