来源：光伏测试网2019-11-18

随后，梅耶伯格站队隆基:“韩华声称是基于使用原子层沉积（ald），与隆基使用的制造工艺不同；目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。”

来源：中国知识产权报2019-04-17

据了解，背钝化膜的制备，是perc电池最为核心的工艺步骤，产业化沉积薄膜的技术手段主要有以solaytec、韩华新能源等厂商为代表的原子层沉积（ald）方式，及以瑞士meyerburger为代表的板式（

来源：北极星太阳能光伏网2019-03-15

总部位于瑞士图恩的meyer burger认为，hanwha声称是基于使用原子层沉积（ald），与隆基使用的制造工艺不同。目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。

来源：亚化咨询2019-02-19

目前，用于perc电池量产的alox钝化膜沉积方法主要有原子层沉积法（ald）和等离子化学气相沉积法（pecvd）。...其中，根据设备形式的不同，pecvd沉积工艺设备包括板式pecvd和管式pecvd，ald沉积工艺设备也主要分为管式ald和板式ald，值得注意的是，在管式ald工艺下，还分为单插片与双插片的区别，即双面镀膜和单面镀膜的差异

来源：东方日升2019-01-16

2018年，公司成为全球首家双面原子层沉积(ald)-alox钝化perc电池量产实现gw规模的企业，电池平均效率突破22.2%，产线最高效率达22.51%。...此次，东方日升技术研发团队，通过先进电池钝化技术和高效组件封装技术的联合优化，成功研发出超高光利用率及超低电损耗的行业第二代半片技术，一举创下perc组件效率新的世界记录。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2018-07-27

项目总投资约50亿元，分两期建设，一期为基于原子层沉积(ald)技术的半导体装备，新能源汽车氢燃料电池装备的研发及产业化;二期为氢燃料电池汽车配套设施的研发及产业化项目，切入制氢、储氢等细分领域。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2018-05-28

江苏微导纳米装备股份有限公司首席技术官黎微明博士介绍了全球首发的kf6500原子层沉积（ald）钝化设备。...江苏微导全球首发的kf6500原子层沉积（ald）钝化设备是微导在自身技术基础上的全新突破，用于perc电池生产产能达6000片/小时以上，并可进一步突破到9000片/小时，同时其兼容性更强，安全性更好

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-11-03

其最核心的ald原子层沉积工艺可以在薄膜厚度低至2纳米时依旧对电池表面提供良好的钝化，这是其它技术从原理上就无法达到的条件，在核心技术上达到了国际第一梯队的领先水平。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-10-19

-管式原子层沉积镀膜系统高质量超薄aldai203钝化膜全自动、高产能、高稳定性超低反应源耗量提升perc电池光电转换效率近1%最低的设备运营成本和综合成本后羿系列-板式化学气相沉积/原子层沉积镀膜系统板式空间

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-08-30

微导自主知识产权的原子层沉积技术颠覆了沉积速度慢的传统观念，实现了太阳能晶硅电池的大批量生产。...同时，在原子层沉积技术上将携手新南威尔士大学一起开发选择性接触（carrierivecontact）材料用于新一代的电池技术。

来源：中国光伏专委会2017-07-28

理想能源开发出原子层沉积（ald）法的alox膜沉积设备，采用托盘方式传输电池硅片，与其他供应商采用的硅片直接传输方式相比，可以将碎片率降到最低；同时最大程度减少由于碎片造成的停机时间。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-02-27

原子层沉积（atomiclayer deposition，ald）技术是在纳米技术领域及其它多个重要产业领域中的一项具有前瞻与共性的新兴关键技术。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2016-12-23

同时，无锡先导投资发展有限公司正在与新吴区旺庄街道洽谈基于原子层沉积技术的ald微纳器件制造项目及云计算数据中心项目。该项目拟用地面积200亩，总投资25亿元，计划分两期建设。

来源：北极星太阳能光伏网2016-05-24

与此同时，采用背钝化perc＋技术与原子层沉积技术的高效背钝化单晶组件（gold）新品则可有效减少电池及组件的lid光衰问题的发生，其转化平均效率可达到21%；在光衰减方面，相比常规单晶和常规perc，

来源：北极星太阳能光伏网2015-11-24

加快高效电池用平板式pecvd、离子注入机、刻蚀机、原子层沉积镀膜设备（ald）等关键工艺设备研发领域均有入围。...备受太阳能光伏市场关注的高纯多晶硅生产技术，包括高效节能的大型提纯、高效氢气回收净化、高效化学气相沉积、多晶硅副产物综合利用等装置及工艺技术、硅烷流化床法多晶硅生产工艺；22%以上的高效电池生产技术，包括重点背场钝化

来源：日经BP社2015-05-22

此次能大幅提高转换效率的原因是，在单元表面形成防复合膜时，采用原子层沉积（atomic layer deposition：ald）法形成了氧化铝（al2o3）层，并优化了该层的厚度等，从而大幅减少了载流子复合

来源：PV-Tech2015-01-14

近期被amtech系统公司收购的光伏设备企业solaytec表示，其与韩华q cells就公司ald(原子层沉积)系统的合作日前进入了评估测试阶段。...韩华solarone对韩华q cells的收购正在进行当中，但预计韩华q cells在整个集团中将继续保持其先进技术驱动地位。

来源：pv-magazine2015-01-07

这一收购行动将solaytec的原子层沉积(ald)技术带进了amtech集团。solaytec的这套技术可用于p型perc和n型电池生产的升级。

来源：pv-magazine2015-01-07

这一收购行动将solaytec的原子层沉积(ald)技术带进了amtech集团。solaytec的这套技术可用于p型perc和n型电池生产的升级。

来源：元器件交易网2014-12-17

kramer将新开发的制程技术叫做sprayld，因为是采用原子层沉积(ald)设备；他表示，团队已经在平面玻璃基板、软性塑胶基板以及半球形玻璃基板上尝试过喷涂技术，而且利用以上三种基板都成功产出了具功能的元件