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在仍占主导地位的晶硅太阳能电池生产中,激光器一直被用于切割硅片和边缘绝缘。电池边缘的掺杂是为了防止前电极和背电极的短路。在这一应用上,激光已胜过其它传统的工艺。等离子刻蚀未能满足自动化要求,破损率很高。
经验证的工艺:晶硅电池的选择性掺杂
激光器越来越多地用于掺杂工艺,因为它能在太阳能电池上提高局部掺杂浓度得分布从而改善载流子的移动性,特别是接触栅极。至少六个不同的工艺在市场上互相竞争,几乎所有的工艺都是基于激光技术。例如,经过特殊设计的激光装量可以毫无损伤在磷硅玻璃把磷扩散到硅片的表面,从而提高晶圆和接触电极之间的导电率。在一系列的测试中表明,不同的扩散浓度最高可提升5%的光电转换效率。
用数字举例:激光器降低每瓦成本
激光器未来的另一个应用包括在晶硅太阳能电池上选择性烧蚀钝化层。超短脉冲和高脉冲能量的激光器特别合适,因为它们具有绝佳的光束质量,这些条件都只能通过碟片激光技术才能实现。由于激光输出功率的可扩展性,从而达到更高的生产能力,超短脉冲中的高光束质量显著提高太阳能电池的转换效率。这样就可以大大减少未来太阳能电池每瓦特的成本。
未来的市场:用于薄膜太阳能电池加工的激光器
薄膜太阳能电池在过去几年里得到了快速的发展。专家希望能在中期内得到20%的市场份额。在薄膜太阳能电池的生产中,激光器在结构化和电池单元互连上起着决定性的作用,以确保太阳能模块能所要求的绝缘强度。
已确立的工艺:激光刻线
根据不同的膜层,激光刻划由碲化镉或非晶硅薄膜制成的导电和光敏涂层。通过这种工艺,涂在玻璃基板上的涂层被分割成互相串联的电池。这样,电池的宽度决定了电池和模块的电压。准确的,有选择地和非接触的激光加工工艺可以可靠地集成到生产线上。所谓的刻线是将30-80μm大小的单个光脉冲串联起来,而在P1中采用几十纳秒脉宽(10到80ns)的脉冲来刻蚀。当加工到膜层的边缘时,材料的一部分被升华,蒸汽压力可以吹走被刻蚀的材料。因此,加工的能量小了,底部材料的热影响也会减少。
前景展望:新型TCO衍生物
目前专家们正在观察太阳能电池制造商试验新导电透明氧化物-TCO衍生物以实现更高效率,提高生产率。通常TCO是通过红外激光相对高脉冲重叠率进行加工的。但在某些情况下,需要寻找新的激光参数来加工新的混合物。
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