来源：通威集团2021-11-02

誓师大会现场据了解，永祥新能源二期项目于2020年11月30日开始场平，严格按照标准打样施工，项目采用永祥自主研发的、拥有自主知识产权的“第六代永祥法”生产工艺，在冷氢化、热能梯级循环利用、氯氢元素闭路循环、尾气回收

来源：包头市土默特右旗人民政府2021-11-01

项目主要建设多晶硅生产装置（制氢、冷氢化、精馏、还原、整理、尾气回收、废气处理、区熔精馏等装置）、公用工程设施、辅助生产设施。

来源：云南省发改委2021-05-18

主要建设冷氢化车间、精馏车间、还原车间、整理车间、尾气回收车间、罐区、废气处理车间，以及变电站、循环水池、消防水池、通讯、照明等生产辅助设施。...主要建设冷氢化车间、精馏车间、还原车间、整理车间、尾气回收车间、罐区、废气处理车间，以及变电站、循环水池、消防水池、通讯、照明等生产辅助设施。

来源：北极星太阳能光伏网2021-04-15

对现有还原炉实施先进控制改造，提高沉积速率，增加还原炉进料量，提升进料效率；原冷氢化车间新建渣浆处理系统，对原有冷氢化装置流化床内构件及粗分塔出料形式进行改造，提升转化效率，提高产出并提升中间产品质量；尾气回收装置进行工艺参数和工艺流程改造

来源：集邦新能源网2021-01-22

改良西门子法是在西门子法的基础上引入尾气回收和四氯化硅氢化工艺，实现了生产过程的闭环循环。改良西门子法的主要优势为工艺最为成熟、安全性强、产品质量较高。...改良西门子法主要流程包括三氯氢硅的合成、三氯氢硅的精馏、多晶硅沉积和尾气利用。其中多晶硅在还原炉中的沉积是核心过程。

来源：中国光伏行业协会2020-03-03

综合电耗综合电耗是指工厂生产单位多晶硅产品所耗用的全部电力，包括合成、电解制氢、精馏、还原、尾气回收和氢化等环节的电力消耗。

来源：乐山市五通桥区人民政府2020-02-10

建设性质:新建;(4)建设地点:四川省乐山市五通桥区龙翔路999号;(5)总投资:350000万元;(6)项目概况:公司二期拟新建3.5万吨/年高纯晶硅项目,建设主要含还原厂房,精馏装置、冷氢化装置、尾气回收装置及相应配套装置和公用工程

来源：北极星太阳能光伏网2018-10-31

十余年来，永祥股份历经四次技改升级，在冷氢化、反歧化、大型节能精馏、高效还原、尾气回收、电器自动化控制技术、热能梯级综合利用技术、分析检测技术等方面实现具有自主知识产权的多项成果，处于行业先进水平。

来源：《证券日报》2016-08-04

其中，尾气回收过去一直采用烧碱中和工艺，不仅成本高，还容易产生水玻璃，造成系统堵塞。今年3月，该厂技术团队外出考察，发现有的厂家对尾气回收采用石灰乳中和办法，效果好，成本低。...他们回厂后立即对尾气回收工艺进行改造，充分利用闲置物资，仅用20来天就完成了改造，当月碱液消耗减少1000多吨，降低生产成本近百万元；自取水技改项目，每天可收集抽取雨水等自然水一千多吨，减少从水厂进水的一半用量

来源：中国电力新闻网2014-08-22

在朱黎辉看来，我国光伏生产线已具备世界先进水平，基本上所有生产线都能做到闭路循环、尾气回收，同时，能耗较低。

来源：索比太阳能光伏网2014-08-13

光伏电池的制备工艺复杂程度有别，晶体硅电池的产业链构成明显较长，要经历多晶硅制备流程、提纯流程、硅片切割和成品制成、尾气回收五阶段；从冶金级硅矿提炼出；太阳能级晶体硅，国际主流的生支术有西门子法、流化床法和冶金法

来源：中国化工报2013-05-03

石墨降膜吸收器是化工生产中尾气回收再利用的重要装备。...该产品具有抗压强度高、传热效果好、耐腐蚀性强等特点，尾气吸收率达到98%以上，比其他同类设备提高20%。

来源：Silink论坛2013-01-28

再将落后的技术以高价卖给中国，这时候的还原炉还依赖进口、尾气回收设备也需要进口，从而使建设多晶硅项目费用几乎达到历史最高点。

来源：中国电子报2012-08-28

3.还原尾气干法回收技术。成功研发了具有自主知识产权的多晶硅尾气回收系统，单条线处理能力达到30000nm3/h，能够满足年产500

来源：生意社2012-08-07

精馏系统中，7个精馏塔就位，已经完成一半;冷氢化部分诸如压缩机、流化床等主要设备已经到场，部分安装就位;还原炉部分到场，正在开始安装;尾气回收设备已到场，正在吊装。

来源：PV News2012-08-01

精馏系统中，7个精馏塔就位，已经完成一半;冷氢化部分诸如压缩机、流化床等主要设备已经到场，部分安装就位;还原炉部分到场，正在开始安装;尾气回收设备已到场，正在吊装。

来源：北极星太阳能光伏网2012-07-03

冷氢化可以看作是tcs合成、tcs尾气回收、tcs精馏、热氢化、氢化尾气回收和氢化精馏六个工序的结合体，而在09年以前这六个工序中除了热氢化中的氢化炉、电气系统和尾气回收中的氢压机、冷冻机需进口外，其他的设备基本都是国内设计生产

来源：北极星太阳能光伏网2012-07-02

3.1.1.3、冷氢化一次性投资成本低：这点也是无需置疑的，毕竟热氢化包含合成、尾气回收、精馏和热氢化四个工序，其设备要比冷氢化多很多。...另外，需要说明的一点是目前所说的热氢化的耗电量在3kwh/kg.tcs以上是基于热氢化工序而言的，如果将tcs合成、tcs尾气回收和tcs精馏三个工序也看作热氢化的一部分的话，那么热氢化的耗电量应在2.2kwh

来源：北极星太阳能光伏网2012-06-28

粗sihcl3经过洗涤塔除去固体杂质后再进入干法尾气回收系统，除去h2和hcl，之后再进入精馏系统，分离出sicl4，得到精制sihcl3。...此工艺主要包括制氢、液氯汽化、hcl合成、sihcl3合成、精馏提纯、还原、氢化、干法尾气回收、成品破碎包装、硅芯拉制、废气及残夜处理、公用工程等工序。

来源：环球企业家网站2012-05-14

整个化学法多晶硅的生产流程，分为精馏、还原、尾气回收、氯氢化四个工序。高达几十米的精馏塔在夜间的光亮会照射到整个工厂。晚上的时候，特别好看。中能一员工说。