来源：PV兔子2017-10-20

比如很多主流的pecvd和ald的工艺都不能使用了。而且一般而言，低温制备的钙钛矿电池的热稳定性都比较差。

来源：无锡德鑫太阳能电力有限公司2017-09-05

经相关部门批准后方可开展经营活动）;（二）德鑫电力公司为高新技术企业，原为尚德电力的p4工厂，企业管理层和核心员工较为稳定，生产能力900mw／年，主要设备配置为清洗机20台、扩散炉20台、刻蚀机20台、管式pecvd

来源：中国光伏专委会2017-07-28

meyerburger公司采用pecvd法制备alox膜的沉积设备，报道了一种新的正表面氮化硅膜与背面氮化硅与alox膜集成在一起的3in1设备，alox工艺腔4对微波源，2对朝上镀膜，2对朝下镀膜，sin

来源：中国电力报2017-04-20

其中，比较成熟、大规模使用的镀膜方法主要是pecvd方法。目前，国内有些公司已经在尝试的pecvd镀膜方法是平板直接法、平板式离域法，但都未能达到较高的水平。...国内的管式直接法的pecvd镀膜方法可以做氧化硅，但很难制备三氧化铝。而使用氧化硅制备的perc电池的效率不如三氧化二铝高。他说。pert电池的工艺难点之一是硼离子掺杂这是一个世界性的难题。

来源：新浪科技2017-03-24

该论文指出，这款太阳能电池是利用可工业化应用过程制造出来的，比如电浆增强化学气相沉积（plasma-enhanced chemical vaporde position，pecvd）技术在气态下将薄膜沉积在固体晶圆上

来源：正泰集团2016-12-05

正泰研发的我国首台太阳能电池关键高端生产设备（pecvd）打破了西方长期垄断。过硬的品质给了正泰走出去的底气。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2016-06-30

进口串焊设备遭遇滑铁卢据悉，积累至今，我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，其中除3种设备(全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式pecvd)完全依赖进口外，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等已开始少量出口

来源：晶科能源2016-04-28

根据所用镀膜设备的不同，管式pecvd通常采用双层sinx1/sinx2减反射膜，板式pecvd则采用渐进式减反射膜。

来源：中电新闻网2016-03-14

例如，上海理想能源设备公司成功自主研发出高效太阳能异质结（hit）电池核心生产装备pecvd，已实现hit电池效率超过22.3%，并即将突破23%。

来源：北极星太阳能光伏网2015-11-24

加快高效电池用平板式pecvd、离子注入机、刻蚀机、原子层沉积镀膜设备（ald）等关键工艺设备研发领域均有入围。

来源：无锡先导自动化设备股份有限公司2015-11-09

现场展出的太阳能电池片高速串焊机、管式pecvd自动上下料机凭借领先的性能优势、可靠的技术稳定性，吸引了国内外客户的关注。

来源：无锡先导自动化设备股份有限公司2015-11-09

作为国内最大的光伏自动化设备专业制造商，无锡先导的太阳能电池片高速串焊机、管式pecvd自动上下料机凭借领先的性能优势、可靠的技术稳定性，在业界享有盛誉。

来源：EnergyTrend2015-09-21

：以现有设备搭配独特氧化铝浆料的方式呈现perc的效果，这都将让pecvd不再独霸一方。...展望明年，除了主流机台仍旧订单满载之外，无法顺利购得机台的厂商为了不失去竞争力也会再做更多尝试，届时除了用pecvd镀氧化铝之外，也会有厂商选用ald技术，或是不愿冒机台风险的厂商可能会重新评估采用长兴材料集团的方式

来源：PV-Tech2015-08-20

事实上，先进的perc电池技术已被证明实际上成为该行业大部分所选择的下一项电池技术，使得大部分现有设备得以使用，特别是pecvd和扩散炉，以满足电池效率提升。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2015-07-31

号文上半年光伏装机仅达四成张家口获批建可再生能源示范区 旨在打破制度藩篱三类大型项目将落地张家口可再生能源示范区挤掉天合光能 阿特斯一季度光伏出货量居全球榜首中美印纷纷提出100gw以上太阳能装机目标亚行报告：柬埔寨适合发展太阳能发电pecvd

来源：光伏标准及技术2015-07-30

pecvd技术的分类用来制备sinx膜的方法有很多种，包括：化学气相沉积法（cvd法）、等离子增强化学气相沉积（pecvd法）、低压化学气相沉积法（lpcvd法）。在目前产业上常用的是pecvd法。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2015-05-29

目前，manz也拥有了pecvd技术、激光开孔技术、还有背面抛光的湿法蚀刻技术，这些设备是目前manz在晶硅太阳能里面所提供的主要设备。...manz在湿法蚀刻的槽体里面提供pecvd上下料系统。接下来，在后端的丝网印刷环节，manz还会提供一次丝网印刷或者两次丝网印刷工艺技术的支持。

来源：奇元裕公司2015-04-30

像是扩散炉管及pecvd领导设备商tempress，其n型高效电池及成熟p型高产能量产技术受到高度瞩目及肯定；一向以高精度及低银浆耗量特色著称的网印设备asm ae，其网印设备技术能提升电池印刷质量进而降低成本

来源：北极星太阳能光伏网2015-04-21

而合作多年伙伴扩散炉管及pecvd领导设备商tempress，其n型高效电池及成熟p型高产能量产技术受到高度瞩目及肯定；一向以高精度及低银浆耗量特色著称的网印设备商整合集团资源以全新asm alternative

来源：虎嗅网2015-02-11

2010年6月，铂阳公告称与汉能控股签订总金额为25.5亿美元的销售协议（包含了420台pecvd设备及90台pvd设备）。当年，汉能表面上与铂阳没有任何股权关系，却凭几张大订单锁定了这家上市公司。