来源：中化新网2013-06-09

通过循环利用，副产物四氯化硅可转化为生产多晶硅的原料三氯氢硅，单程转化率大于26％，实现了变废为宝。...针对这一问题，中电投黄河公司新能源分公司科研团队展开科研攻关，通过对氢化炉硅粉给料系统及流化床反应器进行优化改造，使系统达到了长期高效、连续、稳定运行，将四氯化硅转化成生产多晶硅的中间产品三氯氢硅，解决了四氯化硅大规模无害化处理的技术难题

来源：世纪新能源网2013-05-28

，将剧毒废气四氯化硅转化为多晶硅原料三氯氢硅，实现闭环生产，做到废气系统内消化;我国光伏产业很多关键设备、工艺上的关键技术、辅料等还需要从国外进口;从产业链发展而言，处于上游的硅原料，90%在国外，处于下游的系统集成商

来源：生意社2012-12-27

1改良西门子法闭环式三氯氢硅氢还原法改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢(或外购氯化氢)，氯化氢和产业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行cvd反应生产高纯多晶硅

来源：世纪新能源网2012-12-24

与会专家通过鉴定认为：中电投新能源分公司承担的多晶硅生产四氯化硅循环利用产业化技术研究项目的创新点在于，能通过化学反应将多晶硅生产过程中产生的副产物四氯化硅转化成生产多晶硅的原料三氯氢硅，实现副产物的综合回收利用

来源：OFweek太阳能光伏网2012-11-14

是一家开发、生产三氯氢硅、多晶硅、单晶硅、硅片及太阳能光伏电池组件的高科技民营企业。公司一期投资8.5亿元建成的多晶硅项目，已于2010年底顺利投产。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-10-24

精功新材料该项目的负责人介绍说：采用四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅、三氯氢硅歧化制备硅烷、硅烷流化床法制备多晶硅是业内公认的低成本多晶硅生产路线，是中国多晶硅行业的希望所在。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-10-11

而在提纯过程中，有一项三氯氢硅还原法(西门子法)的关键技术我国还没有掌握，由于没有这项技术，我国在提炼过程中70%以上的多晶硅都通过氯气排放了，不仅提炼成本高，而且环境污染非常严重。

来源：中国电子报2012-08-28

先进工艺成世界主流三氯氢硅氢还原法成为世界主流工艺，我国新增产能多采用此法。全球多晶硅产业化生产工艺有三氯氢硅氢还原法(或称改良西门子工艺)和硅烷法两种工艺，前者占世界总产能的90%。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-16

如多晶硅的原料是三氯氢硅，海外对三氯氢硅的平均转换率是14%，而我国是10%。美国科学家为制造新一代低成本高效太阳能电池研制出了分子模板可控制合成材料技术。

来源：北极星太阳能光伏网2012-07-27

2）精制塔收率不高，造成精制三氯氢硅成本增加3）未对重组分及轻组分杂质进行彻底分离，造成回收利用不彻底，使产品成本费用增加。...而作为光伏电池的主要原料多晶硅而言，近几年多晶硅的生产中，在技术创新，环保，节能降耗上取得了较大的进步，达到了世界同行业的先进水平，因此，推广使用新技术、新设备，加强自身的技术创新，区域资源优势与产业优势结合

来源：中国证券网2012-07-09

这套自主研发并拥有自主知识产权的技术系统，通过在液态四氯化硅中加入硅粉和氢气，重新还原为多晶硅的生产原料三氯氢硅，一次转化率高达25%至30%，总体转化率达99%。

来源：新华网2012-07-06

这套自主研发并拥有自主知识产权的技术系统，通过在液态四氯化硅中加入硅粉和氢气，重新还原为多晶硅的生产原料三氯氢硅。一次转化率高达25-30%，总体转化率达99%。

来源：北极星太阳能光伏网2012-07-05

其整合了三氯氢硅合成和冷氢化两者的特点，可看作是传统冷氢化工艺的衍生和优化，将回首hcl得到充分的利用。...他们希望通过国家对太阳能级多晶硅的支持来提升其电子级多晶硅的名气，因为当时工厂还不能够生产电阻率如此高的电子级多晶硅。

来源：北极星太阳能光伏网2012-06-07

与改良西门子法相比，新硅烷法在生产过程中不涉及三氯氢硅的应用，副产品硫酸盐也属于易处理的化工原料，因此具有耗能少、污染小的优点。...自建的硅料厂六九硅业，于2010年8月正式投产，设计年产能为3,000吨。凭借现代化的生产设备和高效、环保的生产工艺---新硅烷法，六九硅业能够生产高品质的太阳能级和电子级多晶硅。

来源：光伏制造2012-05-15

目前，全球80%以上的多晶硅都是用改良西门子法生产。改良西门子法是以氯化氢(hcl)和冶金级工业硅为原料，制取三氯氢硅(sihcl3)，再利用三氯氢硅进行氢还原生产出多晶硅。

来源：《科技生活》周刊2012-04-20

但实际上，若通过氢化装置，能将四氯化硅加氢反应，生成三氯氢硅回到系统循环使用。另外，多晶硅生产过程中产生的氢气(易燃易爆)和氯化氢(强酸性气体)，都可以在系统中作为中间原料循环使用。

来源：solarF2012-04-13

1955年，德国西门子开发出以氢气(h2)还原高纯度三氯氢硅(sihcl3)，在加热到1100℃左右的硅芯(也称硅棒)上沉积多晶硅的生产工艺;1957年，这种多晶硅生产工艺开始应用于工业化生产，被外界称为西门子法

来源：上海有色网2012-03-31

据了解，部分多晶硅、三氯氢硅厂由于成本和资金压力人员开始松动，企业裁员，甚至有负责人离职现象。进入4月后，有部分多晶硅厂要进行检修，上海有色网(smm)预计由于需求下降，三氯氢硅价格将走低。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-31

以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料在流化床内(沸腾床)高温高压下生成三氯氢硅，将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应生成二氯二氢硅，继而生成硅烷气。

来源：中国联合商报2012-03-31

改良西门子法的原理是，以氯化氢(hcl)和冶金级工业硅为原料，制取三氯氢硅(sihcl3)，再利用三氯氢硅进行氢还原，生产出多晶硅。