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PECVD:晶硅太阳能电池效率提升技术

2015-07-30 10:50来源:光伏标准及技术关键词:PECVD晶硅太阳能电池光伏技术收藏点赞

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如果按照PECVD系统所使用的频率范围,又可将其分成以下几类:

■0Hz:直流间接法——OTB公司

■40KHz:Centrotherm公司管式直接法PECVD和AppliedMaterial公司的磁控溅射系统

■250kHz:岛津公司的板式直接法系统

■440kHz:Semco公司的板式直接法

■460kHz:Centrotherm公司管式直接法

■13.6MHz:Semco公司和MVSystem公司的板式直接法系统

■2450MHz:Roth&Rau公司的板式间接法系统。

原标题:PECVD:晶硅太阳能电池效率提升技术
投稿与新闻线索:陈女士 微信/手机:13693626116 邮箱:chenchen#bjxmail.com(请将#改成@)

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