北极星

搜索历史清空

  • 水处理
您的位置:光伏光伏组件太阳能电池技术正文

HIT电池表面钝化技术的研究

2012-06-11 09:55来源:solarzoom关键词:HIT表面钝化光伏收藏点赞

投稿

我要投稿

3.2本征层沉积气压对少子寿命的影响

从图2可以看出,少子寿命随沉积气压的增加呈现先增大后减小的趋势,这说明要想得到好的钝化效果,沉积气压必须适中。工作压强从较低值开始上升时,参与反应的气体增加,到达基片表面的反应产物增多,同时压强适当提高,反应室内的等离子体密度增大,反应气体中活性粒子增多,从而得到高沉积速率、高质量的非晶硅薄膜。

但当工作压强进一步上升到较高值时,等离子体密度增加不大,使反应气体活性变弱,电子或离子的平均自由程比较短,将会发生大量电子或离子与原子团(包括SiH4、SiH3、SiH2、SiH、H2、H)之间的碰撞,这种大量的碰撞导致它们之间的聚合,形成(SH2)。聚合物(黄色粉末),从而大大降低了a-Si:H薄膜的质量。此外,当气压过高时,氢等离子体的刻蚀变得更加活跃,使得SiH2结构的基团增多,SiH2基团的增多意味着有更多的晶界和微孔,它们都是类似于悬挂键的有效复合中心。因此少子寿命降低。

3.3本征层射频功率对少子寿命的影响

如图3所示,少子寿命随射频功率的增大先增大后减小。因为大功率可以增大硅烷的分解率,这样氢等离子体的数量相对增多,硅表面以及非晶硅体内的悬挂键得到很好的饱和,少子寿命提高。然而,当功率进一步增大时,此时硅烷的分解已经相对比较充分,功率的增大对硅烷分解的贡献很小,高功率带来的粒子轰击作用增强。过高的沉积功率容易造成对薄膜表面的损伤,从而在硅材料中形成微空洞和缺陷态,会导致薄膜内微柱状结构出现,造成薄膜性质恶化。此外,从节能环保的角度考虑,放电功率取较小值较为合适。

投稿与新闻线索:陈女士 微信/手机:13693626116 邮箱:chenchen#bjxmail.com(请将#改成@)

特别声明:北极星转载其他网站内容,出于传递更多信息而非盈利之目的,同时并不代表赞成其观点或证实其描述,内容仅供参考。版权归原作者所有,若有侵权,请联系我们删除。

凡来源注明北极星*网的内容为北极星原创,转载需获授权。