来源：摩尔光伏2018-07-30

在pecvd生长的al2o3薄膜中，这两种形态的al2o3同时存在。...正面氮化硅使用中国电子科技集团公司第四十八研究所pecvd设备制备，高频信号发生器频率为40khz。采用西安隆基m2单晶硅片。使用sinton公司的wct120设备检测硅片的少子寿命。

来源：OFweek2018-04-27

图表2：hit太阳能电池工艺流程资料来源：ofweek行业研究中心制备的核心工艺是非晶硅薄膜的沉积，其对工艺清洁度要求极高，量产过程中可靠性和可重复性是一大挑战，目前通常用pecvd法制备。

来源：PV兔子2018-02-27

，正面掺杂的多晶硅对硅片起到吸杂(gettering)的效果去除正面氧化层，再使用光刻技术对背面氧化层开孔使用koh刻蚀，正面制绒，背面断开掺杂区域的衔接ald生长20nm的alox用作钝化，正面再用pecvd...首先使用热生长在硅片两面得到2.2nm氧化层，lpcvd沉积本征多晶硅使用硼离子注入将背面的多晶硅掺杂为p型背面使用光刻技术开孔，留光刻胶作为阻隔层，两面离子注入进行磷掺杂，背面得到交错的p和n掺杂区域高温退火

来源：新能源投融资圈2018-01-17

而相比于传统pecvd 钝化技术，ald 技术使钝化膜更薄，并且大大降低tma 使用量，从而使成本降低。

来源：国家发改委2017-12-25

目前，中国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、组件的生产，相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，到与光伏产业链相关的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、管式pecvd

来源：摩尔光伏2017-12-08

利用金刚线添加剂制备的不同反射率硅片与砂浆线进行系统的pecvd对照实验，并根据太阳能电池的减反射膜原理，本人构思了一种pecvd第一二层减反射膜厚度的计算方法，具体公式为：平均膜厚*平均折射率=第一层折射率

来源：无锡德鑫太阳能电力有限公司2017-12-06

（二）德鑫电力公司为高新技术企业，原为尚德电力的p4工厂，企业管理层和核心员工较为稳定，生产能力900mw／年，主要设备配置为清洗机20台、扩散炉20台、刻饰机20台、管式pecvd机4台、丝网印刷机20

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-27

然后经刻蚀到达pecvd在整个n型层表面上镀上一层减反射膜用来减少太阳光的反射损失，达到丝网在扩散面印刷上金属栅线作为太阳能电池片的正面接触电极。...传统晶硅太阳能电池效率的理论极限为28.8%(此处不包含硅基复合其他材料太阳能电池)连载文章欢迎查看更多太阳能电池片科普系列：发电原理篇、流程（电池片）篇、工艺流程(硅片)篇、制绒篇、扩散篇、刻蚀篇、(镀膜)pecvd

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-27

一、pecvd原理pecvd 系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器。在低压和升温的情况下，等离子发生器直接装在镀膜板中间发生反应。所用的活性气体为硅烷sih4和氨nh3。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-24

四、pecvd等离子体化学气相沉积。太阳光在硅表面的反射损失率高达35%左右。...电池片工艺流程:制绒(intex)扩散(diff)后清洗(刻边/去psg)镀减反射膜(pecvd)丝网、烧结(printer)测试、分选(tester+sorter)包装(packing)一、制绒制绒的目的是在硅片表面形成绒面面

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-23

连载文章欢迎查看更多太阳能电池片科普系列：发电原理篇、流程（电池片）篇、工艺流程(硅片)篇、制绒篇、扩散篇、刻蚀篇、(镀膜)pecvd篇、丝网印刷篇、烧结篇、组件封装篇、多晶硅铸锭篇原创：北极星（每天不定量更新

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-22

1、磷硅玻璃会使得电池片在空气中表面容易受潮，导致电流和功率的衰减；2、死层增加了发射区电子的复合，以致少子寿命的降低，进而降低了voc和isc；3、磷硅玻璃会使得pecvd后产生色差。...连载文章欢迎查看更多太阳能电池片科普系列：发电原理篇、流程（电池片）篇、工艺流程(硅片)篇、制绒篇、扩散篇、刻蚀篇、(镀膜)pecvd篇、丝网印刷篇、烧结篇、组件封装篇、多晶硅铸锭篇原创：北极星（每天不定量更新

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-20

连载文章欢迎查看更多太阳能电池片科普系列：发电原理篇、流程（电池片）篇、工艺流程(硅片)篇、制绒篇、扩散篇、刻蚀篇、(镀膜)pecvd篇、丝网印刷篇、烧结篇、组件封装篇、多晶硅铸锭篇原创：北极星（每天不定量更新

来源：摩尔光伏2017-11-14

采用ct管式pecvd炉在硅片表面形成氮化硅减反射膜，同时掺杂h元素，使缺陷减少，还可以保护硅片。丝网印刷是将含有金属的导电浆料透过丝网网孔压印在晶硅太阳能电池两面形成电路或电极。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-11-03

设备已经陆续交付客户并投入生产，n型双面电池的量产效率稳定保持在22%以上，效率绝对值较产线提高0.4%以上，量产极限产能可达5900片/小时，其中tma化学源耗量低于1mg/片，tma年耗量较等离子增强的化学气相沉积（pecvd

来源：无锡德鑫太阳能电力有限公司2017-11-03

（二）德鑫电力公司为高新技术企业，原为尚德电力的p4工厂，企业管理层和核心员工较为稳定，生产能力900mw／年，主要设备配置为清洗机20台、扩散炉20台、刻饰机20台、管式pecvd机4台、丝网印刷机20

来源：摩尔光伏2017-11-02

参考文献王晓泉,汪雷,席珍强,等.pecvd淀积氮化...再经过管式pecvd制作氮化硅减反射膜,pecvd过程中分别采用传统双层膜工艺和本文设计的三层膜工艺各做一组实验,采用sentech的se400测试监控氮化硅膜的折射率以及厚度。

来源：PV兔子2017-10-20

比如很多主流的pecvd和ald的工艺都不能使用了。而且一般而言，低温制备的钙钛矿电池的热稳定性都比较差。

来源：无锡德鑫太阳能电力有限公司2017-09-05

经相关部门批准后方可开展经营活动）;（二）德鑫电力公司为高新技术企业，原为尚德电力的p4工厂，企业管理层和核心员工较为稳定，生产能力900mw／年，主要设备配置为清洗机20台、扩散炉20台、刻蚀机20台、管式pecvd

来源：中国光伏专委会2017-07-28

meyerburger公司采用pecvd法制备alox膜的沉积设备，报道了一种新的正表面氮化硅膜与背面氮化硅与alox膜集成在一起的3in1设备，alox工艺腔4对微波源，2对朝上镀膜，2对朝下镀膜，sin