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1.制绒深度
一般在4.2±0.2um(电子天平称重测得)
通过测量制绒前后硅片重量(g),可以计算出制绒深度,根据具体测量情况可以改变工艺参数:
槽体温度
原则上温度控制在8℃,一般上下浮动1-2℃,调整范围为0.5-1℃,温度升高腐蚀深度增加。反之,温度可以作为腐蚀速率的调节手段,但是这是最后的手段。由于温度较高的情况下,溶液在制绒槽时会不稳定,所以一般不宜长时间超过10℃,当前补液能保证刻蚀速率不下降,那么无需调高刻蚀溶液的温度。
滚轮速度
原则上带速控制在1.0-1.5m/min,调整范围是0.1-0.2m/min,速度越快,制绒深度越小,反之。
自动补液
调整自动补液的周期以及自动补液量(HF、HNO3),补液周期越短,补液量越大,制绒深度越大,反之。
手动补液
可以手动添加化学品(HF、HNO3、DIwater),一般在制绒深度偏差较大时进行手动补液,一般在换液初期和槽体寿命快到时使用。
2.反射率
一般用反射率测试仪测得在20%左右
在工艺使用时用反射率测试仪确定工艺方案,在生产中要观察制绒后硅片的亮度,进行适当的调整。
图2硅片制绒效果
3.碎片
提高挡板的高度使得硅片能够顺利的通过滚轮能够碰到挡板的地方,可以选择将挡板切掉一部分。
调整喷淋管的位置,至滚轮能够光滑运行,调整风管和水管的位置,使得硅片在通过的时候,不好影响硅片的运行。
滚轴高低不平会影响硅片的运行方向,导致叠片卡片,致使碎片。
4.硅片吹不干
调整吹干气体流量(作者赛维工艺部)
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