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该成果主要创新内容:
1.多晶硅炉传动系统利用三个结实的丝杠连接下腔室和上腔室。挠性的驱动电缆使3个丝杠作同步运动。一个大的直流电机驱动着丝杠上下运动,以打开和关闭下腔室。上腔室顶部有与挠性驱动电缆相连的3个滑动组件,能够上下移动隔热层以便控制硅锭的长晶过程。(ZL200820080641.2)
2.热场控制热场用4个石墨板形成一个“正方形”的加热器,使用加热元件周围隔热层较平坦的元件隔热。在不锈钢笼里有两层隔热介质,由3个隔热层提升杆支撑不锈钢笼。3个石墨杆从下腔室支撑巨大的石墨块。3个提升杆能上下提升隔热笼,露出DS-Block底部,从而冷却下腔室的四壁。这样热场内就形成了一个竖直的温度梯度使硅锭从熔体底部向顶部开始长晶。
3.硅液溢流自动保护技术在下炉盖保温材料上部设置不锈钢传感器线,在意外情况下,硅液流出坩埚,从下面隔热层的开口处流到下面腔室地板上的保护铝垫上,硅液会熔化铝垫上的不锈钢传感器线,系统自动报警,并实施保护。被鉴处于国际先进水平。
4.SCR控制器调节主变压器初级绕组的电压SCR控制器采用这样的方式控制SCR:按一定的设定功率比,接通和断开SCR的功率控制器。例如:设定功率比为30%,在30%的时间内完全接通SCR控制器,在剩下70%的时间内断开SCR控制器。一般情况下,整个控制循环的设定时间为4秒,所以SCR控制器在1.2秒内接通,在2.8秒内断开,然后重复这个循环。这种控制能显著地提高功率的转换系数和整个系统的有效功率。
北京京运通科技股份有限公司成立于2002年8月8日,并于2008年10月31日改制为股份有限公司,注册资金3.7亿元人民币,公司总资产达17亿元人民币,是我国真空晶体生长设备(包括软轴单晶炉、多晶硅铸锭炉、区熔炉、多晶硅还原炉等)研发制造于一体的专业生产厂家。
单晶硅拉制、多晶硅铸锭设备
2、上海汉虹8英寸135KG装料量单晶生长炉(拉制)
由上海汉虹精密机械有限公司承担的2007年度《上海市引进技术的吸引和创新计划》项目“8英寸135Kg装料量硅单晶生长设备”已获上海市经济信息委员会验收,并获评审专家一致好评。
该项目完全由汉虹自筹资金、自主设计、自主开发,于2008年10月完成。经验收专家组评审,该设备稳定可靠,功能完善,完全自动控制,达到国内领先、国际先进水平。该设备的成功开发将大大提高国产光伏设备的竞争力,极大的促进了我国半导体和光伏产业的快速发展。
据了解,135Kg单晶炉全自动投料量为135Kg,最大为150Kg(24热场),能拉出直径8英寸、长度1500mm的较大直径单晶,提拉速度在0.8-1.00mm/min。该设备采用电脑控制系统和触摸式屏幕显示。可通过手持触摸屏幕显示控制单晶炉内的“化料、稳定、引晶、放肩、收肩、等径拉制、收尾、冷却“等拉晶全过程,随时了解单晶硅棒的长度。
同时该设备具备节能省电:拉制8英寸单晶晶棒等晶时的功率小于100KW,拉速大于1mm/min;环保安全:在拉晶时加热器对周围环境无污染,并设置了多种安全措施;性能优异:晶棒直径采用CCD控制,使等晶时的直径误差不大于1.5mm。
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