来源：新能源投融资圈2018-01-17

(2)ald 技术引用，进一步降低非硅成本钝化技术中，ald 技术性价比更高：背钝化材料中，氧化铝是目前市场首选。而影响背面钝化成本的两个核心因素是氧化铝膜厚度和tma 使用量。...而相比于传统pecvd 钝化技术，ald 技术使钝化膜更薄，并且大大降低tma 使用量，从而使成本降低。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-11-03

在不断增加的高效率、低成本晶硅太阳能电池市场需求驱动下,微导为单、多晶高效太阳能电池技术提供高性能ald钝化和rie干法制绒生产解决方案。与传统的铝背场电池相比...其最核心的ald原子层沉积工艺可以在薄膜厚度低至2纳米时依旧对电池表面提供良好的钝化，这是其它技术从原理上就无法达到的条件，在核心技术上达到了国际第一梯队的领先水平。

来源：PV兔子2017-10-20

比如很多主流的pecvd和ald的工艺都不能使用了。而且一般而言，低温制备的钙钛矿电池的热稳定性都比较差。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-10-19

”技术相结合，为进一步增强perc转换效率提供了最佳解决方案wr系列-板式rie“黑硅”系统全自动在线rie“黑硅”技术超高产能和稳定工艺与金刚线切割技术完美结合，在降低成本的同时提升转换效率配合微导ald...管式原子层沉积镀膜系统高质量超薄aldai203钝化膜全自动、高产能、高稳定性超低反应源耗量提升perc电池光电转换效率近1%最低的设备运营成本和综合成本后羿系列-板式化学气相沉积/原子层沉积镀膜系统板式空间cvd和ald

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-08-30

其中专门为新型高效太阳能电池的表面钝化所开发的原子层沉积（ald）技术，在不到一年的时间内就完成了从技术评估、设计定案、机械和工艺验证，直到完成最终的客户应用评估等工作，并于今年2月份在客户端获得了超21%

来源：中国光伏专委会2017-07-28

理想能源开发出原子层沉积（ald）法的alox膜沉积设备，采用托盘方式传输电池硅片，与其他供应商采用的硅片直接传输方式相比，可以将碎片率降到最低；同时最大程度减少由于碎片造成的停机时间。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-03-20

微导rie黑硅与ald背钝化技术的结合，为晶硅太阳能电池效率突破、降低成本提供最佳量产方案。...在不断增加的高效率、低成本晶硅太阳能电池市场需求驱动下，微导为单、多晶高效太阳能电池技术提供高性能ald钝化和rie干法制绒生产解决方案。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-02-27

现有的ald量产技术都被国外的设备大厂如asm、amat、tel等垄断。微导正在开展的ald设备产品技术性能达到国际领先水平，打破国外垄断，填补了国内空白。...微导rie黑硅与ald背钝化技术的结合，为晶硅太阳能电池效率突破、降低成本提供最佳量产方案。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2016-12-23

同时，无锡先导投资发展有限公司正在与新吴区旺庄街道洽谈基于原子层沉积技术的ald微纳器件制造项目及云计算数据中心项目。该项目拟用地面积200亩，总投资25亿元，计划分两期建设。

来源：北极星太阳能光伏网2015-11-24

加快高效电池用平板式pecvd、离子注入机、刻蚀机、原子层沉积镀膜设备（ald）等关键工艺设备研发领域均有入围。

来源：EnergyTrend2015-09-21

展望明年，除了主流机台仍旧订单满载之外，无法顺利购得机台的厂商为了不失去竞争力也会再做更多尝试，届时除了用pecvd镀氧化铝之外，也会有厂商选用ald技术，或是不愿冒机台风险的厂商可能会重新评估采用长兴材料集团的方式

来源：日经BP社2015-05-22

此次能大幅提高转换效率的原因是，在单元表面形成防复合膜时，采用原子层沉积（atomic layer deposition：ald）法形成了氧化铝（al2o3）层，并优化了该层的厚度等，从而大幅减少了载流子复合

来源：PV-Tech2015-01-14

我们的目标是向太阳能产业表明，在晶硅太阳能电池的钝化工艺中使用空间ald解决方案，相较于pecvd氧化铝具有更高的潜力。...近期被amtech系统公司收购的光伏设备企业solaytec表示，其与韩华q cells就公司ald(原子层沉积)系统的合作日前进入了评估测试阶段。

来源：pv-magazine2015-01-07

这一收购行动将solaytec的原子层沉积(ald)技术带进了amtech集团。solaytec的这套技术可用于p型perc和n型电池生产的升级。

来源：pv-magazine2015-01-07

这一收购行动将solaytec的原子层沉积(ald)技术带进了amtech集团。solaytec的这套技术可用于p型perc和n型电池生产的升级。

来源：元器件交易网2014-12-17

kramer将新开发的制程技术叫做sprayld，因为是采用原子层沉积(ald)设备；他表示，团队已经在平面玻璃基板、软性塑胶基板以及半球形玻璃基板上尝试过喷涂技术，而且利用以上三种基板都成功产出了具功能的元件

来源：绿色未来2014-12-09

kramer把这项技术称之为喷涂ld（sprayld），改写于原子层沉积（ald）（将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法）。

来源：PV-Tech2014-11-24

领先的台湾商业太阳能电池生产商日前也采用ald技术生产下一代perc太阳能电池。...现阶段，solaytec的ald氧化铝比竞争技术，如pecvdalox少消耗4-5。

来源：pv-tech2014-07-31

材料专家akzonobel正在与新加坡太阳能研究所(seris)在新加坡国立大学合作，旨在为氧化铝钝化层工艺提供更低成本的原子层沉积(ald)与等离子体增强化学气相沉积(pecvd)前体。

来源：中国能源报2014-07-02

2013年又研制出的一批新的晶硅太阳能电池设备(在线湿法刻蚀设备、减压扩散炉、ald原子层沉积al2o3钝化膜设备、超细栅印刷设备、全自动太阳能电池测试分选机等)，2014年这批新设备将进入市场，这不仅使太阳能电池片生产线的产能和转换效率得到明显的提高