等离子体沉积

类别：太阳能电池来源：北极星太阳能光伏网2024-01-22 09:15:11

（pecvd）、物理气相沉积设备（pvd）、板式原子层沉积设备（ald）、烧结炉、光注入、碱抛机、碱制绒机、热水机、烘干炉、镀舟机、插片机、分选机、测试机、冷水机组、空压机、风机、水泵等生产及公辅设备。...包括电池车间、研发车间、综合仓库、化学品库、动力站、110千伏变电站、中转池、磷烷站、空分站、氨气/笑气站、硅烷站、食堂、倒班宿舍、门卫室等生产及公辅设施，租用建筑面积229335.85平方米；购置安装硼扩散、等离子体增强化学气相沉积设备

类别：其他来源：北极星太阳能光伏网2023-09-28 09:20:16

目前，乐天钙钛光电已拥有精密狭缝涂布技术、大面积薄膜印刷技术、等离子体沉积技术以及前驱体合成技术和电子空穴传输层调控技术。预计年内有望建成100mw中试线，并计划于2025年实现电池组件量产。

类别：太阳能电池来源：北极星太阳能光伏网2023-07-18 14:50:47

目前，乐天钙钛光电已拥有精密狭缝涂布技术、大面积薄膜印刷技术、等离子体沉积技术以及前驱体合成技术和电子空穴传输层调控技术。预计年内有望建成100mw中试线，并计划于2025年实现电池组件量产。

类别：来源：国家能源局2022-10-24 09:31:43

开发调整气藏方案编制技术要求页岩油 页岩储层渗吸测定技术规范页岩油 页岩有机萃取物中饱和烃和芳烃生物标志化合物色谱质谱同步分析方法页岩油 页岩含油量及可动性评价方法页岩油 页岩热物性参数实验技术规范页岩油 细粒沉积体系与岩相编图规范页岩油

类别：太阳能电池来源：PVInfoLink2021-09-17 18:27:41

cvd因为其沉积速率高和对硅片钝化效果好的优势，部分厂商也在开始尝试该路线；tco制备环节，磁控溅射pvd法因为工艺简单，膜层均匀易控制且靶材利用率高制造成本低等优势已然成为制备tco的主流工艺，而反应等离子体沉积

类别：来源：pv-magazine2021-07-29 09:35:43

技术分歧梅耶博格的hjt生产线基于pecvd（等离子体增强化学气相沉积）工艺，用于生产双结晶体硅(a-si)/非晶硅(a-si)电池。...oxford pv可以直接与溅射或薄膜沉积专家而不是梅耶博格合作。”

类别：太阳能电池来源：pv-magazine2021-04-14 09:18:47

工艺步骤还包括高温退火并通过等离子体增强化学气相沉积法（pecvd）在电池的两侧应用氮化硅（sinx）层。...研究人员sebastian mack告诉《光伏》杂志：“目前，额外的氢化步骤确实会增加额外的成本，因为必须使用另一种pecvd工具来两次沉积后氮化硅（sinx）层。

类别：太阳能电池来源：集邦新能源网2021-02-02 13:36:17

值得注意的是，虽然某些工序/设备名称一样，但是实际区别较大，例如pecvd设备，pecvd全称为等离子体增强化学气相沉积法（plasma enhanced chemical vapor deposition...在perc中用来沉积sinx薄膜与钝化alox薄膜，在topcon中用来钝化氧化硅薄膜与沉积本征多晶硅薄膜，在hjt中用来沉积非晶硅薄膜，因为沉积的薄膜不同，设备的构成、镀膜速度、投入等存在巨大差别。

类别：太阳能电池来源：pv-magazine2020-09-27 11:51:36

meyer burger通过其helia pecvd平台为a-si钝化部署了等离子体增强化学气相沉积（pecvd）。...bloombergnef团队注意到，这些设备供应商在hjt电池的两侧部署了化学气相沉积（cvd）来沉积非晶硅（asi）。

类别：太阳能电池来源：科创板日报2020-08-06 08:54:18

目前，理想晶延已经推出了原子层沉积 （ald）设备、等离子体增强化学气相沉积（pecvd）设备、铜铟镓硒（cigs）蒸镀等太阳能电池生产中关键工艺设备及相关辅助设备、应用于光电子领域的金属有机物化学气相沉积

类别：太阳能电池来源：Solar cells 技术2020-07-17 08:33:57

对于sin x，一方面，采用pecvd（等离子体增强化学气相沉积）方法，在沉积过程中，其折射率可以从1.98调整到2.98 ]。...因此，在本报告中，第三层被siox取代，它具有更合适的1.46的折射率，并且可以很容易地集成到sinx中采用等离子体增强化学气相沉积（pecvd）方法的沉积工艺。

类别：太阳能电池来源：新能源沙龙 中信建投2020-06-17 08:42:46

）来沉积正面的氮化硅减反膜，使用丝网印刷机印刷背面铝膜和正面银栅线，最后在烧结炉中完成高温烧结。...常规单晶铝背场电池常规p型单晶铝背场电池使用p型硅片做衬底，在槽式制绒清洗机中完成清洗制绒，在扩散炉中进行扩散制pn结，使用湿法刻蚀清洗机或等离子体刻蚀机与去psg清洗机完成刻蚀和去磷硅玻璃，使用pecvd（等离子体增强化学气相沉积

类别：太阳能电池来源：光伏們2020-05-19 11:58:58

，藉由四个主要设备来完成八个工艺步骤，使得工艺流程极大地简化，生产场地占地面积大大缩小，其工艺步骤如下：01、制绒清洗机 ：电池正反面制绒 02、等离子体增强化学气相（pecvd）沉积正面本征非晶硅薄膜

类别：太阳能电池来源：摩尔光伏2020-05-19 10:32:58

a 型416管式pecvd机台使用的是416石墨舟载片，相较于b型308管式pecvd使用的308石墨舟载片，其增加了长度和宽度，因此增加了工艺功率使镀膜平均功率相同，平均沉积速率相同，但等离子体整体辉光放电均匀性变差

类别：来源：未来智库2020-05-06 08:22:03

非晶硅沉积主要使用 pecvd 方法。tco 薄 膜沉积目前有两种方法：rpd(反应等离子体沉积)和 pvd（物理化学 气象沉积）。

类别：EVA背板来源：北极星太阳能光伏网2020-04-24 10:44:25

电池生产设备国产化正在积极推进中；背钝化技术氧化铝镀膜设备研发已形成批量生产销售；topcon电池工艺技术钝化设备研发已进入工艺验证阶段；智能制造车间系统产品技术成熟，步入大规模产业化推广阶段；主营产品高温扩散氧化退火炉、管式等离子体沉积炉

类别：来源：摩尔光伏2020-03-16 09:05:50

2.结果与讨论 2.1氮化硅薄膜沉积原理与分析等离子体增强化学气相沉积法沉积薄膜的原理如图1，pecvd是一种射频辉光放电的物理过程和化学反应相结合的技术，在保持一定压力的原料气体中，输入直流、高频或微波功率

类别：来源：光伏們2020-02-20 07:01:54

除此之外，电池片还必须经过等离子体增强，化学蒸汽沉积氮化硅作为防反射涂层。

类别：来源：光伏們2019-11-20 08:38:56

随后在3月14日，继在美国和德国，韩华新能源又以相同的原因，向澳大利亚联邦法院对晶科、隆基提起专利侵权诉讼，称专利权利要求不限于任何特定的制造方法，例如原子层沉积（ald）或等离子体增强化学沉积（pecvd

类别：太阳能电池来源：PV兔子2019-10-18 09:06:09

hjt电池工艺主要包括制绒、非晶硅沉积、tco沉积、丝网印刷。非晶硅沉积主要使用pecvd方法。tco薄膜沉积目前有两种方法：rpd(反应等离子体沉积)和pvd（物理化学气象沉积）。

类别：太阳能电池来源：光伏测试网2019-09-18 08:57:01

目前，国内外文献多采用等离子体增强化学气相沉积法(pecvd)制备非晶硅薄膜，其他 方法如热丝化学气相沉积技术(hwcvd)、常压化学气相沉积技术(apcvd)和 离子束辅助沉积技术制备a-si:h也有研究

类别：其他来源：光伏前沿2019-09-04 11:31:50

金属电极丝网印刷线研发已基本完成，进入工艺验证阶段，hjt整线生产设备国产化正在积极推进中；背钝化技术氧化铝镀膜设备研发已形成批量生产销售；topcon电池工艺技术钝化设备研发已进入工艺验证阶段；主营产品高温扩散氧化退火炉、管式等离子体沉积炉

类别：太阳能电池来源：未来智库2019-07-25 09:23:20

下面介绍一下背面钝化工艺、背面开槽工艺的主流设备和技术:1)背面钝化设备:背面钝化设备是实现perc工艺的主设备，其技术方案主要有pecvd(等离子体增强化学气相沉积)、ald(原子层沉积)两种，其他技术方案如

类别：太阳能电池来源：光伏前沿2019-07-22 09:01:06

（3）tco膜制备①工艺汇总②量产信息汇总现阶段tco制备工艺主要为pvd直流磁控溅射工艺与rpd（反应等离子体沉积）工艺。...（2）非晶硅沉积①工艺介绍②量产信息汇总非晶硅沉积主要考虑为薄膜均匀性、氢含量、光敏性。

类别：太阳能电池来源：光伏领跑者创新论坛2019-07-10 14:58:55

在研究过程中，研究小组在电池背面沉积了一层pedot:pss层作为收集孔，而电池正面则通过磷扩散的“常规”处理。...科学家们通过制造300μm厚(100)(p型悬浮区(fz-si)，电阻率200ωcm的硅片来评估钝化质量，然后使用等离子体增强化学气相沉积处理硅片的另一侧。

类别：来源：北极星太阳能光伏网2019-03-15 09:41:50

一位发言人还补充说，我们的maia和fabia电池涂层平台，使用我们专有的等离子体增强化学气相沉积（pecvd）钝化技术，不在专利侵权索赔的范围。...总部位于瑞士图恩的meyer burger认为，hanwha声称是基于使用原子层沉积（ald），与隆基使用的制造工艺不同。目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。

类别：太阳能电池来源：电子世界2019-02-26 09:04:54

反应气体主要为硅烷（sih4）和氨气（nh3），最终反应方程式如下：sinx薄膜对电池表面钝化原理：pecvd法在沉积sinx薄膜时，会在薄膜中形成大量固定正电荷和游离的氢原子。...，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在样品表面形成固态薄膜。

类别：来源：未来智库2019-02-03 11:06:06

下面介绍一下背面钝化工艺、背面开槽工艺的主流设备和技术:1)背面钝化设备:背面钝化设备是实现perc 工艺的主设备，其技术方案主要有pecvd(等离子体增强化学气相沉积)、ald(原子层沉积)两种，其他技术方案如

类别：丝网印刷机来源：全景网2018-08-21 14:13:44

捷佳伟创成立至今，均主营生产pecvd（等离子体增强化学的气相沉积法）等晶体硅电池设备。

类别：多晶硅来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-27 12:15:34

沉积时间的不同膜厚也是不一样的要根据镀膜的颜色来适当的增加或减少它的沉积时间，片子发白要减少沉积时间，如偏红则要适当的增加。...pecvd( plasma enhanced chemical vapor deposition)等离子增强化学气相沉积，等离子体是物质分子热运动加剧，相互间的碰撞会导致气体分子产生电离，物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子