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北京维意真空技术应用有限责任公司
| 企业认证： |  已认证 |
| 所在地区： | 北京 |
| 主营产品： | ALD镀膜设备，PECVD镀膜设备，实验室气路安装，磁控溅射镀膜设备，热蒸发镀膜设备，脉冲激光沉积镀膜设备，热压炉，探针台，空间环境模拟器 |
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联系方式
| 姓名： | 于磊 |
| QQ： | 2412958820  |
| 电话： | 010-67947887 |
| 手机： | 15611171559 |
| 邮箱： | yulei15611171559@163.com |
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产品说明
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维意真空ALD/MO源瓶
*** 源瓶（起泡器）用于固态、液态及气态超纯物料类的封装，涉及微正压、
常压、中低压的危险化学品，所以对源瓶的安全性和洁净度提出严苛的要
求。
*** 源瓶特点：
1、所有管件采用316L不锈钢，内部经400目机械抛光和电化学抛光，Ra≦0.25微米；
2、阀门有美国世伟洛克球阀和隔膜阀、日本富士金隔膜阀和韩国TK隔膜阀供选择；
3、密封垫片选用纯银镀镍垫片；
4、氦质谱检测泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s；
5、可盛装化学品纯度≧99.9995;
6、总残余元素量≦50PPb；
7、坠落试验，通过国家商检部门检测；
8、介质，TMG\TEG\TMA\TMIN\DEE等；
9、可选择气动阀门或者实现在注入端子、输出端子以及接口之间的交叉清扫处理等；
10、可提供非标定做。
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