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产品名称:硅片腐蚀机

联系人:魏然
手机: 13911371769 电 话:010-58467689

产品说明

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  用于各尺寸硅晶片的腐蚀清洗;
清洗规格2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette   4 inch2 cassette/ Batch25 Pcs/cassette
  工艺说明:手动方式实现放件,取件,槽体间传送件。

  设备形式: 室内放置型。

  腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性;

 工艺参数(温度,时间,DIW水清洗模式、时间可调)手动由触摸屏界面可设定;

  机台前方为清洗工作区域,机台后上方为电器和气路布置区域,后下方为液路布置区域。

 药液供给及补液方式: 分体式CDS自动供液系统

  DI槽配有在线式水质检测装置;

 

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