来源：摩尔光伏2020-03-19

（来源：微信公众号“摩尔光伏”）1、引言晶硅太阳能电池在制造过程中通常采用制绒、扩散、刻蚀、pecvd、印刷、烧结几道工序，由于一些机械应力、热应力及人为等不稳定因素的存在，会不可避免的造成硅片的一些隐性缺陷如污染

来源：摩尔光伏2020-03-16

2.2硅片表面均一性对氮化硅膜色差的影响传统晶硅太阳电池的生产工艺过程分别为清洗制绒、扩散、刻蚀、pecvd、丝网印刷和烧结等步骤，其中清洗制绒工艺将严重影响硅片表面的绒面的均一性。

来源：摩尔光伏2020-03-06

电池端，据某电池设备企业介绍，在扩散方面，166mm及更大尺寸硅片变形量增加，相邻石英舟槽粘片几率大增，影响扩散气氛分布，在制绒、镀膜过程中可能存在不均匀的状况发生，使得电池片效率略下降。

来源：能源一号2020-03-03

在多晶领域，前期由于金刚石线应用于多晶硅切割的硅片表面制绒问题，金刚石线在多晶硅片切割的规模化应用略晚，至2017年随着多晶的黑硅技术成熟，多晶硅片的制绒问题得到解决，金刚石线在多晶领域的渗透率快速提升

来源：海通证券2020-02-28

异质结电池的制备分为4 个步骤，清洗制绒、非晶硅沉积、tco 沉积和丝网印刷。...得益于硅片薄片化降低硅片成本，银浆用量减少及国产化降低浆料成本，单机生产设备产能提高以及国产化降低折旧成本，我们认为未来异质结电池的成本有望持续降低。锡业股份：打造全球最大的铟产业基地。

来源：太平洋证券2020-02-20

重点推荐晶盛机电（晶体生长及加工设备）、捷佳伟创（氧化炉、沉积炉、pecvd、hjt 制绒清洗、rpe 及丝网印刷设备）、迈为股份（丝网印刷设备、hjt 整线解决方案）、上机数控（硅片加工设备）、帝尔激光

来源：太阳能杂志2020-02-20

1.2 制备流程采用氧化铝浆料制备黑硅perc 多晶太阳电池的工艺流程为：①黑硅制绒→②扩散→③刻蚀去psg →④背面抛光→⑤印刷氧化铝浆料/ 烧结→⑥ pecvd 正面镀膜→⑦ pecvd 背面镀膜→...由于黑硅制绒已经使用sc1 去除金属污染，因此背面抛光及清洗采用槽式设备依次经过koh+h2o2 → koh+ps30→di→hcl+h2o2(sc2)→di→hcl+hf→di→加热di → n2 烘干

来源：宝馨科技2020-02-19

在硅片及电池的生产及工艺制程上，宝馨科技突破了大硅片在制绒过程中均匀性不高，高速重载的技术瓶颈，目前已完成多个客户m12大尺寸晶硅电池片制绒设备方案开发，得到了客户的一致好评，并取得通威股份的订单。

来源：SOLARZOOM光储亿家2020-02-17

从结构上来说，异质结一般以n型单晶硅片为衬底，在经过清洗制绒的n型czc-si正面依次沉积厚度为5-10nm的本征a-si:h薄膜(i-a-si:h)、p型a-si:h薄膜(p-a-si：h)，从而形成

来源：摩尔光伏2020-02-13

表 1 jinergy制绒清洗工艺流程清洁的硅片表面和合理的织构化处理是获得高voc的前提条件。jinergy制绒清洗工艺流程见表1。...最终通过hf溶液去除表面氧化层，经处理后能限制硅片表面在洁净空气中被氧化，但仍不能完全阻止自然氧化层的形成。故制绒清洗后的硅片要尽快转移至cvd工序，生产中需将制绒后q-time时间压缩至极致。

来源： 光伏领跑者创新论坛2020-02-11

al-bsf电池片生产工艺包括制绒清洗、扩散制结、刻蚀、制备减反射膜、印刷电极、烧结及自动分选七道工序，各道工序采用自动化程度较高的生产设备。...其中，捷佳伟创是电池片设备商龙头（核心产品包括制绒清洗设备、扩散设备和管式pecvd），迈为股份是丝网印刷设备龙头，罗伯特科是自动化设备的领先企业。

来源：太阳能杂志2020-02-10

1.1光致发光(pl)测试将酸抛后的漏电电池硅片与正常硅片经同一制绒槽制绒后进行pl测试，测试结果如图1、图2所示。...2.2生产工艺过程分析排查电池生产中产生漏电的因素主要包括：烧结温度过高、硅片本身制绒过深、烧结时造成烧穿、扩散很薄或无扩散，从而导致正电极和背电场导通。因此，可从制绒、扩散和烧结工序做排查分析。

来源：女柚子之路2020-02-10

因此从工序上来讲，hit电池核心工序就4步，清洗制绒、非晶硅镀膜、沉积tco、丝网印刷，是所有电池工艺中步骤最短的。2异质结电池的优势一、效率高。...n型硅片掺磷，没有p型硅片的硼氧对、铁硼对等复合中心，光致衰减很小； n型硅片少子为空穴，空穴比电子更难被俘获而复合，对金属杂质不敏感； hit表面tco膜为导电体，电荷不会在电池表面聚集，无电位诱导衰减

来源：招商证券机械团队2020-02-04

与之相比，国内捷佳伟创制绒可使反射率低于11%，其研制的全自动制绒清洗综合设备采用最新全自动配液、高精度补液术以及硅片表面预脱水技术，结合实篮监测系统和分组制绒技术，表明其在制绒设备上已处于领先水平。

来源：光大证券2020-01-20

制造工艺流程主要包括：清洗制绒、非晶硅薄膜沉积、tco膜沉积、电极金属化。...hjt电池结构是将硅片放在两侧沉积的本征相对掺杂的非晶硅层之间，并在电池顶部设计透明导电的tco薄膜：（1）非晶硅层可有效降低表面悬挂键的密度，从而达到良好的界面钝化作用；（2）tco薄膜可以实现导电、

来源：PVInfoLink2020-01-10

而电池端技术上会有较大的问题，在制绒、镀膜过程中可能都会有不均匀的状况发生，使得电池片效率略为下降。...而不论是m6还是m12都有在技术上较难跨越的部分，主要体现在硅片及电池端制程上。硅片端部分，大尺寸硅片在薄片化过程中可能会稍有难度，碎片率相较小尺寸高。

来源：光伏每日头条2020-01-10

图表1：hit太阳能电池结构示意图资料来源：ofweek行业研究中心 2、hit电池工艺流程 hit电池的一大优势在于工艺步骤相对简单，总共分为四个步骤：制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、tco制备、电极制备。...，目前正在进行90μm硅片批量制备。

来源：电新产业研究2020-01-07

hit电池制造工序：清洗制绒非晶硅薄膜沉积tco沉积制作电极测试分档。清洗制绒：去除硅片表面杂质，制作金字塔绒面，减少阳光反射。hit电池要求制作大绒面，制绒难度高于perc。

来源：光伏們2020-01-02

有业内人士告诉光伏們，通过硅片品质的提升以及技术的叠加，明年年底perc电池实现量产效率23%应该问题不大。...综合试验结果，腾晖光伏将效率提升未达到预期目标的主要原因有以下六个方面：镀膜后表面反射率差异不大；倒金字塔和正面金字塔制绒尺寸均在1-3μm；倒金字塔的塔底和塔肩处理还需要优化将钝化效果的基底优势发挥出来

来源：中信建投2019-12-17

设备选型稳健，后续国产化空间大设备选型方面，爱康第一条线较为稳健，仍以海外设备为主，清洗制绒、pecvd 镀膜、丝网印刷、自动化均选用海外主流供应商，仅第三道镀透明导电膜选用捷佳国产的rpd 设备。...成本方面，未来可降至与perc 电池相当的水平电池成本方面，经测算目前异质结电池成本在1.2 元/w 左右，未来通过设备降价可降低成本0.07 元/w，通过硅片减薄可降低成本0.10 元/w，通过银浆降价可降低成本