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4、青岛赛瑞达:青岛赛瑞达设备制造有限公司由北京昊海立德科技有限公司注资的高新技术企业,是集开发、生产、销售为一体的专业厂家。具有自主研制、设计和开发半导体专用工艺设备、包装机械、智能化仪表等产品的能力,同时可根据用户的不同需求进行设计和开发,并且具备改造、装备国外二手设备的能力。该公司扩散炉为闭管磷扩散,带有工艺废气冷却定向回收装置,偏磷酸、CL2分开收集处理,工艺废气集中收集从尾部定向排出,各种工艺气体可分开送入石英管内,工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内,采用悬臂式推拉舟送取电池片,另采用侧面布局的悬臂推拉结构,可有效的防止偏磷酸下滴,造成推拉机构受腐蚀,影响推拉机构的精确性。
等离子刻蚀机——干法腐蚀设备全部国产为主,少量湿法腐蚀设备需要进口
由于在扩散过程中,即使采用背靠背扩散,硅片的所有表面包括边缘都将不可避免地扩散上磷。PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面,而造成短路。因此,必须对太阳能电池周边的掺杂硅进行刻蚀,以去除电池边缘的PN结。通常采用等离子刻蚀技术完成这一工艺,等离子刻蚀是在低压状态下,反应气体CF4的母体分子在射频功率的激发下,产生电离并形成等离子体。等离子体是由带电的电子和离子组成,反应腔体中的气体在电子的撞击下,除了转变成离子外,还能吸收能量并形成大量的活性基团。活性反应基团由于扩散或者在电场作用下到达SiO2表面,在那里与被刻蚀材料表面发生化学反应,并形成挥发性的反应生成物脱离被刻蚀物质表面,被真空系统抽出腔体。在等离子体刻蚀机使用过程中,等离子体不能一直保持在某一稳定状态,有许多因素会对刻蚀机系统产生扰动,如刻蚀机的定期维护(PM)、反应腔室内壁聚合物的沉积、设备部件的老化(传感器及各种其他容易磨损的部件),以及未经测量的进入反应腔室的晶片状态的差异等。在不同的时间尺度范围内,刻蚀机产生漂移的原因是不同的,因而需要采用相应的控制类型加以控制。PM与PM之间,刻蚀机要经历定期的清洗、部件的更换和维修等,这些都能对刻蚀工艺产生影响。刻蚀机定期维护的目的是让反应腔室每次都能恢复到同样的理想状态,而这通常是很难达到的。因而会在前一个刻蚀机定期维护快结束之时到下一次刻蚀机定期维护开始后的一段时间发生工艺状态的不连续。在一个刻蚀机定期维护周期之内,刻蚀机状态的改变主要是由于刻蚀产生的残余聚合物在反应腔室内的沉积,以及易损件及可更换部件的磨损所引起的。
干法刻蚀(ICP)是目前主流的刻蚀设备工艺,它采用射频辉光放电将参与反应的化学气体电离形成等离子体,通过对刻蚀参数精确的控制和测量,把光刻形成的电路图转移到硅片上形成三维结构。其间融合了等离子体、射频、超高真空、自动化控制等多种尖端技术,是电池片制造过程中至关重要的一环。综观国内刻蚀设备生产企业,具有以下特点:采用片架旋转密封技术,提高刻蚀的均匀性;硅片放置自动压紧技术,减少了钻蚀风险;ICP技术的形成及引入,提高了设备的各种效率;特别是大容量反应室的设计,大大提高了电池片的处理能力。
国内等离子刻蚀机设备企业推荐
1、中科院微电子研究所:中国科学院微电子研究所“六五”、“七五”、“八五”、“九五”一直承担等离子刻蚀技术领域的国家科技攻关项目。研究成功深亚微米刻蚀技术并先后研制生产了实验研究用RIE、MERIE和ICP高密度等离子体刻蚀机系列。该研究所的SE-3型刻蚀机通过PLC完成刻蚀太阳能电池的程序控制功能,能完成除了装片和卸片以外的全部生产过程的连续动作和自动保护等功能。具有良好的人机界面,使用方便、重复性好。另外,该机型因钻蚀引起的硅片边缘损耗小(约1mm左右),有利于提高太阳能电池片的效率,且每批的一致性相当好,刻蚀片超过500片/次,工艺过程全部实现自动控制。
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6月26日,蒙西鄂尔多斯采煤沉陷区4GW新能源大基地项目首次并网送电,内蒙古能源集团党委副书记、副董事长、总经理李文忠,内蒙古能源集团副总经理贺彪等出席并网仪式,隆基绿能受邀出席。李文忠在致辞中表示,内蒙古能源集团将坚决落实好自治区党委、政府部署要求,全力推进续建、新建的新能源项目,进
日前,沙特电力采购公司(SPPC)与ACWA电力公司、公共投资基金(PIF)全资子公司水电控股公司(Badeel)和沙特阿美石油公司全资子公司阿美石油公司(AramcoPower)组成的财团签署三个光伏项目的购电协议。该协议是在能源部长阿卜杜勒阿齐兹·本·萨勒曼·本·阿卜杜勒阿齐兹·沙特亲王的见证下签署。这
6月28日,北极星太阳能光伏网发布一周要闻回顾(2024年6月24日-6月28日)。政策篇5月,光伏新增装机19GW6月28日,国家能源局发布1-5月份全国电力工业统计数据。其中,太阳能发电方面,1-5月新增7915万千瓦,仅5月新增装机1904万千瓦,同比增长47.6%。、详情点击光伏7.5GW!国家能源局公布新增建档立卡
6月24日,浙江省瑞安市人民政府发布《关于印发瑞安市推动大规模设备更新和消费品以旧换新若干举措的通知》,通知指出,强化退役动力电池在储能等领域梯次利用,探索开展风电光伏设备残余寿命评估,推进设备及关键部件梯次利用。推动资源高水平再生利用。推进报废汽车、退役光伏组件、废旧家电、废旧电
6月28日,宁夏电力国能宁夏鸳鸯湖第一发电有限公司鸳鸯湖一期宁东光伏基地运行维护服务招标中标候选人公布,第一中标候选人沈阳奥瑞驰电力科技有限公司,投标报价395.075万元;第二中标候选人新洋国际电力集团有限公司,投标报价432.24万元。宁东光伏大基地1.5GW运行维护。工作内容为:开展承包范围内
6月22日,澜沧江公司竹芭山55兆瓦农光互补光伏发电项目实现全容量并网发电。竹芭山光伏电站年均上网电量约8991万千瓦时,运营期总发电量可达23亿千瓦时,可节约标准煤71万吨,减少二氧化碳排放181万吨。
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6月28日,中核华泰建设有限公司-婺源县太白镇30MW农光互补光伏发电项目储能系统采购-询价采购公告发布,项目位于江西省上饶市婺源县太白镇,采购需求为6MW/12MWh储能系统设备一套。中核华泰建设有限公司-婺源县太白镇30MW农光互补光伏发电项目储能系统采购-询价采购公告一、项目概况项目名称:婺源县太
6月28日,国家能源局发布1-5月份全国电力工业统计数据。截至5月底,全国累计发电装机容量约30.4亿千瓦,同比增长14.1%。其中,太阳能发电装机容量约6.9亿千瓦,同比增长52.2%;风电装机容量约4.6亿千瓦,同比增长20.5%。1-5月份,全国发电设备累计平均利用1372小时,比上年同期减少59小时。1-5月份,全
6月25日,石城县人民政府公开石城县制造业重点产业链现代化建设“3212”行动计划(2023—2026年)。文件指出,加快推进硅石资源勘探、开采和深加工,引进硅石产业链深加工企业,发展单晶硅、光伏电池、薄膜电池、光纤预制棒、硅橡胶、硅树脂等系列深加工产品,以硅产业为主体重点打造矿产品精深加工产
6月12日,由先进光伏材料制备技术与应用浙江省工程研究中心等单位主办的2024n型叠层电池技术交流会在上海召开。会议以“N型电池创新未来”为主题,邀请了百余家企业、高校、研究机构围绕n型电池技术、钙钛矿电池技术与叠层技术展开交流,共同研判n型电池市场方向,共谋中国n型电池发展之路。正泰新能受
北极星太阳能光伏网获悉,6月14日,CreateEnergy和ShoalsTechnologiesGroup的创始人、首席执行官兼总裁迪恩·索伦与RECOMTechnologies的首席执行官哈姆雷特·谭颜在美国田纳西州波特兰宣布成立一家光伏新公司ReCreate。新公司ReCreate将在田纳西州建立一座先进的光伏电池组件工厂,计划产能为5GW光伏电
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5月27日,白水县举行陕西白扬绿能电力科技有限公司年产6GW高效光伏电池项目奠基仪式。据了解,陕西白扬绿能6GW高效光伏电池项目计划总投资18亿元,规划占地12万平方米,总建筑面积约6.8万平方米,项目分二期建设,本期项目年产量不低于2.5GW,产值10亿元左右,年利税约1亿元,带动就业500余人。天眼查
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商务部新闻发言人14日表示,5月14日,美方发布对华加征301关税四年期复审结果,宣布在原有对华301关税基础上,进一步提高对自华进口的电动汽车、锂电池、光伏电池、关键矿产、半导体以及钢铝、港口起重机、个人防护装备等产品的加征关税。中方坚决反对并严正交涉。美方出于国内政治考虑,滥用301关税复
5月11日,安徽省经济和信息化厅发布关于《安徽省先进光伏和新型储能产业创新能力提升行动方案(2024-2027年)》(征求意见稿)公开征求意见的公告,公告指出,重点围绕隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)、异质结(HJT)、背接触(XBC)等N型高效光伏电池片技术进行研制和突破,前瞻布局钙钛矿电池、晶硅薄
5月6日上午,甘肃省委书记、省人大常委会主任胡昌升莅临正泰新能酒泉基地2GW高效晶硅电池项目制造基地,调研指导项目建设、企业发展运行,正泰集团董事、正泰新能源董事长、正泰新能董事长兼总裁陆川博士,正泰新能酒泉基地负责人任伟等热情接待。胡昌升书记深入正泰新能酒泉基地电池C1车间,实地调研
2024年5月6日,忻州市委书记朱晓东率领市领导温建军、马志强,市政府秘书长张艮生及市直相关部门负责同志,深入一道新能忻州基地,就企业安全生产、项目建设、污水处理等关键工作进行了全面而细致的调研。一道新能忻州基地总经理吴新荣携各部门负责人全程陪同,并就公司的运营状况、发展规划、要素保障
6月27日,广东开平市城市管理和综合执法局发布《开平市“4.30”八一垃圾中转站清洁工失联事故调查报告》,公布了广东开平市八一垃圾中转站内,一辆垃圾运输车在倒车过程中与一名女清洁工发生碰撞,致使该清洁工从卸料口掉进压缩箱,至今下落不明的事故详情。事故发生后,开平市及时通报事故相关情况。
近日,国家数据局发布《全国数据资源调查报告(2023年)》,报告显示,全国数据生产、存储、计算呈现规模大、增速快的特点。2023年,全国数据生产总量达到32.85泽字节(ZB),同比增长22.44%。2023年,全国数据存储总量为1.73泽字节(ZB),存储空间利用率为59%。2023年,2200多个算力中心的算力规模超
近日,赣州市应急管理局公开《赣州赣县城北生活污水处理厂扩建工程“11·21”较大中毒窒息事故调查报告》,事故造成3人死亡、1人受伤,直接经济损失450万元。2023年11月21日15时41分许,赣州赣县城北生活污水处理厂扩建接触消毒池防水防腐施工过程中,1人中毒窒息,现场作业人员盲目入池施救,也导致中
近日,江西省鹰潭市应急管理局公布《鹰潭贵溪罗河镇污水提升泵站“8·12”较大淹溺事故调查报告》,事故造成3人死亡,直接经济损失410万元。2023年8月12日,贵溪市罗河镇污水提升泵站在维修安装污水提升泵时发生一起淹溺事故,造成3人死亡,直接经济损失410万元。经调查认定,贵溪市罗河镇污水提升泵站
近日,云南省保山市隆阳区应急管理局发布《隆阳区青华街道红花村污水处理厂“12·17”一般淹溺事故调查报告》,事故造成1人死亡,经济损失人民币1250000.00元(大写:壹佰贰拾伍万元整)。2023年12月17日10时34分,保山市隆阳区应急管理局接到(以下简称区应急局)接110指挥中心电话称:“12月17日10时
2月27日,昆明市西山区人民政府网站公布《西山马街街道兰亭上锦垃圾中转站“113”事故调查报告》,根据报告,2023年11月3日,西山区上锦路兰亭上锦垃圾中转站云南XX环境卫生服务有限公司两名环卫工人在作业中死亡。经调查组调查认定,“11·3”事故是一起非生产安全责任事故。西山马街街道兰亭上锦垃圾
2023年12月13日,内蒙古九原工业园区内蒙古大全新能源有限公司硅基材料项目“10·16”一般起重伤害事故调查报告公布。报告指出,2023年10月16日16时26分,九原区应急管理局接到企业报告,13时20分左右,内蒙古大全新能源有限公司硅基材料项目发生一起起重伤害事故,造成1人死亡,直接经济损失约人民币2
2023年11月20日,长沙市应急管理局发布了《长沙县机场改扩建工程周边水系恢复治理项目“3·17”较大坍塌事故调查报告》。据报告显示,2023年3月17日12时10分许,位于长沙县黄兴镇斗塘新村的在建项目长沙机场改扩建工程周边水系恢复治理项目(榨山港)一标段发生一起坍塌事故,造成3人死亡,直接经济损
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近日,宁波市北仑区应急管理局公布宁波新周污水处理厂二期工程“10.12”管道爆炸事故调查报告,事故造成1人死亡,3人受伤。2022年10月12日14时50分许,位于北仑区小港街道龙港公路222号宁波新周污水处理厂二期工程在进行曝气管试压时发生管道炸裂,造成1人死亡,3人受伤。接到事故报告后,根据《中华人
北极星环卫网获悉,11月24日,黑河市应急管理局公布了黑河五大连池城市生活垃圾处理站“823”较大中毒窒息事故调查报告。8月23日,五大连池市城市生活垃圾处理站在垃圾渗滤液抽取处理过程中1名工人不慎跌入临时储罐(有限空间),其他人员盲目施救,吸入过量有害气体中毒窒息。事故造成4人死亡,直接经
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