来源：中华人民共和国科学技术部2013-01-07

该项目引进国外先进的氢化炉硅粉给料系统及反应器，在泡罩改造改善四氯化硅低温氢化流化床气体分布结构上进行再创新，通过对流化床阻力降、催化剂添加量、氢气与四氯化硅的摩尔比等工艺条件上进行了优化，提高四氯化硅生产三氯氢硅的单程转化率达到

来源：生意社2012-12-27

1改良西门子法闭环式三氯氢硅氢还原法改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢(或外购氯化氢)，氯化氢和产业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行cvd反应生产高纯多晶硅

来源：世纪新能源网2012-12-24

与会专家通过鉴定认为：中电投新能源分公司承担的多晶硅生产四氯化硅循环利用产业化技术研究项目的创新点在于，能通过化学反应将多晶硅生产过程中产生的副产物四氯化硅转化成生产多晶硅的原料三氯氢硅，实现副产物的综合回收利用

来源：Photovoltaic Express2012-10-17

原因在于热氢法的反应温度高，需要1000 度以上的高温，而从硅到三氯氢硅一次转换效率只有15%，企业通常需要从外采购三氯氢硅，致使多晶硅生产成本较高，冷氢法反应温度仅需要300‐500 度，一次三氯氢硅合成效率达到

来源：《太阳能发电》杂志2012-09-07

大全新能源此前也宣布，计划在其万州多晶硅制造厂采用氢氯化反应新技术用于四氯化硅向三氯甲硅烷的转化，这项技术预计将会使万州制造厂三氯甲硅烷的年产能增加至22万mt。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-07-31

三氯氢硅反应温度较四氯化硅的略低，因此可以相应减少还原炉设备杂质挥发所引起的污染。另外沉积过程中，组份的输运还受soret热效应的影响。...另外反应(2)从右向左即是sicl4的热氢化工艺，即反应温度升高，不仅可以增加硅的收率，而且可以抑制三氯氢硅变成四氯化硅。温度升高，对硅的转化率有利，这是因为硅棒的生长主要是化学气相沉积。

来源：经济日报2012-07-10

还原过程中没有反应掉的三氯氢硅、氢气以及副产物的四氯化硅和氯化氢气体，采用干法回收系统进行成分分离，其中四氯化硅、三氯氢硅混合液送精馏提纯，得到高纯三氯氢硅送回还原生产多晶硅，四氯化硅送氯氢化合成系统转化为三氯氢硅

来源：新华网2012-07-06

循环经济系统将四氯化硅、氯化氢、氢气等系统反应过程和副产物全部回收利用，既彻底实现清洁生产，也确立了中能硅业多晶硅生产成本领先全球的行业地位。...这套自主研发并拥有自主知识产权的技术系统，通过在液态四氯化硅中加入硅粉和氢气，重新还原为多晶硅的生产原料三氯氢硅。一次转化率高达25-30%，总体转化率达99%。

来源：光伏制造2012-05-15

在生产过程的前期反应中，会产生大量四氯化硅(sicl4)、二氯二氢硅(sih2cl2)等副产物。...改良西门子法是以氯化氢(hcl)和冶金级工业硅为原料，制取三氯氢硅(sihcl3)，再利用三氯氢硅进行氢还原生产出多晶硅。

来源：《科技生活》周刊2012-04-20

但实际上，若通过氢化装置，能将四氯化硅加氢反应，生成三氯氢硅回到系统循环使用。另外，多晶硅生产过程中产生的氢气(易燃易爆)和氯化氢(强酸性气体)，都可以在系统中作为中间原料循环使用。

来源：solarF2012-04-13

2.改良西门子法生产多晶硅的工艺流程(改良西门子法工艺流程示意图)改良西门子法是一种化学方法，首先利用冶金硅(纯度要求在99.5%以上)与氯化氢(hcl)合成产生便于提纯的三氯氢硅气体(sihcl3，下文简称

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-31

以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料在流化床内(沸腾床)高温高压下生成三氯氢硅，将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应生成二氯二氢硅，继而生成硅烷气。

来源：中国联合商报2012-03-31

改良西门子法的原理是，以氯化氢(hcl)和冶金级工业硅为原料，制取三氯氢硅(sihcl3)，再利用三氯氢硅进行氢还原，生产出多晶硅。...对于副产物，现在国际上领先的硅料厂家瓦克化学(wacker)的处理方式是：四氯化硅一部分加氢形成tcs继续循环反应，一部分被用作有机硅等其他产品的生产。这基本上也是其他大厂的技术路线。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-31

一个完整的改良西门子法生产模式应当包含四氯化硅的闭路循环过程，反应过程中生成的四氯化硅可以通过氢化反应生成三氯氢硅重新循环回收。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-27

3、流化床法以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料在流化床内高温高压下生成三氯氢硅，将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应生成二氯二氢硅，继而生成硅烷气。

来源：中国行业研究网2012-02-27

目前，我国绝大多数多晶硅生产厂家采用的是改良西门子法，其生产流程实际上是一个化工过程，除原料要用到氯化氢、冶金级硅外，中间产品还有三氯氢硅、四氯化硅，另外在腐蚀清洗时还要用到硝酸、氢氟酸、硫酸等，此外在破碎

来源：Solarzoom2011-12-30

青海黄河上游水电开发有限责任公司采用低温氢化方法，将四氯化硅、氯化氢、氢气与硅粉在500℃下反应产生三氯氢硅，实现了工艺装置的循环闭路生产。

来源：中国化工报2011-12-08

新工艺首先将锂精矿湿磨到一定的细度，然后将经过加热搅洗的锂精矿加入碳化塔内用二氧化碳进行深度碳化，在一定压力的二氧化碳、反应温度和终点ph值下，微溶性的碳酸锂转变成可溶于水的碳酸氢锂。...该锂精矿含碳酸锂约50%～75%，同时还含有少量氯化物和硫酸盐，生产的产品是工业级碳酸锂和工业级单水氢氧化锂。而新开发的深度碳化法工艺主要目标是直接生产电池级碳酸锂。

来源：PVnews2011-11-15

生产多晶硅的过程是：硅砂先在电弧炉中与碳置换成98%的金属硅，跟着与氯气、氢气反应后生成三氯氢硅，再在氢气中还原沉积成多晶硅。...在这个过程中，如果回收工艺不成熟，三氯氢硅、四氯化硅、氯化氢、氯气等有害物质极有可能外溢，存在重大的安全和污染隐患。

来源：赛维LDK2011-11-01

该项目采用赛维ldk硅科技集团掌握的全球领先的ldk硅还原法生产工艺，包括四氯化硅冷氢化、三氯氢硅精馏、三氯氢硅还原、还原尾气回收等技术。...该工艺使未反应的物料在系统中实现闭路循环，技术成熟可靠，安全环保、产品质量优异。