来源：光伏测试网2020-01-31

在电池生产中，隆基认为m6能与现有的主要设备兼容，包括扩散、退火、pecvd和其他工艺。由于旧设备的自然冗余，工艺改造成本也很有限，大多数相关设备的升级改造无论是技术上还是经济上都是可以接受的。...更大的硅片也为光伏系统成本降低提供了空间。

来源：中国改革报2020-01-15

直到2017年，爱旭科技对技术持续不断投入得到了回报，成功研发出单晶perc的管式pecvd量产技术，光电转换效率比普通单晶电池提升了10%，成本却与单晶电池相当，一下子实现了逆袭。...组件生产环节的非硅成本，组件转换效率也可提升至20.3%以上；终端的电站用地、支架、汇流箱、电缆等成本，也随着组件功率的提升能够进一步降低，从而电站的bos成本（balance of system，即除了光伏组件以外的系统成本

来源：越声理财2020-01-13

设备端迈为股份、捷佳伟创(52.470,1.67,3.29%)、金辰股份(25.550,-0.10,-0.39%)全部转向hit设备研发，聚焦pecvd。...美国加州户用光伏新规将实施：美国加州2019建筑能效标准规定，2020年1月1日起加州所有三层及以下新建住宅都必须强制安装户用光伏系统。

来源：光伏每日头条2020-01-10

图表2：hit太阳能电池工艺流程资料来源：ofweek行业研究中心制备的核心工艺是非晶硅薄膜的沉积，其对工艺清洁度要求极高，量产过程中可靠性和可重复性是一大挑战，目前通常用pecvd法制备。...（5）无光致衰减困扰晶硅太阳能电池最重要的问题之一就是光致衰减，而hit电池天然无衰减，甚至在光照下效率有一定程度的增加，上海微系统所在做hit光致衰减实验时发现，光照后hit电池转换效率增加了2.7%

来源：摩尔光伏2019-10-14

为方便pecvd开腔pm的需要，"灰区"内也可设置可移动式微环境工作罩（mini environment），配置按需使用的排风装置，从而大大减轻pecvd工艺设备对厂务环境的要求，降低生产成本。

来源：一图胜千研2019-09-11

2、电池厂电池生产环节中的扩散和沉积（管式 pecvd）设备需要在密封的管道中进行生产。当前在运和在建的 perc产线均基于传统单晶硅片尺寸进行设计，行业反馈所能处理的硅片边长极限为 166 毫米。...我们沿着产业链逆流而上来看看：电站建设环节使用大硅片高功率组件可以减少支架、汇流箱、电缆、土地等成本，从而摊薄单瓦系统成本。

来源：北极星太阳能光伏网2019-06-04

第二点是钝化，要进行氧化，以前特别贵，现在开发了直接或远程pecvd，把这些元素进行钝化。一些公司大型的工具，一小时可以生产3000张硅片。第三是激光开口，涉及到发射器和接口，使用激光进行加工。...6月4日光伏前沿技术主题论坛上，来自德国弗劳恩霍夫太阳能系统研究所的物理学博士dirk-holger neuhaus带来了perc电池发展与组件技术发展趋势分析。

来源：北极星太阳能光伏网2019-05-16

单晶硅太阳能电池具有很多优点：1.光电转换效率高，可靠性高； 2.先进的扩散技术，保证片内各处转换效率的均匀性； 3.运用先进的pecvd成膜技术，在电池表面镀上深蓝色的氮化硅减反射膜，颜色均匀美观；...光伏行业出口形势较好，阳光能源在此期间抓住机会，除了日本市场深入和夏普合作，其他出口订单激增，出口订单稳居行业排名前列，相信此次锦州阳光在展会上带来的优选高效产品可以充分满足市场的多样化需求，成为客户提升系统发电收益的最可靠选择

来源：亚化咨询2019-02-19

其中，根据设备形式的不同，pecvd沉积工艺设备包括板式pecvd和管式pecvd，ald沉积工艺设备也主要分为管式ald和板式ald，值得注意的是，在管式ald工艺下，还分为单插片与双插片的区别，即双面镀膜和单面镀膜的差异

来源：中国能源报2018-10-31

在hit电池技术领域，新赛维也掌握了实现量产的四项核心技术：智能制造系统和工艺开发、pecvd/pvd设备开发、薄片技术和铜丝金属化wem技术。

来源：证券日报2018-10-23

而在hit电池技术领域，赛维技术负责人表示，新赛维已经掌握了实现hit电池量产的四项核心技术：智能制造系统和工艺开发、pecvd/pvd设备开发、薄片技术和铜丝金属化wem技术。...他向记者介绍，“新赛维在保持铸锭领域优势的同时，着力于电池、组件乃至发电系统在内的产业链各个环节，但现阶段重心将倾向于铸锭单晶领域和hit电池技术。”

来源：孚智科技2018-10-19

在hit电池技术领域，新赛维已经掌握了实现hit电池量产的四项核心技术：智能制造系统和工艺开发、pecvd/pvd设备开发、薄片技术和铜丝金属化wem技术。...新赛维继续在保持铸锭及切片优势的同时，着力于电池、组件乃至发电系统在内的产业链各个环节发力，重心在于铸锭单晶领域和hit电池技术。

来源：全景网2018-08-21

拿什么样的电池就能封装成什么样水平的组件，然后用到系统就是什么样水平的发电。李时俊说。2007年至2009年，捷佳伟创推出了多款提高电池转换效率的设备，为日后生产pecvd等晶体硅电池设备奠定了基础。

来源：OFweek太阳能光伏网2018-08-14

公司系国内领先的晶体硅太阳能电池生产设备制造商，主营pecvd设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、自动化配套设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要设备的研发、制造和销售。...资料显示，芯能科技主营业务为多晶硅和单晶硅材料制品、光伏电池片、太阳能组件的研发、制造、加工；太阳能光伏发电、项目开发、运行维护及其信息和技术的咨询服务；合同能源管理服务；太阳能微电网系统工程设计、施工及维护服务

来源：OFweek2018-04-27

图表2：hit太阳能电池工艺流程资料来源：ofweek行业研究中心制备的核心工艺是非晶硅薄膜的沉积，其对工艺清洁度要求极高，量产过程中可靠性和可重复性是一大挑战，目前通常用pecvd法制备。...（5）无光致衰减困扰晶硅太阳能电池最重要的问题之一就是光致衰减，而hit电池天然无衰减，甚至在光照下效率有一定程度的增加，上海微系统所在做hit光致衰减实验时发现，光照后hit电池转换效率增加了2.7%

来源：摩尔光伏2017-12-08

利用金刚线添加剂制备的不同反射率硅片与砂浆线进行系统的pecvd对照实验，并根据太阳能电池的减反射膜原理，本人构思了一种pecvd第一二层减反射膜厚度的计算方法，具体公式为：平均膜厚*平均折射率=第一层折射率

来源：无锡德鑫太阳能电力有限公司2017-12-06

（二）德鑫电力公司为高新技术企业，原为尚德电力的p4工厂，企业管理层和核心员工较为稳定，生产能力900mw／年，主要设备配置为清洗机20台、扩散炉20台、刻饰机20台、管式pecvd机4台、丝网印刷机20...；统一社会信用代码：913202145652675979；法定代表人：张斗山；注册资本：65883.09万元人民币；住所：无锡市新吴区新华路12号；经营范围：研究、开发、生产、加工太阳能电池及发电产品系统

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-27

一、pecvd原理pecvd 系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器。在低压和升温的情况下，等离子发生器直接装在镀膜板中间发生反应。所用的活性气体为硅烷sih4和氨nh3。

来源：无锡德鑫太阳能电力有限公司2017-11-03

（二）德鑫电力公司为高新技术企业，原为尚德电力的p4工厂，企业管理层和核心员工较为稳定，生产能力900mw／年，主要设备配置为清洗机20台、扩散炉20台、刻饰机20台、管式pecvd机4台、丝网印刷机20...；统一社会信用代码：913202145652675979；法定代表人：张斗山；注册资本：65883.09万元人民币；住所：无锡市新吴区新华路12号；经营范围：研究、开发、生产、加工太阳能电池及发电产品系统

来源：无锡德鑫太阳能电力有限公司2017-09-05

经相关部门批准后方可开展经营活动）;（二）德鑫电力公司为高新技术企业，原为尚德电力的p4工厂，企业管理层和核心员工较为稳定，生产能力900mw／年，主要设备配置为清洗机20台、扩散炉20台、刻蚀机20台、管式pecvd