来源：太阳能杂志2020-11-20

但是由于perc 单晶硅太阳电池的背钝化层为绝缘层，无法与铝背场形成电极通路，因而，需要通过激光在硅片背面开槽，形成perc 单晶硅太阳电池的局部背表面场(local back surface field

来源：北极星太阳能光伏网2020-09-30

，perc+电池工艺技术钝化设备研发已进入工艺验证阶段。...释放公司perc+电池设备和hjt电池设备产能，加快产品升级迭代，实现公司发展战略目前，光伏行业正处在perc电池扩产高峰期，逐步向perc+、hjt拓展阶段，公司hjt电池生产设备国产化正在积极推进中，背钝化技术氧化铝镀膜设备研发已形成批量生产销售

来源：老成之见2020-08-17

在经过清洗制绒的n型硅片正面依次沉积厚度为5-10nm的本征a-si:h薄膜和p型掺杂a-si:h薄膜以形成p-n异质结，在硅片背面依次沉积厚度为5-10nm的本征a-si:h薄膜和n型掺杂a-si:h薄膜形成背表面场

来源：科创板日报2020-08-06

2014年起，理想晶延开始布局高效光伏背钝化设备开发，采用国际先进的ald（原子层沉积）技术，自主研发了氧化铝背钝化ald设备。

来源：贝哲斯咨询2020-07-30

光伏电池的发展主要经历了bsf电池（铝背场电池），perc电池（发射极钝化和背面接触电池）和n型电池三种技术发展路线，其中n型单晶的新型技术路线包括pert、hjt、ibc等路线。...一方面多达20步的步骤和高温工艺导致成本优化的空间相对小，另一方面其电池和组件产能必须配套导致其投资成本过大，产业化推进进程会较慢，反过来限制了规模效应带来的设备和耗材单价的下降速度。

来源：平安证券2020-06-28

预计2019年全球perc电池片设备市场规模达200亿元，其中背钝化设备、自动化设备、丝网印刷设备占比最高，分别为43亿元、43亿元、23亿元。

来源：中国光伏行业协会CPIA2020-06-22

电池片设备主要包括制绒、扩散炉、在线湿法刻蚀机、背钝化、pecvd、激光开槽、丝网印刷机以及测试分选设备。...组件端的设备主要有激光划片机、自动串焊机、自动叠层设备、层压机、自动el、功率测试设备、自动包装机及自动流水线，均可以选择国产设备方案。

来源：中国电力2020-06-10

我国部分高效电池生产设备及关键零部件仍依赖于进口，例如发射极及背表面钝化电池（perc）生产用背表面al2o3镀膜设备产能70%以上集中在欧洲和韩国企业，n型双面钝化电池（n-pert）高温硼扩散炉80%

来源：能见Eknower2020-06-02

从电池结构的角度，perc 电池与bsf的结构较为相似，但两者最大区别在于，perc 电池在背面进行了介质膜钝化，具备钝化叠层。呈现的结果是， perc 电...对传统常规铝背场电池（bsf）的“绞杀”也将进入尾声。在2019年新建光伏电池片产能中，perc占比达80%以上。

来源：光伏技术2020-05-26

2.其次在槽式设备中进行碱抛光，背面抛光使用tmah、抛光液以及水混合所配溶液对硅片背表面进行抛光，硅片背面及边缘被无机碱抛光，用于将背面以及边缘pn结通过刻蚀抛光去除。3....经过hf水溶液去除硅片正面的psg，抛光后背面平整度增加，对长波光的反射增加，促进了投射光的二次吸收，从而提升isc，同时由于背面比表面积减小，降低了背面复合，且能够提升背面钝化效果。

来源：摩尔光伏2020-05-19

sinx薄膜具有高反射率的特点，可以有效反射透射光；且sinx薄膜中富含h 离子，能够有效钝化背面多晶硅中的悬挂键，这样可有效减少背面的载流子复合，从而提高少子寿命，对voc和jsc的提升明显。

来源：民生证券2020-05-15

从电池结构的角度，perc 电池与常规铝背场电池的结构是较为相似的，但两 者最大的区别在于，perc 电池在背面进行了介质膜钝化，具备钝化叠层。...perc 全称为 passivated emitterand rear cell， 即钝化发射极及背局域接触电池，最早起源于上世纪八十年代。

来源：光伏测试网2020-05-09

背钝化层主要采用氧化铝作为背钝化材料（氧化硅、氮氧化硅也可作为背钝化材料），氧化铝由于电荷密度较高，可降低背表面少子的复合速率，钝化效果较好，同时为保证电池背面的光学性能，还会在氧化铝表面覆盖一层氮化硅膜作为保护层

来源：未来智库2020-05-06

三氧化二铝由于 具备较高的电荷密度，可以对 p 型表面提供良好的钝化；氮化硅主要作用是保护背部钝化膜，并保证电池背面的光学性能。...激光打孔工艺是利用一定脉冲宽度的激光去除部分覆盖在电池背面的钝化层和氮化硅覆盖层，以使丝网印刷的铝浆可以与电池背面的硅片形成有效接 触，从而使光生电流可以通过 al 背场导出。hjt 电池结构。

来源：摩尔光伏2020-04-29

图2 hjt电池工艺流程图hjt电池的制备工艺步骤简单，且工艺温度低，可避免高温工艺对硅片的损伤，并有效降低排放，但是工艺难度大，且产线与传统电池不兼容，设备资产投资较大。...同样，在背表面，由于能带弯曲阻挡了空穴向背面的移动，而电子可以隧穿后通过高掺杂的n+型非晶硅，构成电子传输层。

来源：光伏测试网2020-04-27

perc 技术通过将电池背表面介质膜钝化，采用局 域金属接触，实现背表面电子复合速度的降低以及提高光反射，从而提升发电效率。...其中，半片组件是设备、良率相对成熟、产量较高的技

来源：北极星太阳能光伏网2020-04-24

据悉，其中hjt电池生产设备国产化正在积极推进中；背钝化技术氧化铝镀膜设备研发已形成批量生产销售；topcon电池工艺技术钝化设备研发已进入工艺验证阶段；智能制造车间系统产品技术成熟，步入大规模产业化推广阶段

来源：摩尔光伏2020-04-23

（来源：微信公众号“摩尔光伏”id：molepv）在2019年摩尔光伏主办的“背钝化（perc）技术创新与突破论坛”上中科院电工所、中国科学院大学王文静老师作了《perc电池产业化回顾》的报告。

来源：华金证券2020-04-10

2006年perc电池背钝化材料alox的钝化性能引起学界重视，之后随着alox产业化技术和设备的成熟，加上激光技术的引入，perc技术开始逐步走向产业化。...（一）从perc电池的应用看新技术的导入以前太阳能电池效率大都通过改进电池正面获得，因此当正面带来的效率提升越来越难，研发人员将目光转向了电池背面的钝化。

来源：太阳能杂志2020-02-20

钝化层与硅接触部分形成正四面体结构，晶体中多了1 个氧的负电荷，可将p 型电池的少子( 电子) 反射回去减少复合，实现电池背面的有效钝化。...背抛光后硅片印刷氧化铝并烧结，使用wt-2000 设备测试少子寿命值在10 μs 左右；完成氧化铝及正、背面氮化硅镀膜后进行烧结，测试少子寿命，达到33 μs 以上，如图6 所示；这与采用ald 方式制备的黑硅