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太阳能光伏扩散制结设备

2012-05-22 16:06来源:北极星太阳能光伏网关键词:扩散太阳能光伏收藏点赞

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恒定表面浓度扩散是指待扩散的磷(假如进行扩磷)从源输送到硅片表面,并扩散到硅片内,假定磷的量足够多,由于磷在硅中的固溶度有限,所以在硅的表面,磷的浓度就是恒定的。假定扩散前的硅片中不含磷,那么就有以下杂质分布:

式中,t为扩散时间,x为某点离表面的距离,D为扩散系数,Cs为表面扩散源浓度,C0为物体的原始杂质浓度(假定扩散前的硅片中不存在磷,则C0数值为0),Cx为某点经过t时间扩散后的杂质浓度,erf(x)为误差函数(如表4.1所示),erfc(x)为余误差函数,有erfc(x)=1-erf(x)。

表4.1误差函数表

硅片中单位面积的杂质原子总量Q有:

扩散分布的杂质浓度梯度可通过微分得到:

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