来源：北极星太阳能光伏网2024-07-08

项目拟租赁合肥京东方显示技术有限公司3号建筑楼4层总建筑面积约1.8万平方米，购置磨边机、激光划线机、湿洗机、磁控溅射机、干洗机、 涂布机、热烘烤炉、蒸镀机、原子层沉积装置、反应式等离子体沉积机、封装组件

来源：北极星太阳能光伏网2023-09-28

目前，乐天钙钛光电已拥有精密狭缝涂布技术、大面积薄膜印刷技术、等离子体沉积技术以及前驱体合成技术和电子空穴传输层调控技术。预计年内有望建成100mw中试线，并计划于2025年实现电池组件量产。

来源：北极星太阳能光伏网2023-07-18

目前，乐天钙钛光电已拥有精密狭缝涂布技术、大面积薄膜印刷技术、等离子体沉积技术以及前驱体合成技术和电子空穴传输层调控技术。预计年内有望建成100mw中试线，并计划于2025年实现电池组件量产。

来源：PVInfoLink2021-09-17

，部分厂商也在开始尝试该路线；tco制备环节，磁控溅射pvd法因为工艺简单，膜层均匀易控制且靶材利用率高制造成本低等优势已然成为制备tco的主流工艺，而反应等离子体沉积rpd法因为凭借沉积的iwo光电性能更优异的优势

来源：北极星太阳能光伏网2020-04-24

电池生产设备国产化正在积极推进中；背钝化技术氧化铝镀膜设备研发已形成批量生产销售；topcon电池工艺技术钝化设备研发已进入工艺验证阶段；智能制造车间系统产品技术成熟，步入大规模产业化推广阶段；主营产品高温扩散氧化退火炉、管式等离子体沉积炉

来源：PV兔子2019-10-18

hjt电池工艺主要包括制绒、非晶硅沉积、tco沉积、丝网印刷。非晶硅沉积主要使用pecvd方法。tco薄膜沉积目前有两种方法：rpd(反应等离子体沉积)和pvd（物理化学气象沉积）。

来源：光伏前沿2019-09-04

金属电极丝网印刷线研发已基本完成，进入工艺验证阶段，hjt整线生产设备国产化正在积极推进中；背钝化技术氧化铝镀膜设备研发已形成批量生产销售；topcon电池工艺技术钝化设备研发已进入工艺验证阶段；主营产品高温扩散氧化退火炉、管式等离子体沉积炉

来源：光伏前沿2019-07-22

（3）tco膜制备①工艺汇总②量产信息汇总现阶段tco制备工艺主要为pvd直流磁控溅射工艺与rpd（反应等离子体沉积）工艺。...（2）非晶硅沉积①工艺介绍②量产信息汇总非晶硅沉积主要考虑为薄膜均匀性、氢含量、光敏性。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-19

2012年3月，东方集成在上海某研究所成功安装了sentech si500d等离子体沉积系统。...本次的安装，体现了东方集成为客户考虑，将工作做完美的一贯宗旨;也标志着，sentech中国区等离子体刻腐蚀和沉积系统业务在与东方集成的合作中进入了飞速、稳定的发展。

来源：全球光伏网2011-09-05

通过使用等离子体沉积实现了最长正常运行时间和最佳整体性能。此外，与市场中其他类型的pecvd相比，它具有优化的结构设计，故无需定期停机清洁腔体，确保了最长的连续运行时间。