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北京维意真空技术应用有限责任公司
| 企业认证： |  已认证 |
| 所在地区： | 北京 |
| 主营产品： | ALD镀膜设备，PECVD镀膜设备，实验室气路安装，磁控溅射镀膜设备，热蒸发镀膜设备，脉冲激光沉积镀膜设备，热压炉，探针台，空间环境模拟器 |
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联系方式
| 姓名： | 于磊 |
| QQ： | 2412958820  |
| 电话： | 010-67947887 |
| 手机： | 15611171559 |
| 邮箱： | yulei15611171559@163.com |
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产品说明
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维意真空PECVD等离子体增强化学气相沉积镀膜设备
*** PE-CVD结构特点介绍：
1、PECVD系列真空管式高温烧结炉如图所示,集控制系统与炉膛为一体；
2、炉衬使用真空成型高纯氧化铝聚轻材料，采用进口高温合金电阻丝为加热元件；
3、高纯石英管横穿于炉体中间作为的炉膛，炉管两端用不锈钢法兰密封，工件式样在管中加热，加热元件
与炉管平行，均匀地分布在炉管外，有效的保证了温场的均匀性；
4、测温采用性能稳定，长寿命的“K”型热电偶，以提高控温的精准性；
5、它是专为高等院校﹑科研院所及工矿企业对金属，非金属及其它化和物材料在气氛或真空状态下进行烧
结﹑融化﹑分析而研制的专用设备；
6、MPECVD系列真空管式炉能够快速开启，快速升降温，方便客户对特殊材料的装载，烧制和观察；
7、炉体的控制面板配有触摸屏，控制电源开关，配有电源和保险指示灯，以便随时观察本系统的工作状态。
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