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3.2本征层沉积气压对少子寿命的影响
从图2可以看出,少子寿命随沉积气压的增加呈现先增大后减小的趋势,这说明要想得到好的钝化效果,沉积气压必须适中。工作压强从较低值开始上升时,参与反应的气体增加,到达基片表面的反应产物增多,同时压强适当提高,反应室内的等离子体密度增大,反应气体中活性粒子增多,从而得到高沉积速率、高质量的非晶硅薄膜。
但当工作压强进一步上升到较高值时,等离子体密度增加不大,使反应气体活性变弱,电子或离子的平均自由程比较短,将会发生大量电子或离子与原子团(包括SiH4、SiH3、SiH2、SiH、H2、H)之间的碰撞,这种大量的碰撞导致它们之间的聚合,形成(SH2)。聚合物(黄色粉末),从而大大降低了a-Si:H薄膜的质量。此外,当气压过高时,氢等离子体的刻蚀变得更加活跃,使得SiH2结构的基团增多,SiH2基团的增多意味着有更多的晶界和微孔,它们都是类似于悬挂键的有效复合中心。因此少子寿命降低。
3.3本征层射频功率对少子寿命的影响
如图3所示,少子寿命随射频功率的增大先增大后减小。因为大功率可以增大硅烷的分解率,这样氢等离子体的数量相对增多,硅表面以及非晶硅体内的悬挂键得到很好的饱和,少子寿命提高。然而,当功率进一步增大时,此时硅烷的分解已经相对比较充分,功率的增大对硅烷分解的贡献很小,高功率带来的粒子轰击作用增强。过高的沉积功率容易造成对薄膜表面的损伤,从而在硅材料中形成微空洞和缺陷态,会导致薄膜内微柱状结构出现,造成薄膜性质恶化。此外,从节能环保的角度考虑,放电功率取较小值较为合适。
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繁花盎然,翠色满园,适逢2024年盛夏,全球最大、最具影响力的光伏展会“第十七届SNEC展”与“IntersolarEurope”相继召开,点亮了2024年光伏人的追光之路。在这场跨越时区、纵横经纬的追光旅程中,晶澳科技抵达上海与慕尼黑,携饱满热情与旗舰产品璀璨登场,完美回应了全球来宾对晶澳科技的热切期待。
6月19日,欧洲最大太阳能专业展会——德国慕尼黑国际太阳能光伏展(IntersolarEurope2024)盛大启幕。晶澳科技在上海SNEC展会圆满收官后,携DeepBlue4.0Pro系列产品及BlueStar储能系统盛装亮相IntersolarA2-260展位,光储同耀慕尼黑,再展新质生产力与生态影响力。n型旗舰全盛姿态DeepBlue4.0Pro系列产
在经过为期9个月的户外实证项目(2023年01月-2023年09月)后,TV南德近日完成了对南德实证电站的数据分析与测试报告。该实证电站位于湿热气候环境的海南省定安县,年均气温24℃,平均相对湿度90%以上,年均日照1880小时,年均降水1953毫米。该实证电站安装了两类组件进行对比认证,分别为P型PERC双面组
8月8日,为期三天的2023世界太阳能光伏暨储能产业博览会(原第15届广州国际太阳能光伏储能展)在广州·中国进出口商品交易会展馆拉开帷幕,一道新能携最新DAON3.0系列组件与全场景光伏系统解决方案亮相。展会首日,正值一道新能五周年司庆,现场互动不断、惊喜连连,全新升级的产品与趣味纷呈的活动吸
日前,英国格洛斯特郡的赛伦塞斯特混合太阳能发电厂发生火灾,该电站由23MWP光伏发电、51MWh锂电池储能电站构成,占地超过88英亩,相当于50多个足球场,由沃灵顿自治市议会拥有。火灾于下午3点左右发生,浓浓的黑烟喷向天空,从邻近地区和主要道路上都能看到,40多名消防员对紧急情况做出反应,使用大
本周棒状硅企业暂无成交。n型颗粒硅成交价格区间为3.50-3.70万元/吨,成交均价为3.60万元/吨,环比下降2.70%。本周棒状硅市场僵持博弈,企业基本无成交。目前下游基本已经没有集中采购时期,多为按照生产节奏择期少量补库。目前光伏产业链下游产品价格再度呈现下降趋势,下游企业对于原料成本控制越发
日前,代表欧洲光伏制造商的欧洲光伏制造委员会(ESMC)抛出一项颇具争议的提议——限制“高风险”制造商对欧洲光伏逆变器的远程接入,而这里的“高风险”制造商主要矛头指向中国企业。ESMC认为,来自高风险的非欧洲制造商的光伏逆变器具备不受监管的远程控制能力,这正严重威胁着欧洲的能源主权。ESMC
回首我国能源发展长河,关键节点必然又有新增。2025年开年,国家发改委、能源局下发《关于深化新能源上网电价市场化改革促进新能源高质量发展的通知》(发改价格〔2025〕136号)(以下简称136号文),将新能源全面推向市场的同时,也促使整个能源格局发生深刻变革。短期阵痛、长期利好——新机遇涌现13
根据TrendForce集邦咨询新能源研究中心5月7日最新报价,硅料价格整体下滑。N型复投料主流成交价格下跌至39元/KG;N型致密料主流成交价格为37元/KG;N型颗粒硅报价从36元/KG掉落至35.5元/KG,跌幅为1.39%。本周N型182单晶硅片最新人民币价格为1.02元/片,和上一周的1.05元/片相比下跌了2.86%;N型210单
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近日,安徽省单体规模最大的全地埋式净水厂——西部组团净水二厂正式通水运行,区域日污水处理能力再提升20万立方米,标志着合肥市西南片区水环境治理迈入全新阶段。西部组团净水二厂坐落于合肥市创新大道与派河大道交口处东北侧,占地186亩,设计处理规模20万立方米/日,最大处理量可达30万立方米/日
2025年是“十四五”规划收官之年,为落实国家、自治区碳达峰碳中和部署,结合锡林浩特市实际,锡林浩特发改委牵头制定并印发《锡林浩特市落实内蒙古自治区碳达峰碳中和2025年重点工作安排任务分工清单》,明确年度重点任务和实施路径,确保碳达峰碳中和工作取得阶段性成效。《清单》围绕能源转型、节能
北极星太阳能光伏网获悉,近日,苏州固锝发布公告称,公司于2024年12月27日召开的第八届董事会第十一次临时会议、第八届监事会第十一次临时会议审议通过了《关于收购新硅能微电子(苏州)有限公司股权暨关联交易的议案》,同意公司以自有资金1150万元收购新硅能微电子(苏州)有限公司100%股权。近日公
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