来源：pv-magazine2019-03-13

隆基表示，有争议的专利与ald技术有关，隆基采用的是pecvd技术。相关链接：韩华起诉晶科、隆基和rec侵犯其专利权，最新回应来了!

来源：e公司2019-03-12

隆基股份表示，从技术上看，目前公司产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，事涉专利采用的是ald技术，而公司采用的是pecvd技术；另据媒体信息初步分析，韩华诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2019-03-08

目前，晶科能源和隆基股份都采用pecvd来做氧化铝钝化薄膜。某一线光伏企业高管表示，按照韩华新能源的起诉逻辑，pecvd属于a

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2019-03-07

从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术。

来源：隆基股份2019-03-06

从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致（专利采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术）。仅根据现有媒体信息分析显示，目前相关诉讼对隆基的生产、经营不会造成实质性影响。

来源：电子世界2019-02-26

2.表面钝化介质薄膜研究2.1sinx薄膜钝化研究sinx薄膜的制备方法有多种，从工艺效果和工业化生产来考虑，目前应用于太阳能电池生产的制备方法主要是等离子增强化学气相沉积（pecvd）法，pecvd方法的过程是在较低气压下

来源：晋锐能源2019-02-20

国内企业中最受瞩目的便是钧石能源，公司拥有自主研发的hdt高效异质结太阳能电池技术，产品的转换效率居行业前列，更重要的是，钧石能源pvd、pecvd等核心设备均为自主研发并拥有自主知识产权，使项目投资成本大大缩减

来源：亚化咨询2019-02-19

其中，根据设备形式的不同，pecvd沉积工艺设备包括板式pecvd和管式pecvd，ald沉积工艺设备也主要分为管式ald和板式ald，值得注意的是，在管式ald工艺下，还分为单插片与双插片的区别，即双面镀膜和单面镀膜的差异

来源：国盛证券2019-02-12

2017年，公司核心产品 pecvd设备占公司营收45%，其他工艺设备合计占公司营收40%，自动化设备占公司营收逐年提升至15%左右。2017年毛利率较2015年增长 10个百分点。

来源：中信建投2019-02-11

与perc工艺的区别在于：1）非晶硅薄膜沉积环节，使用pecvd或rpd沉积本征氢化非晶硅层和p型/n型氢化非晶硅层；2）镀膜环节使用 pvd沉积tco导电膜； 3）印刷电极方面需使用低温银浆；4）烧结过程需控制低温烧结

来源：证券日报网2019-01-15

2018年12月，爱旭科技的“perc单面/双面电池（管式pecvd）量产技术”于通过了中国可再生能源协会专家评审组的现场评审，来自中国可再生能源协会、北京太阳能研究所、中国科学院电工研究所、国电投中央研究院太阳能技术研究所等单位的

来源：东吴证券2018-12-14

perc 产线单 gw 设备投资额约 3.5-4 亿，丝网印刷、制膜(设备包括 pecvd 和 ald)、扩散环节设备投资占比分别达到 27%、24%、18%。...捷佳伟创：产品线广、协同性强的电池设备龙头除丝网印刷外，公司基本涵盖了电池片生产的主要设备，包括 pecvd设备(市占率 50%-60%)、扩散炉(市占率 50%)、制绒设备(市占率70%-80%)、刻蚀设备

来源：北极星太阳能光伏网2018-11-28

从2019年起，国内太阳能电池生产设备企业生产pecvd等设备所需的零部件、原材料将免征关税和进口环节增值税。

来源：pvmagazine2018-11-12

硅酸钠和制绒添加剂构成的碱性溶液中进行制绒，绒面金字塔大小在5μm以内；（2）扩散炉中高温磷扩散形成n型发射结，方阻在80ω／□左右；（3）等离子体刻蚀去边结后，在氢氟酸溶液中进行二次清洗去除磷硅玻璃；（4）pecvd

来源：Solarwit2018-11-09

夹具等设备，对于老的电池设备产能而言技改费用约为40万/100兆瓦；尺寸进一步增大到161.7mm时电池产线需要更换的设备就更多，技改费用增加到60万/百兆瓦；而当硅片尺寸大于161.7mm时就超过了现有pecvd

来源：中国能源报2018-10-31

在hit电池技术领域，新赛维也掌握了实现量产的四项核心技术：智能制造系统和工艺开发、pecvd/pvd设备开发、薄片技术和铜丝金属化wem技术。

来源：孚智科技2018-10-19

在hit电池技术领域，新赛维已经掌握了实现hit电池量产的四项核心技术：智能制造系统和工艺开发、pecvd/pvd设备开发、薄片技术和铜丝金属化wem技术。

来源：一起光伏APP2018-09-04

首先讲一下，我大概十年前才进入光伏，十年前干平板显示，做了十几年pecvd，03年国内起来，从上广电、京东方开始做起，做到08年的时候，觉得要做一个转折。

来源：全景网2018-08-21

捷佳伟创成立至今，均主营生产pecvd（等离子体增强化学的气相沉积法）等晶体硅电池设备。...2017年捷佳伟创研发推出高产能、生产成本低的pd-450型pecvd设备pecvd设备是最贵的光伏设备之一，李时俊介绍说，刚推出时一台设备（即半条基本生产线）的价格约1200万至1400万人民币，一条基本生产线一年的产能是

来源：OFweek太阳能光伏网2018-08-14

公司系国内领先的晶体硅太阳能电池生产设备制造商，主营pecvd设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、自动化配套设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要设备的研发、制造和销售。