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保温体
保温体通常由碳毡构成。主要检查碳毡内表面是否完好,是否有破烂之处。
此外,保温体的检查还要注意是否有硅蒸汽渗入,导致碳毡硅化,生成碳化硅,这样的话,不仅保温体会变的沉重,还会导致绝热性降低,保温性能变差,而导致能耗较大。保温体外部有不锈钢的支撑结构,也要检查是否有氧化或者松脱。
保温体内部有时采用石墨螺栓或者钼螺栓将硬毡与软粘及外部支撑结构固定,这些螺栓不能拧得过紧或过松,否则可能会导致在生产中脱落。RDS4.0炉型的保温体是固定的,没有移动机构,此时,要注意保温体上的各个测温孔内部是否通畅,位置是否正确,保温体的气体通道是否畅通,如果有阻流元件,是否已经固定好。否则,这些元件可能会在生产时被气流吹入硅液内导致硅液污染。
RDS4.0系列炉型的底部保温体在生产时需要上下运动,另外,还有可上下升降的热开关。因此,还要检查其运动机构是否正常。要检查直线导轨是否清洁,要保持光亮不能有沾污,还要检查直线运动单元是否正常,三个运动机构是否均衡和同步。吊接保温桶的吊钩是否稳固,等等。
石墨支撑结构
石墨支撑结构指的是支撑坩埚的平台。这个平台的作用除了支撑坩埚外,还起着在加热时传热、结晶时底部降温和均热的作用。此外,在平台上,还有一些结构,供万一漏硅时硅液从这些沟槽中流到炉底的接硅槽中。此外,平台上还有机构是供叉车装卸物料坩埚的机构。石墨平台通常是由若干个石墨柱支撑的,因此,要检查这些石墨柱和平台是否完好。支撑是否平稳,以及石墨柱与炉底的结构是否稳固。如果漏过硅,石墨平台可能会与硅反应生产碳化硅,造成平台不平。通常,只要再次磨平,平台还可使用。如果平台因碳化硅过硬无法使用,则应当更换。
真空系统
真空系统是真空熔炼的基础。如果真空系统出现问题,不仅真空度达不到工艺要求,导致提纯无法进行,还会容易导致石墨件氧化,以及硅的氧化。
普罗的多晶硅铸锭炉的真空系统由机械泵(滑阀泵或旋片泵)、罗茨泵两级组成。真空系统要检查各级真空泵的运转是否正常,真空阀门密封是否完好,阀门动作是否正确,管道内部是否清洁、真空表安装是否正常,法兰是否正常,等等。真空泵的冷却水也要认真查验。
在工艺进行的过程中,需要对炉内进行充气保压,此时,将关闭主泵和主阀门,采用旁路阀用初级泵或者维持泵维持一个较低的真空度。因此,对于旁路阀是否正常也要进行检验。对于旁路调节阀,要检查是否能够按照操作台指令进行开度调节。
真空管道内部很容易被硅蒸汽或者氧化硅蒸汽污染,这些地方由于较难清洁往往在炉前检查时容易被忽略。但一旦污染,很容易造成真空泵损坏,因此,一定要每次都清洁。而管道内如果有滤网,那么,滤网也要每炉进行清洁。
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8月19日晚间,精功科技发布2022年半年度报告,报告期内,公司营业收入799,466,379.24元,同比下降5.07%,归属于上市公司股东的净利润96,077,549.34元,同比增加43.61%,详情如下:报告期内,公司主要从事碳纤维及复合材料装备、机器人及智能装备、太阳能光伏专用装备、新型建筑节能专用设备、轻纺专用
8月10日晚,精功科技发布《2021年半年度报告》,报告显示,2021年上半年,精功科技实现营业收入84214.29万元(不含税),同比增加84.21%;实现归属于上市公司股东的净利润6690.17万元,比去年同期增长800.42%,较好完成了半年度经营目标。
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4月24日,InfoLinkConsulting公布最新光伏供应链价格情况。价格说明InfoLink公示价格时间区间主要为前周周四至本周周三正在执行和新签订的合约价格范围。现货价格主要参考超过100家厂商之资讯。主要取市场上最常成交的「众数」资料作为公示价格(并非加权平均值)、根据市场实际情况酌情调整。多晶硅美
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