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4、青岛赛瑞达:青岛赛瑞达设备制造有限公司由北京昊海立德科技有限公司注资的高新技术企业,是集开发、生产、销售为一体的专业厂家。具有自主研制、设计和开发半导体专用工艺设备、包装机械、智能化仪表等产品的能力,同时可根据用户的不同需求进行设计和开发,并且具备改造、装备国外二手设备的能力。该公司扩散炉为闭管磷扩散,带有工艺废气冷却定向回收装置,偏磷酸、CL2分开收集处理,工艺废气集中收集从尾部定向排出,各种工艺气体可分开送入石英管内,工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内,采用悬臂式推拉舟送取电池片,另采用侧面布局的悬臂推拉结构,可有效的防止偏磷酸下滴,造成推拉机构受腐蚀,影响推拉机构的精确性。
等离子刻蚀机——干法腐蚀设备全部国产为主,少量湿法腐蚀设备需要进口
由于在扩散过程中,即使采用背靠背扩散,硅片的所有表面包括边缘都将不可避免地扩散上磷。PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面,而造成短路。因此,必须对太阳能电池周边的掺杂硅进行刻蚀,以去除电池边缘的PN结。通常采用等离子刻蚀技术完成这一工艺,等离子刻蚀是在低压状态下,反应气体CF4的母体分子在射频功率的激发下,产生电离并形成等离子体。等离子体是由带电的电子和离子组成,反应腔体中的气体在电子的撞击下,除了转变成离子外,还能吸收能量并形成大量的活性基团。活性反应基团由于扩散或者在电场作用下到达SiO2表面,在那里与被刻蚀材料表面发生化学反应,并形成挥发性的反应生成物脱离被刻蚀物质表面,被真空系统抽出腔体。在等离子体刻蚀机使用过程中,等离子体不能一直保持在某一稳定状态,有许多因素会对刻蚀机系统产生扰动,如刻蚀机的定期维护(PM)、反应腔室内壁聚合物的沉积、设备部件的老化(传感器及各种其他容易磨损的部件),以及未经测量的进入反应腔室的晶片状态的差异等。在不同的时间尺度范围内,刻蚀机产生漂移的原因是不同的,因而需要采用相应的控制类型加以控制。PM与PM之间,刻蚀机要经历定期的清洗、部件的更换和维修等,这些都能对刻蚀工艺产生影响。刻蚀机定期维护的目的是让反应腔室每次都能恢复到同样的理想状态,而这通常是很难达到的。因而会在前一个刻蚀机定期维护快结束之时到下一次刻蚀机定期维护开始后的一段时间发生工艺状态的不连续。在一个刻蚀机定期维护周期之内,刻蚀机状态的改变主要是由于刻蚀产生的残余聚合物在反应腔室内的沉积,以及易损件及可更换部件的磨损所引起的。
干法刻蚀(ICP)是目前主流的刻蚀设备工艺,它采用射频辉光放电将参与反应的化学气体电离形成等离子体,通过对刻蚀参数精确的控制和测量,把光刻形成的电路图转移到硅片上形成三维结构。其间融合了等离子体、射频、超高真空、自动化控制等多种尖端技术,是电池片制造过程中至关重要的一环。综观国内刻蚀设备生产企业,具有以下特点:采用片架旋转密封技术,提高刻蚀的均匀性;硅片放置自动压紧技术,减少了钻蚀风险;ICP技术的形成及引入,提高了设备的各种效率;特别是大容量反应室的设计,大大提高了电池片的处理能力。
国内等离子刻蚀机设备企业推荐
1、中科院微电子研究所:中国科学院微电子研究所“六五”、“七五”、“八五”、“九五”一直承担等离子刻蚀技术领域的国家科技攻关项目。研究成功深亚微米刻蚀技术并先后研制生产了实验研究用RIE、MERIE和ICP高密度等离子体刻蚀机系列。该研究所的SE-3型刻蚀机通过PLC完成刻蚀太阳能电池的程序控制功能,能完成除了装片和卸片以外的全部生产过程的连续动作和自动保护等功能。具有良好的人机界面,使用方便、重复性好。另外,该机型因钻蚀引起的硅片边缘损耗小(约1mm左右),有利于提高太阳能电池片的效率,且每批的一致性相当好,刻蚀片超过500片/次,工艺过程全部实现自动控制。
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