来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-20

连载文章欢迎查看更多太阳能电池片科普系列：发电原理篇、流程（电池片）篇、工艺流程(硅片)篇、制绒篇、扩散篇、刻蚀篇、(镀膜)pecvd篇、丝网印刷篇、烧结篇、组件封装篇、多晶硅铸锭篇原创：北极星（每天不定量更新

来源：摩尔光伏2017-11-14

采用ct管式pecvd炉在硅片表面形成氮化硅减反射膜，同时掺杂h元素，使缺陷减少，还可以保护硅片。丝网印刷是将含有金属的导电浆料透过丝网网孔压印在晶硅太阳能电池两面形成电路或电极。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-11-03

设备已经陆续交付客户并投入生产，n型双面电池的量产效率稳定保持在22%以上，效率绝对值较产线提高0.4%以上，量产极限产能可达5900片/小时，其中tma化学源耗量低于1mg/片，tma年耗量较等离子增强的化学气相沉积（pecvd

来源：无锡德鑫太阳能电力有限公司2017-11-03

（二）德鑫电力公司为高新技术企业，原为尚德电力的p4工厂，企业管理层和核心员工较为稳定，生产能力900mw／年，主要设备配置为清洗机20台、扩散炉20台、刻饰机20台、管式pecvd机4台、丝网印刷机20

来源：摩尔光伏2017-11-02

参考文献王晓泉,汪雷,席珍强,等.pecvd淀积氮化...再经过管式pecvd制作氮化硅减反射膜,pecvd过程中分别采用传统双层膜工艺和本文设计的三层膜工艺各做一组实验,采用sentech的se400测试监控氮化硅膜的折射率以及厚度。

来源：PV兔子2017-10-20

比如很多主流的pecvd和ald的工艺都不能使用了。而且一般而言，低温制备的钙钛矿电池的热稳定性都比较差。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-10-19

管式原子层沉积镀膜系统高质量超薄aldai203钝化膜全自动、高产能、高稳定性超低反应源耗量提升perc电池光电转换效率近1%最低的设备运营成本和综合成本后羿系列-板式化学气相沉积/原子层沉积镀膜系统板式空间cvd

来源：能见2017-10-17

我们在技术路线的选择，主要的一些设备的选择上，我们有几个重点，一个是在清洗上，量产比较成熟的rca这个清晰，pcvd，归的层级上，我们还是选择了pcvd，我们认为这个工业化，量产上相对来说比较成熟一点。

来源：无锡德鑫太阳能电力有限公司2017-09-05

经相关部门批准后方可开展经营活动）;（二）德鑫电力公司为高新技术企业，原为尚德电力的p4工厂，企业管理层和核心员工较为稳定，生产能力900mw／年，主要设备配置为清洗机20台、扩散炉20台、刻蚀机20台、管式pecvd

来源：中国光伏专委会2017-07-28

meyerburger公司采用pecvd法制备alox膜的沉积设备，报道了一种新的正表面氮化硅膜与背面氮化硅与alox膜集成在一起的3in1设备，alox工艺腔4对微波源，2对朝上镀膜，2对朝下镀膜，sin

来源：中国电力报2017-04-20

其中，比较成熟、大规模使用的镀膜方法主要是pecvd方法。目前，国内有些公司已经在尝试的pecvd镀膜方法是平板直接法、平板式离域法，但都未能达到较高的水平。...国内的管式直接法的pecvd镀膜方法可以做氧化硅，但很难制备三氧化铝。而使用氧化硅制备的perc电池的效率不如三氧化二铝高。他说。pert电池的工艺难点之一是硼离子掺杂这是一个世界性的难题。

来源：新浪科技2017-03-24

该论文指出，这款太阳能电池是利用可工业化应用过程制造出来的，比如电浆增强化学气相沉积（plasma-enhanced chemical vaporde position，pecvd）技术在气态下将薄膜沉积在固体晶圆上

来源：TaiyangNews2017-03-16

德国taiyangnews发布了太阳能行业多晶硅生产最新设备趋势市场报告《多晶硅cvd反应炉市场报告》。该报告介绍了多晶硅cvd反应炉的生产商及其产品，并对新的多晶硅替代生产技术做了概述。

来源：正泰集团2016-12-05

正泰研发的我国首台太阳能电池关键高端生产设备（pecvd）打破了西方长期垄断。过硬的品质给了正泰走出去的底气。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2016-06-30

进口串焊设备遭遇滑铁卢据悉，积累至今，我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，其中除3种设备(全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式pecvd)完全依赖进口外，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等已开始少量出口

来源：晶科能源2016-04-28

根据所用镀膜设备的不同，管式pecvd通常采用双层sinx1/sinx2减反射膜，板式pecvd则采用渐进式减反射膜。

来源：中电新闻网2016-03-14

例如，上海理想能源设备公司成功自主研发出高效太阳能异质结（hit）电池核心生产装备pecvd，已实现hit电池效率超过22.3%，并即将突破23%。

来源：北极星太阳能光伏网2015-11-24

加快高效电池用平板式pecvd、离子注入机、刻蚀机、原子层沉积镀膜设备（ald）等关键工艺设备研发领域均有入围。

来源：无锡先导自动化设备股份有限公司2015-11-09

现场展出的太阳能电池片高速串焊机、管式pecvd自动上下料机凭借领先的性能优势、可靠的技术稳定性，吸引了国内外客户的关注。

来源：无锡先导自动化设备股份有限公司2015-11-09

作为国内最大的光伏自动化设备专业制造商，无锡先导的太阳能电池片高速串焊机、管式pecvd自动上下料机凭借领先的性能优势、可靠的技术稳定性，在业界享有盛誉。