来源：湖南省政府2019-06-17

沙漠气候环境下，在建设期间，烧结炉、扩散炉等设备需要调试加热，实验室内中午温度高达40多摄氏度，中方技术人员顶着高温安装、调试设备，“上班期间，每个人至少要喝掉2瓶1.5升的矿泉水。”

来源：长城证券2019-05-22

当前中国光伏电池制造设备企业已具备了成套工艺流程设备的供应能力，部分产品如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机等已在国内生产线中占据主导地位，但整体技术水平同国际一流厂商仍有差距，成套线自动化程度较低。...电池设备高速发展，年均市场空间达百亿从工艺上来看，perc电池片的制作流程主要包括以下环节:清洗制绒、扩散制结、单面刻蚀和边缘隔离、背面沉积氧化铝、双面沉积氮化硅、背面钝化激光开槽、丝网印刷、烧结、分选

来源：摩尔光伏2019-04-24

据了解，硅片做大的主要制约因素在于电池的扩散炉，在硅片尽量做大而扩散炉直径有限的背景下，有一定倒角的单晶硅片应该比全方单晶硅片有一定优势。166mm带倒角是一个不错的选择。

来源：北极星太阳能光伏网2019-03-12

，硅片做大的主要制约因素在于电池的扩散炉，在硅片尽量做大而扩散炉直径有限的背景下，有一定倒角的单晶硅片应该比全方单晶硅片有一定优势。...扩散炉管截面 总之，硅片变大可以为光伏产业带来明显的价值，主要企业应借此次机会尽快统一一个能够相对稳定多年的尺寸规格，从而减少产线改造与组件认证费用上的重复投资，166mm单晶硅片现阶段看起来作为产线兼容的最大尺寸是相对不错的选择

来源：东吴证券2018-12-14

捷佳伟创：产品线广、协同性强的电池设备龙头除丝网印刷外，公司基本涵盖了电池片生产的主要设备，包括 pecvd设备(市占率 50%-60%)、扩散炉(市占率 50%)、制绒设备(市占率70%-80%)、刻蚀设备...perc 产线单 gw 设备投资额约 3.5-4 亿，丝网印刷、制膜(设备包括 pecvd 和 ald)、扩散环节设备投资占比分别达到 27%、24%、18%。

来源：pvmagazine2018-11-12

1、实验本文所有的电池片生产工艺均在常规的晶体硅太阳电池生产线上进行：（1）在氢氧化钠、异丙醇、硅酸钠和制绒添加剂构成的碱性溶液中进行制绒，绒面金字塔大小在5μm以内；（2）扩散炉中高温磷扩散形成n型发射结

来源：光伏领跑者创新论坛2018-11-02

1、晶硅太阳电池扩散工艺原理制备pn结是晶硅太阳电池生产中最基本、最关键的工序之一。工业生产中，制备pn结的专用设备为管式扩散炉。管式扩散炉主要由石英舟、废气室、炉体和气柜等部分构成。

来源：全景网2018-08-21

目前，捷佳伟创系国内领先的晶体硅太阳能电池生产设备制造商，主营pecvd设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、自动化配套设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要设备的研发、制造和销售，为太阳能光伏电池生产企业提供高转换效率大产能整体解决方案

来源：OFweek太阳能光伏网2018-08-14

公司系国内领先的晶体硅太阳能电池生产设备制造商，主营pecvd设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、自动化配套设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要设备的研发、制造和销售。

来源：摩尔光伏2018-05-28

实验使用tempress4管5恒温区扩散炉进行，实验1为将原扩散工艺的扩散时间缩短4min,实验2为将原扩散工艺的扩散温度降低12℃。

来源：国家发改委2017-12-25

目前，中国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、组件的生产，相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，到与光伏产业链相关的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、管式pecvd...、单晶炉、多晶铸锭炉、层压机、检测设备已经有不同程度的出口。

来源：无锡德鑫太阳能电力有限公司2017-12-06

（二）德鑫电力公司为高新技术企业，原为尚德电力的p4工厂，企业管理层和核心员工较为稳定，生产能力900mw／年，主要设备配置为清洗机20台、扩散炉20台、刻饰机20台、管式pecvd机4台、丝网印刷机20

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-27

晶体硅太阳能电池片主要是用硅半导体材料作为基体制成较大面积的平面pn结，即在规格大约为15 cm15 cm的p型硅片上经扩散炉扩散磷原子，扩散出一层很薄的经过重掺杂的n型层。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-22

另外由于在扩散过程中氧的通入，硅片表面会形成一层二氧化硅，在扩散炉高温的作用下pocl3与o2形成的p2o5，部分p原子进入si取代部分晶格上的si原子形成n型半导体，部分则留在了sio2中形成psg（

来源：摩尔光伏2017-11-14

即c－tex清洗制绒去除硅片表面的机械损伤层，并在其表面进行凹凸面处理，增加光的折射次数;扩散采用进口ct扩散炉，以液态pocl3作为扩散p源，采用背靠背扩散方式，在硅片表面形成pn结，即在晶体内部实现

来源：无锡德鑫太阳能电力有限公司2017-11-03

（二）德鑫电力公司为高新技术企业，原为尚德电力的p4工厂，企业管理层和核心员工较为稳定，生产能力900mw／年，主要设备配置为清洗机20台、扩散炉20台、刻饰机20台、管式pecvd机4台、丝网印刷机20

来源：无锡德鑫太阳能电力有限公司2017-09-05

业务（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）;（二）德鑫电力公司为高新技术企业，原为尚德电力的p4工厂，企业管理层和核心员工较为稳定，生产能力900mw／年，主要设备配置为清洗机20台、扩散炉

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2016-06-30

国内企业可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，2种(管式pecvd、快速烧结炉)与进口设备并存但份额逐步扩大

来源：北极星太阳能光伏网2016-06-21

光伏制造设备：组织多晶切割机、连续拉晶炉、大产能低压扩散炉、背面钝化设备、带二次印刷功能的双通道丝网印刷机等主要光伏电池制造设备攻关，提升光伏生产线自动化、智能化水平。

来源：北极星太阳能光伏网2015-11-24

及时跟进高效率砷化镓及有机薄膜电池技术产业化进程；光伏生产专用设备技术，包括支持还原、氢化等多晶硅生产设备、大容量高效率多晶铸锭炉和单晶炉、多线切割机、硅片测试分选设备、多晶在线制绒设备、减压扩散炉、全自动丝网印刷机等的研发与产业化