来源：电子工程世界2012-04-23

用化学气相沉积法(cvd)在这种衬底上沉积一层外延有源硅薄层。产业竞争力外延薄膜硅太阳能电池的生产工艺与传统的体硅太阳能电池非常相似。

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-23

烧结就是把印刷到硅片上的电极在高温下烧结成电池片,最终使电极和硅片本身形成欧姆接触,从而提高电池片的开路电压和填充因子2个关键因素参数,使电极的接触具有电阻特性,达到生产高转效率电池片的目的.烧结过程中有利于pecvd

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-19

对一般尺寸的cvd反应容器（直径430mm内）来说，在流速不高（约10cm/s）时，气体将处于黏滞流的层流状态。...这点与用lpcvd所形成的氮化硅膜是有差异的。随着工艺气体总流量的增加，吸光系数也缓慢增加，hf酸腐蚀的速度也缓慢提高，可见致密性在变差。

来源：solarF2012-04-13

cvd还原反应(将高纯度tcs还原为高纯度多晶硅)是改良西门子法多晶硅生产工艺中能耗最高和最关键的一个环节，cvd工艺的改良是多晶硅生产成本下降的一项重要驱动力。...通过cvd技术的改良、中间气体生产技术的进步和规模化效益的凸显，二次创新的改良西门子法已经成为目前技术最成熟、配套最完善、综合成本最低的多晶硅生产工艺。

来源：PV-Tech2012-04-10

参加这一项目的机构包括：洛桑联邦理工学院(epfl)捷克科学院物理研究所(fyziklnstavavr,v.v.i)斯洛文尼亚卢布尔雅那大学(univerzavljubljani)英国公司cvdtechnologies

来源：PV-Tech2012-04-10

参加这一项目的机构包括：洛桑联邦理工学院(epfl)捷克科学院物理研究所(fyziklnstavavr,v.v.i)斯洛文尼亚卢布尔雅那大学(univerzavljubljani)英国公司cvdtechnologies

来源：光伏制造2012-04-09

二pecvd技术的分类用来制备sinx膜的方法有很多种，包括：化学气相沉积法（cvd法）、等离子增强化学气相沉积（pecvd法）、低压化学气相沉积法（lpcvd法）。在目前产业上常用的是pecvd法。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-31

主要硅提纯工艺分别介绍1 改良西门子法闭环式三氯氢硅氢还原法改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢(或外购氯化氢)，氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行cvd

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-27

国内外多晶硅生产的主要工艺技术1、改良西门子法闭环式三氯氢硅氢还原法改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢，氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行cvd

来源：仪表网2012-03-27

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-19

si500d等离子沉积系统是icp-pecvd设备，用于在基片上沉积 siox, sioxny或 siny薄膜。沉积薄膜的厚度、折射率、应力可以简单的、连续的调节。...sentech icp-pecvd设备的安装，由德国原厂技术支持工程师和东方集成工程师共同完成，由sentech和东方集成共同承担售后保修，具有标志性的历史意义。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-15

我们研制的led外延片核心设备mocvd，目前已交付台湾用户试用，今年将实现批量化生产，彻底打破该设备受美国和德国企业绝对垄断的行业竞争格局。

来源：九江新闻网2012-03-15

超日公司于2010年在深交所上市，超日电池片生产工艺以及太阳能电池组件上已取得了多项技术突破，尤其是清洗工艺中的表面织构化技术、扩散工艺中的均匀发射极制备技术、等离子体边缘刻蚀最优化技术处于国内领先水平;pecvd

来源：solarzoom2012-03-14

与pecvd相比，hwcvd产生的等离子能量较低，能有效避免离子的轰击，同时可产生用于预处理硅片表面的低能原子氢，制备过程中的粉尘较少，不易使a-si：h薄层短路。...(2)非晶硅层的制备方法hit电池的非晶硅层通常用等离子增强化学气相沉积(pecvd)技术进行制备。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-12

这个组合将应用化学蒸汽分解(cvd)流程在ornl开发的金属箔片上培养薄层高质量硅。ampulse将设计一个全规模生产线，支持长卷金属箔片的使用，以确保此项技术的成本效益。

来源：PV-Tech2012-02-28

此外，今年金坛市还将支持华盛天龙mocvd研发成功后的产业化工作，并支持龙头企业建设一批企业研究院和实验室，重点是华盛天龙硅材料加工设备国家地方联合工程研究中心、江苏省(亿晶)光伏工程研究院的建设。

来源：北极星太阳能光伏网2012-02-27

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（pecvd）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能光伏电池片生产线设备和pecvd等薄膜太阳能光伏电池生产设备

来源：中商情报网2012-02-24

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积(pecvd)、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和pecvd等薄膜光伏电池生产设备。

来源：中国电子报2012-02-24

此外,全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式pecvd则完全依赖进口。组件生产用的层压机、太阳能模拟器等在行业获得广泛应用。...等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式pecvd

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-02-22

芦忠新：其实影响产品性能的，不只是pecvd，当然跟pvcpd设备肯定是有直接的关系。我个人认为目前薄膜电池最主要的是在理论上的突破。目前薄膜电池的发电率也在不断地攀升。