来源：志趣网2011-09-29

总体上讲，目前我国光伏装备制造业处于国产化替代进口阶段，平板式pecvd、激光刻边机、湿法化学刻蚀机、链式扩散炉等少数设备还依赖进口。...回顾48所发展光伏装备的历程，是从本世纪初借国内晶体硅太阳能电池产业起步之机，凭借扩散炉和刻蚀机的双通道推板窑双通道推板炉箱式炉技术优势成功打入市场，连续多年在国内市场占有率达80%，将晶体硅太阳能电池大型生产线上的同类进口装备挤出国门

来源：全球光伏网2011-09-22

schmd选择性发射极刻蚀机最新订单是八月中旬，来自中国的一家主要生产商。可见，成功的制造工艺能激励生产商增加订单。...我们采访了schmd集团主管电池项目的副主席cristianbuchner博士，据他介绍：这主要得益于宽阔的工艺窗口，既能很好的和后续的金属化工序匹配，也能保证自身刻蚀的稳定性。

来源：机电商报网2011-09-22

在大全太阳能有限公司，记者看到了这条不足40米的生产线，一片片的电池片在经过刻蚀、氮化硅沉淀、丝网印刷、制绒、扩散等种种工艺后，被整齐地放在一个特制的盒子里。

来源：迅得能源（深圳）有限公司2011-09-19

这主要得益于宽阔的工艺窗口，既能很好的和后续的金属化工序匹配，也能保证自身刻蚀的稳定性。...schmd选择性发射极刻蚀机最新订单是八月中旬，来自一家中国的主要生产商。升级现有的生产线，选择工艺技术首要考虑的是此项技术能否取得效益。schmd的湿化学工艺以最小的成本为客户提高明显地竞争优势。

来源：PV-Tech2011-09-01

设备供应商schmd集团日前获得了首份十道湿化学边缘隔离设备订单，该技术取代了当前流行的激光边刻蚀技术，降低了生产成本，提高了硅片/电池的转换效率。

来源：中国触摸屏网2011-08-15

刻蚀方法目前有化学刻蚀和激光刻蚀两种，但由于刻蚀的线条要求很细，一般为几十微米的宽度，而激光刻蚀具有沟槽均匀，剔除干净，生产效率快的特点。

来源：21IC电子网2011-08-10

在实验前经过硅片清洗和制绒，磷扩散，等离子刻蚀，去除磷硅玻璃等工艺。实验用到的气体有sih4，nh3，n2。腐蚀溶液为hf酸。

来源：《中国化工报》2011-07-20

据了解，河南新能光伏有限公司自2008年7月落户河南安阳后，针对非晶硅薄膜太阳电池生产的关键工艺技术进行研究攻关，现已开发出具有自主知识产权的电池板镀膜、激光刻蚀、超声波焊接等一系列生产工艺和装备且实现了产业化

来源：大河网2011-07-15

2008年7月，河南新能光伏有限公司落户安阳后，针对非晶硅薄膜太阳电池生产的关键工艺技术进行研究攻关，几年来，开发出具有自主知识产权的电池板镀膜、激光刻蚀、超声波焊接等一系列生产工艺和装备并实现了产业化

来源：中国电子报2011-07-14

经过数年的艰苦努力，我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗

来源：e-works2011-06-28

用jmp的“pareto图”很容易发现“扩散”工序中的主要缺陷是“扩散返修”和“扩散机器内碎片”，“刻蚀”工序中的主要缺陷是“刻蚀装片时碎片”和“刻蚀机器内碎片”。

来源：搜狐IT2011-06-16

中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机

来源：中国电子科技集团公司第四十八研究所副所长 伍三忠2011-06-15

坚持走光伏装备国产化之路从总体上讲，目前我国光伏装备制造业处于“国产化替代进口阶段”，平板式pecvd、激光刻边机、湿法化学刻蚀机、链式扩散炉等少数设备还依赖进口。...回顾48所发展光伏装备的历程，是从本世纪初借国内晶体硅太阳能电池产业起步之机，凭借扩散炉和刻蚀机的技术优势成功打入市场，连续多年在国内市场占有率达80%，将晶体硅太阳能电池大型生产线上的同类进口装备挤出国门

来源：工业和信息化部电子信息司副司长 刁石京2011-06-15

在生产设备方面，已能提供晶硅电池生产整线设备，单晶炉和多晶硅铸锭炉国产设备市场占有率不断提高，清洗机、扩散炉和刻蚀机等已批量出口，开方机和切方机已规模化生产，多线切割机已有样机生产。

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机

来源：国际新能源网2011-05-10

除前道的材料提纯、硅片加工和后道的组件生产外，电池制造工序涉及清洗、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等环节。 美国gtsolar公司在多晶硅设备行业耕耘多年。

来源：电源门户网2011-04-04

制造太阳能晶硅电池需要经过很多工艺，其中包括硅片清洗、表面制绒、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀、镀减反射膜和丝网印刷等。由于欧洲市场特别是德国市场的需求拉动，导致最近几年国内企业在该领域大规模投资。

来源：东莞日报2011-04-01

此外，在激光切割及刻蚀设备的要求方面，“我省鼓励开展激光刻蚀设备的自主生产，通过提高设备的机械精度，使太阳能电池的死区宽度下降到250微米以下，提升电池的有效发电区域，使1.5平方米单结非晶硅太阳能电池的初始功率不低于

来源：中国电子报2011-02-17

其中，mocvd、等离子刻蚀机等是技术含量很高的设备。在所有的led设备中，没有哪一种设备像mocvd一样，在整个led生产设备投资中占如此大的比重。...在led生产过程中需要很多设备，从蓝宝石衬底加工用的单晶炉、多线切割、研磨抛光等设备，到mocvd(金属有机化合物化学气相淀积)、退火炉等设备，再到与ic芯片工艺相类似的设备，如光刻机、刻蚀机、清洗机、

来源：中华工控网2011-01-26

太阳能电池模块中的各项工艺制程主要包括单多晶硅的生成、切片机、清洗机、扩散炉、刻蚀机、镀膜机、印刷丝网、包装等，而这些设备的组成架构大多数为人机界面通过网络交换机与下端的plc进行沟通。