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太阳能光伏扩散制结设备

2012-05-22 16:06来源:北极星太阳能光伏网关键词:扩散太阳能光伏收藏点赞

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扩散系数是描述杂质在被扩散物体(如待扩散硅片)中扩散快慢的一个参数,用字母

D表示,单位常用m2/s或cm2/s。D越大,扩散速率越快。

式中,D0为扩散常数,Q为摩尔扩散激活能(J/mol),R为摩尔气体常数(等于8.314J•mol-1•K-1),T为扩散的热力学温度。

关于扩散有两个重要的定律:菲克第一定律和菲克第二定律。菲克第一定律指稳态扩散时,单位时间内通过垂直于扩散方向的单位截面积的物质量(即扩散通量)与该物质

在该面积处的浓度梯度成正比。

式中,J为扩散通量,D为扩散系数,C为浓度,x为长度。

由于在工业生产中进行扩散时,浓度常常会随时间变化,菲克第二定律研究了非稳态扩散时,某点的浓度随扩散时间的变化关系。

式中,t为扩散时间,J为扩散通量,D为扩散系数,C为浓度,x为长度。

杂质原子的扩散分布与初始条件和边界条件有关,所以某一点某时间杂质浓度的求解,都是在一定的设定条件下进行的。有两个重要的假定条件:恒定表面浓度扩散与恒量源扩散(或称恒定表面浓度与恒定总杂质量)。

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