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4.对n+、P+型硅表面的腐蚀速度比n、p型硅表面大得多,可导致表面粗糙,因而不适合使用于n+、P+型的硅片清洗。
5.添加强氧化剂H2O2(E0=1.776V),比Cu2+离子优先从Si中夺取电子,因此硅表面由于H2O2被氧化,Cu以Cu2+离子状态存在于清洗液中。即使硅表面附着金属Cu,也会从氧化剂H2O2夺取电子呈离子化。硅表面被氧化,形成一层自然氧化膜。因此Cu2+离子和Si电子交换很难发生,并越来越不易附着。D.DHF+界面活性剂的清洗据报道在HF0.5%的DHF液中加入界面活性剂,其清洗效果与HF+H2O2清洗有相同效果。E.DHF+阴离子界面活性剂清洗据报道在DHF液,硅表面为负电位,粒子表面为正电位,当加入阴离子界面活性剂,可使得硅表面和粒子表面的电位为同符号,即粒子表面电位由正变为负,与硅片表面正电位同符号,使硅片表面和粒子表面之间产生电的排斥力,因此可防止粒子的再附着。F.以HF/O3为基础的硅片化学清洗技术此清洗工艺是以德国ASTEC公司的AD-(ASTEC-Drying)专利而闻名于世。其HF/O3清洗、干燥均在一个工艺槽内完成,。而传统工艺则须经多道工艺以达到去除金属污染、冲洗和干燥的目的。在HF/O3清洗、干燥工艺后形成的硅片H表面(H-terminal)在其以后的工艺流程中可按要求在臭氧气相中被重新氧化.
五.总结
1.用RCA法清洗对去除粒子有效,但对去除金属杂质Al、Fe效果很小。
2.DHF清洗不能充分去除Cu,HPM清洗容易残留Al。
3.有机物,粒子、金属杂质在一道工序中被全部去除的清洗方法,目前还不能实现。
4.为了去除粒子,应使用改进的SC-1液即APM液,为去除金属杂质,应使用不附着Cu的改进的DHF液。
5.为达到更好的效果,应将上述新清洗方法适当组合,使清洗效果最佳。
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7月4日,由国网能源研究院联合国家气候中心主办的2025年电力供需分析报告成果发布会在京召开。国网能源院经济与能源供需研究所在会上发布《中国电力供需分析报告2025》的研究报告。根据预测,2025年全国全社会用电量将达到10.3万亿kW·h,比上年增长5%。全年新投产装机容量比上年增长53.2%,规模再创历
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衡量电能质量的指标有很多,最为人熟知的当属供电可靠性,就是一年内停电的时间多不多,用全年供电的时间占比全年总时间的数值来体现,通俗的讲法就是几个9。比如4个9,那可靠性就是99.99%,5个9那么可靠性更高。这是宏观层面的电能质量,而微观层面上的电能质量要求就比较多,有电压偏差、电压波动、
当地时间7月4日,美国总统特朗普签署“大而美”税收和支出法案,使其生效。美国国会众议院3日下午以218票赞成、214票反对的表决结果通过了总统特朗普推动的“大而美”法案。该法案已于本月1日获参议院通过。美国国内担忧该法案将进一步加剧美国财政赤字与债务风险。这份长达940页的法案,通过调整税收
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为精准掌握产业发展动态,科学制定产业政策,推动经济高质量发展,大同市发改委近期积极行动,全力配合省发展改革委做好相关产业产能调查及有关领域摸底调查工作,为产业规划与发展提供坚实数据支撑。根据国家发改委、省发改委工作安排,大同市发改委精心组织、周密部署,组织各县(区)对本地汽车及汽
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2025年7月2日13时18分,华润电力温州电厂二期项目3号机组168小时满负荷试运行圆满成功!温州电厂二期项目是浙江省“十四五”期间重大支撑性煤电工程、省“千项万亿”工程、“绿保稳”工程,承载着保障电力供应、促进绿色转型的双重使命。3号机组是华润电力首台投产的百万千瓦超超临界高效二次再热燃煤
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2025年6月30日,蜂巢能源与泰国万浦集团合资建设的泰国春武里SVOLT泰国工厂迎来第10000套EV电池包下线。蜂巢能源泰国基地总经理陈磊、副总经理张建欣,万浦集团子公司BanpuNEXTCEOSmittiponSrethapramote、高级副总裁Suwit作为合资方代表,长城东盟副总裁李光宇作为客户方代表,莅临现场共同见证这一里
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