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多晶硅制绒是损伤层的去除和制绒面同时进行的,控制的主要参数是制绒深度,为保证损伤层的去除干净,制绒深度必须要够,但不能过大,制绒深度不够导致损伤层去除不净,腐蚀坑过深过窄,制绒深度过大导致腐蚀坑过大,大的不规则腐蚀坑洞较多,绒面一致性差等。
在绒面硅片上制成PN结太阳能电池,它有以下特点:
1.绒面电池比光面电池的反射损失小,如果再加减反射膜,其反射率可进一步降低。
入射光在光锥表面多次折射,改变了入射光在硅片中的前进方向,不仅延长了光程,增加了对红外光子的吸收,而且有较多的光子在靠近PN结附近产生光生载流子,从而增加了光生载流子的收集几率。
2.在同样尺寸的基片上,绒面电池的PN结面积比光面大很多,因而可以提高短路电流,转换效率也有相应提高。
3.绒面也带来了一些缺点:一是工艺要求提高了;二是由于它减反射的五选择性,不能产生电子空穴对的有害红外辐射也被有效地耦合入电池,是电池发热;三是易造成金属接触电极与硅片表面的点接触,使接触电阻损耗增加。
图1RENA清洗制绒设备
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