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PECVD:晶硅太阳能电池效率提升技术

2015-07-30 10:50来源:光伏标准及技术关键词:PECVD晶硅太阳能电池光伏技术收藏点赞

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直接法又分成两种:

(1)管式PECVD系统:即使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室,使用电阻炉作为加热体,将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。这种设备的主要制造商为德国的Centrotherm公司、中国的第四十八研究所、七星华创公司。

(2)板式PECVD系统:即将多片硅片放置在一个石墨或碳纤维支架上,放入一个金属的沉积腔室中,腔室中有平板型的电极,与样品支架形成一个放电回路,在腔室中的工艺气体在两个极板之间的交流电场的作用下在空间形成等离子体,分解SiH4中的Si和H,以及NH3种的N形成SiNx沉积到硅表面。这种沉积系统目前主要是日本岛津公司在进行生产。

间接法又分成两种:

(1)微波法:使用微波作为激发等离子体的频段。微波源置于样品区域之外,先将氨气离化,再轰击硅烷气,产生SiNx分子沉积在样品表面。这种设备目前的主要制造商为德国的Roth&Rau公司。

(2)直流法:使用直流源激发等离子体,进一步离化氨气和硅烷气。样品也不与等离子体接触。这种设备由荷兰的OTB公司生产。

目前,在中国微波法PECVD系统占据市场的主流,而管式PECVD系统也占据不少份额,而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法PECVD系统还没有进入中国市场。

除了上述几种模式的PECVD系统外,美国的AppliedMaterial公司还开发了磁控溅射PECVD系统,该系统使用磁控溅射源轰击高纯硅靶,在氨气的气氛中反应溅射,形成SiNx分子沉积到样品表面。这种技术的优点是不使用易爆的硅烷气,安全性提高很多,另外沉积速率很高。

原标题:PECVD:晶硅太阳能电池效率提升技术
投稿与新闻线索:陈女士 微信/手机:13693626116 邮箱:chenchen#bjxmail.com(请将#改成@)

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