来源：龙虎网-南京日报2011-06-07

“我们在半年内成功研制了太阳能电池生产的核心设备：扩散炉及管式pecvd，创造了设备行业的研发速度记录，为华伯公司带来了1.6亿元订单。”华伯公司负责人说。...目前，公司已投入力量，在硅片生产关键设备、电池生产新工艺设备、组件生产自动化、mocvd等项目上开展研发。

来源：中国电子报2011-04-21

通过技术升级，扩散炉、pecvd设备、清洗机、高温烧结炉等关键工艺装备的各项技术性能指标均达到国内领先、国际一流的水平。 第三，大生产有能力加快装备的研发进度。...近几年来，48所通过在大生产运行中积极探索先进工艺，对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进

来源：ABB2011-03-24

本次重点展出的abb机器人自动工作站－管式pecvd石墨舟取片/插片系统的取片及插片速度最高可达3000次/每小时，被广泛应用于太阳能管式pecvd工艺流程石墨舟的取片/插片，适用于125/156寸、单晶

来源：新华网2011-03-11

今年1月，由正泰集团自主研发的中国首台具国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)成功下线，打破了同类设备一直被国外厂商垄断的局面。

来源：互联网2011-03-04

kai设备是一个全自动化的pecvd(等离子体增强化学气相沉积)系统，作为行业内1.4 m2太阳能组件大规模生产的核心设备。

来源：宏源证券2011-03-03

solarfrontier近日开始量产,作为世界上最大的cigs薄膜电池项目,将大幅提升该技术的市场份额;而正泰集团投资的张江理想能源1月下线了国内首台薄膜电池关键生产设备——pecvd,预计年内可以实现薄膜电池生产设备的全套国产化

来源：索比太阳能2011-03-01

在这种坚守之下，今年1月，首台“中国造”代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)在正泰下属企业成功下线，打破了高端薄膜太阳能电池设备一直被国外厂商垄断的局面

来源：西门子工业自动化与驱动技术集团2011-02-25

太阳能生产线设备解决方案主要包括pecvd控制方案、层压机控制方案、湿台清洗设备控制方案、单晶硅/多晶硅炉控制方案。目前全球最大的太阳能市场是欧洲。

来源：索比太阳能2011-02-21

在本次展览中，abb机器人自动工作站——管式pecvd石墨舟取片/插片系统将隆重登场。...该工作站配备有abb“全能冠军”之称的机器人irb 1600，每小时最高可达3000次的取片及插片，被广泛应用于太阳能管式pecvd工艺流程石墨舟的取片/插片，适用于125/156寸、单晶/多晶太阳能硅片

来源：中国电子报2011-02-17

在极大规模集成电路制造关键设备方面，我认为还应重点发展能够带动其他产业技术升级的关键设备以及先进封装的关键设备;在太阳能光伏设备方面，应重点发展现在还制约整线配套能力的全自动丝网印刷系统、平板式pecvd...其中，mocvd、等离子刻蚀机等是技术含量很高的设备。在所有的led设备中，没有哪一种设备像mocvd一样，在整个led生产设备投资中占如此大的比重。

来源：中国电子报2011-01-11

国内的硅基薄膜电池项目很多采用基于美国epv公司的低成本生产技术，但由于epv公司的pecvd功率较低，一条生产线的产能不大，电池效率也不高，约在6%～7%左右。

来源：电力网新闻中心2011-01-11

新设备带来转机 1月8日，首台代表着国际尖端技术水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备（ｐｅｃｖｄ）在上海张江理想能源设备公司正式下线，该设备的研制成功打破了薄膜太阳能电池设备市场一直被国外厂商垄断的局面

来源：新华网2011-01-10

一年多里，该公司相继完成了pecvd首台机的研发、中试、下线，并申请了10多项核心技术专利。...不过，薄膜太阳能电池生产设备复杂昂贵，尤其是关键设备pecvd，更是高达上千万美元，长期以来一直被欧洲、美国和日本的企业垄断。

来源：中国能源信息网2010-12-28

将pecvd装置、tco和激光划片装置等的生产量均提高了50％以上，因而大幅削减了必要的装置数量和设置面积（图9）。...图9改进制造装置欧瑞康太阳能将通过改良pecvd装置、透明导电膜（tco）成膜装置、激光切割装置，来实现€0.5/w的制造成本。

来源：招商证券2010-12-17

我们预计明年公司扩散炉和pecvd产值4-5亿(占国内市场25%份额)，按30%净利润率计算，可贡献1.2-1.5亿净利润，约0.2元eps。

来源：中国能源信息网2010-11-10

多晶硅浇铸炉、线切割机、pecvd等设备几乎完全依赖进口。这些设备的单价都在人民币千万元以上，购买者负担沉重。其次，设备与工艺研究脱节。

来源：赛迪网-中国电子报2010-10-26

、快速烧结炉)和进口设备并存，但份额在逐步增大，3种(全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式pecvd)则依赖进口。...我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的9种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，2种(管式pecvd

来源：北极星电力网新闻中心2010-10-15

、快速烧结炉和进口设备并存但份额在逐步增大，全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式pecvd则基本依赖进口。...中国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量出口，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，管式pecvd

来源：中国新能源网2010-10-13

在各类光伏设备中，pecvd是最昂贵的，而appliedmaterials是pecvd霸主，市场占有率接近90%.2010年7月底，appliedmaterials重组了连续出现营业赤字的能源及环境解决方案部门

来源：新浪房产2010-09-09

据介绍，新的thinfab结合了多项改进，这些改进都是根据欧瑞康太阳能公司的技术路线图而开发的，包括：10%的稳定模块效率；更薄的电池结构，能量衰减更少，燃气消耗量更低；具有更高性能的新一代pecvd、