来源：未来智库2019-07-25

下面介绍一下背面钝化工艺、背面开槽工艺的主流设备和技术:1)背面钝化设备:背面钝化设备是实现perc工艺的主设备，其技术方案主要有pecvd(等离子体增强化学气相沉积)、ald(原子层沉积)两种，其他技术方案如

来源：pv-magazine2019-07-04

周五的消息是，amtech即将完成出售solaytec原子层沉积（ald）业务，从太阳能业务领域撤出。...大订单“飞了”仅在去年9月，ald下属的tempress就宣布其高效率的n型太阳能电池生产设备得到了一家大客户的600多万美元的订单。

来源：中国知识产权报2019-04-17

据了解，背钝化膜的制备，是perc电池最为核心的工艺步骤，产业化沉积薄膜的技术手段主要有以solaytec、韩华新能源等厂商为代表的原子层沉积（ald）方式，及以瑞士meyerburger为代表的板式（...对于上述起诉，隆基股份方面表示，从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致（专利技术采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术），同时表示：“根据媒体信息初步分析显示，韩华新能源诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得

来源：中国商务新闻网2019-03-27

隆基绿能也于同日发布声明称，目前公司所采用的是pecvd技术，与涉案专利采用的ald技术并不相同。

来源：光伏测试网2019-03-27

2019年3月6日，韩华发表声明称晶科能源、隆基股份及rec等三家公司侵犯了其钝化技术专利，隆基方面则在声明中表示，隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ald技术，而隆基采用的是pecvd

来源：证券日报2019-03-19

因此，晶科能源反对韩华的指控；隆基股份方面则表示，从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致（专利采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术）。

来源：北极星太阳能光伏网2019-03-15

总部位于瑞士图恩的meyer burger认为，hanwha声称是基于使用原子层沉积（ald），与隆基使用的制造工艺不同。目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。

来源：pv-magazine2019-03-13

隆基表示，有争议的专利与ald技术有关，隆基采用的是pecvd技术。相关链接：韩华起诉晶科、隆基和rec侵犯其专利权，最新回应来了!

来源：e公司2019-03-12

隆基股份表示，从技术上看，目前公司产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，事涉专利采用的是ald技术，而公司采用的是pecvd技术；另据媒体信息初步分析，韩华诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2019-03-07

从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术。

来源：隆基股份2019-03-06

从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致（专利采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术）。仅根据现有媒体信息分析显示，目前相关诉讼对隆基的生产、经营不会造成实质性影响。

来源：亚化咨询2019-02-19

其中，根据设备形式的不同，pecvd沉积工艺设备包括板式pecvd和管式pecvd，ald沉积工艺设备也主要分为管式ald和板式ald，值得注意的是，在管式ald工艺下，还分为单插片与双插片的区别，即双面镀膜和单面镀膜的差异

来源：未来智库2019-02-03

下面介绍一下背面钝化工艺、背面开槽工艺的主流设备和技术:1)背面钝化设备:背面钝化设备是实现perc 工艺的主设备，其技术方案主要有pecvd(等离子体增强化学气相沉积)、ald(原子层沉积)两种，其他技术方案如

来源：东方日升2019-01-16

2018年，公司成为全球首家双面原子层沉积(ald)-alox钝化perc电池量产实现gw规模的企业，电池平均效率突破22.2%，产线最高效率达22.51%。

来源：东吴证券2018-12-14

perc 产线单 gw 设备投资额约 3.5-4 亿，丝网印刷、制膜(设备包括 pecvd 和 ald)、扩散环节设备投资占比分别达到 27%、24%、18%。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2018-07-30

先导的ald 背钝化设备、mbb多栅串焊机等均达到了全球领先的水平，结合自主研发的mes系统，可为光伏企业打造无人车间。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2018-07-27

目前先导集团正在研发半导体核心装备ald原子层沉积装备，今后将有望打破asm等进口装备的垄断地位。...项目总投资约50亿元，分两期建设，一期为基于原子层沉积(ald)技术的半导体装备，新能源汽车氢燃料电池装备的研发及产业化;二期为氢燃料电池汽车配套设施的研发及产业化项目，切入制氢、储氢等细分领域。

来源：北极星太阳能光伏网2018-05-30

在技术优势方面，晋能科技高效单晶perc组件采用先进的ald背面al2o3钝化工艺，背面采用皮秒激光开槽，降低激光对硅片的损伤；由于采用了业内先进的电池后处理工艺，晋能科技perc组件首年光衰还低于1.5%

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2018-05-28

21.7%，在运行批量型ald设备中国市场占有率80%以上！...江苏微导纳米装备股份有限公司首席技术官黎微明博士介绍了全球首发的kf6500原子层沉积（ald）钝化设备。

来源：PV兔子2018-02-27

同时在这一步工艺中，两面生长氧化层，正面掺杂的多晶硅对硅片起到吸杂(gettering)的效果去除正面氧化层，再使用光刻技术对背面氧化层开孔使用koh刻蚀，正面制绒，背面断开掺杂区域的衔接ald生长20nm