来源：贺利氏可再生能源2020-07-10

一种是用lpcvd原位（或离位）掺杂形成多晶硅，由于lpcvd沉积过程会带来绕镀问题，使电池性能退化，因此可选择离位掺杂，即lpcvd形成本征多晶后再进行扩散或离子注入掺杂，形成重掺杂的多晶硅；另一种是使用

来源：谷海研报2020-06-30

电池片环节：hjt有望成为新一代主流技术，hjt与现有产线不兼容，未来从perc向hjt的转换有望带动设备需求爆发式增长，国产设备厂商在hjt的设备开发及验证进度方面已取得积极进展，尤其在瓶颈设备pecvd

来源：北极星太阳能光伏网(独家)2020-06-27

理想是国内领先的pecvd设备企业，早在2017年其首台异质结电池量产型pecvd顺利交付，打破了国外企业的垄断局面。...2019年4月，公司首台异质结叠层pecvd设备正式启运，6月异质结电池下线，转换效率达到23%。

来源：元一能源2020-06-24

砷化镓基系太阳电池经历了从lpe到mocvd，从同质外延到异质外延，从单结到多结叠层结构发展变化，其光电转换效率不断提高。电池效率从最初的16%增加到32%，并在空间系统得到广泛应用。

来源：脱水研报2020-06-23

（1）hjt电池设备厂商据脱水君了解，目前国产设备厂商在hjt的设备开发及验证进度方面并不弱，尤其在瓶颈设备pecvd环节也已实现较大突破。...比如：理想能源pecvd设备已用于通威成都产线，此外迈为股份为通威合肥基地提供整线，同时捷佳伟创与爱康科技签署2gw异质结电池项目合作协议。

来源：SOLARZOOM光储亿家2020-06-23

可以说，应用材料的薄膜沉积（cvd、pvd 等）、氧化、刻蚀、离子注入、快速热处理、化学机械平整（cmp）、计量检验等设备基本覆盖了集成电路生产的全部环节。...另外有数据显示，在全球 pvd(physical vapor deposition)设备市场，应用材料拥有近 55%的份额，在全球 cvd(chemicalvapordeposition)设备市场份额也达到了近

来源：中国光伏行业协会CPIA2020-06-22

电池片设备主要包括制绒、扩散炉、在线湿法刻蚀机、背钝化、pecvd、激光开槽、丝网印刷机以及测试分选设备。...我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、组件设备的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如湿法清洗设备、制绒机、扩散炉、管式pecvd

来源：光伏新闻2020-06-22

一、perc专利战如鲠在喉韩华专利的核心是ald镀氧化铝+pecvd镀氮化硅的结构，以及用此结构来生产出来的太阳能电池，该技术主要应用于perc电池中，而perc电池早已成为主流电池工艺，据不完全统计，

来源：新能源沙龙 中信建投2020-06-17

在单晶铝背场电池产线的设备投资中，丝网印刷机、减反膜pecvd和自动化设备占比较高，分别可达总投资的39%、18%和13%。...常规单晶铝背场电池常规p型单晶铝背场电池使用p型硅片做衬底，在槽式制绒清洗机中完成清洗制绒，在扩散炉中进行扩散制pn结，使用湿法刻蚀清洗机或等离子体刻蚀机与去psg清洗机完成刻蚀和去磷硅玻璃，使用pecvd

来源：电新产业研究2020-06-15

pecvd不管在理论上还是工艺上都是可行的，此前产业中存在pecvd能否做大的争论。...一旦彻底突破，pecvd的gw投资将从5亿下降到2.5亿。pecvd突破将带动设备投资快速下降。

来源：中国电力2020-06-10

al2o3镀膜设备产能70%以上集中在欧洲和韩国企业，n型双面钝化电池（n-pert）高温硼扩散炉80%来自于荷兰tempress公司，异质结电池（hjt）的清洗、物理气相沉积（pvd）、化学气相沉积（cvd

来源：华杉投资2020-06-08

其中丝网印刷机和pecvd是电池片设备，长晶炉是硅片设备商。光伏设备龙头市占率光伏辅材主要分为光伏玻璃和eva胶膜。

来源：苏大光伏校友会2020-06-08

高登赛1gw高效异质结太阳电池项目，采用国际最先进的清洗制绒机、pecvd非晶硅镀膜机、pvd沉积导电膜机和电极印刷机，匹配自主研发的高效工艺技术路线，产品30年无光衰。

来源：河北省发改委2020-06-03

产品覆盖平板显示、led、光伏电池、芯片制造等诸多领域，涉及溅射、蒸发、多弧离子镀等多种pvd技术以及pecvd、lpcvd、mocvd 等多种cvd 技术用单体和连续化生产高技术装备。

来源：天风机械团队2020-06-02

在perc+时代，捷佳伟创积极研发深入布局，目前在topcon工艺的核心设备lpcvd上，其自主研发的lpcvd能在27-279pa的反应压力下进行化学气相沉积，膜的质量和均匀性更好，质量优且成本低，深受市场欢迎

来源：老成之见2020-06-02

根据上市公司与产业信息，目前钧石能源自研产线可以支撑量产电池片平均效率达到24.2%；理想万里晖pecvd设备实现实验室转换效率25.1%；迈为股份自主研发生产pecvd与丝网印刷设备，且已具备提供hjt

来源：北极星太阳能光伏网2020-06-01

此前，爱康已经在中试研发线引进了捷佳伟创220mw rpd设备，在后续扩产前将在某些关键工艺设备上实行共同研发，主要聚焦等离子化学气象沉积镀膜设备(pecvd)和新式tco镀膜设备，双方将共同开发具有自主知识产权和技术专利的新技术和新工艺

来源：招商证券 雪球2020-06-01

非晶硅沉积：在清洗好的硅片两侧沉积本征和掺杂非晶硅薄膜，两侧共4层膜（i、n、i、p），在一台机器内完成，对应设备是pecvd，和perc的pecvd不通用。...hit量产最大的痛点在于pecvd，当前海外应材和梅耶博格的pecvd价格接近5亿元/gw，设备虽然成熟但价格太高，整线的设备投资达到7-8亿元/人民币。

来源：光伏测试网2020-05-27

目前主要使用的管式pecvd设备，用石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉...②非晶硅薄膜沉积主要使用pecvd（离子体增强化学气相淀积）方法，目前国外主流厂家为meyer burge。国内厂家包括理想、钧石能源、迈为股份。

来源：长江商报2020-05-27

金辰股份本次非公开发行募集资金金额不超过3.8亿元（含3.8亿元）主要用于年产40台（套）光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目及补充流动资金。...目前，具备供应量产hjt电池生产设备（尤其是关键工艺设备pecvd）能力的主要为国外厂商，如梅耶博格、松下等，设备价格昂贵，整线设备投资高达10亿元/gw左右。