登录注册
请使用微信扫一扫
关注公众号完成登录
我要投稿
硅晶片设备生产
半导体硅片的生产流程包括拉晶—>滚磨—>线切割—>倒角—>研磨—>腐蚀—>热处理—>边缘抛光—>正面抛光—>清洗—>检测—>外延等步骤。其中拉晶、研磨和抛光是保证半导体硅片质量的关键。涉及到单晶炉、滚磨机、切片机、倒角机、研磨设备、CMP抛光设备、清洗设备、检测设备等多种生产设备。
图表1 半导体硅片生产工艺流程
图表2 半导体硅片主要生产设备及厂商
1、拉晶:直拉法是主流,国内已实现单晶炉国产化
将多晶硅拉制成单晶硅棒主要有两种技术工艺,直拉法(CZ法)和区熔法(FZ),区熔法得到的硅片纯度更高,但成本更高,硅片尺寸偏小(只能生产150mm以下),主要用于功率器件硅片的生产。目前90%以上的半导体硅片通过直拉法生产。
拉晶步骤是半导体硅片生产过程中的关键步骤,很大程度上决定了硅片的质量。拉晶过程中用到的设备是单晶炉,单晶炉由炉体、热场、磁场、控制装置等部件组成,其中控制炉内温度的热场和控制晶体生长形状的磁场是决定单晶炉生产能力的关键。
国内公司中,晶盛机电、理工晶科、南京晶能是领先的半导体硅生长设备单晶炉提供商。其中晶盛机电承担的02专项“300mm硅单晶直拉生长设备的开发”、“8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制”两大项目,均已通过专家组验收。晶盛的8寸直拉单晶炉和区熔单晶炉均已实现了产业化,为有研半导体、环欧半导体、金瑞泓等国内知名半导体硅片生产商累计供应了几十台设备。晶盛的12寸直拉单晶炉也已经可以满足工业化量产的要求,预计将为国内大硅片项目供货。南京晶能则率先实现了12寸直拉单晶炉的国产化,为新昇半导体的国产大硅片项目累计供了三台设备,连续数月稳定运行,其技术先进性、使用节能性等指标甚至超越了国外设备,后续的订单也在洽谈中。
2、磨、切、倒角设备:已部分实现国产化
晶棒加工完成后,需要将晶棒切割成预定厚度的硅片。8寸晶棒的切割一般采用内圆切割机,通过内圆刀片上的金刚石涂层进行切割。由于切割刀片的直径太大会使得刀片容易发生变形,因此12寸硅片一般使用多线切割技术,采用金刚线与砂浆进行切割,多线切割不仅可以实现大直径硅片的切割,而且切割损耗低于内圆切割技术。硅片切割完成后,需要对硅片进行倒角处理,通过倒角机对硅片的边缘进行研磨,得到光滑的硅片边沿。
硅片的切片机和倒角机对于切割研磨的精度控制和稳定性有很高的要求,目前只有中电科45所能提供部分切片机产品,主要还是依赖于进口产品。
3、研磨抛光设备:硅片质量的重要保障设备,已开启国产化进程
硅片的表面完整度和平整度直接影响后续生产的良率和质量,因此需要通过研磨、腐蚀、抛光等工序对硅片表面进行深度加工。
研磨、抛光设备已开始国产化进程。半导体硅片的研磨和CMP抛光设备同样对于精度和稳定性有极高的要求,否则很难使硅片都达到预定的厚度。目前半导体硅片研磨设备和CMP抛光设备主要依靠进口,但已经开始了国产化的进程。晶盛机电已与美国知名抛光设备提供商Revasum公司就200mm硅片相关设备达成合作共识,其中8英寸抛光机计划于2018年推出市场,未来有望将产品拓展至12英寸抛光设备。
(二)设备空间:未来三年合计空间达220亿,单晶炉空间达55亿
半导体硅片的国产化进程将带来巨大的生产设备投资需求,我们通过以下模型测算2017-2020年间,半导体硅片的国产化带来的设备需求空间。
关键假设:
1.每台单晶炉月产硅片1万片。
2.调研了解到,硅片厂商在做设备投入时,会考虑多投30%的设备做为待机设备。
3.2020年12寸硅片国内需求量200万片/月,国内供给量120万片/月;8寸硅片国内需求量120万片/月,国内供给量100万片/月。
测算结果:
根据我们的模型测算,2018-2020年间8寸、12寸半导体硅片的国产化将带来合计达到55亿元的单晶炉设备需求,设备总需求空间则达到220亿。分年份看,2019、2020年对应较高的设备投资需求,考虑到项目方会提前进行设备采购,2018年预计就将有较大的实际设备投资需求。
各类设备中,单晶炉占据最大的需求空间,然而其他种类设备的合计空间仍然不可小觑,尤其是尚未实现国产化的设备,一旦国产化进程获得突破,预计将快速占据国内市场份额。
此外,该模型的测算还有一隐含假设,即投产的国产化硅片项目以100%的产能进行供货,实际上随着羊群效应导致越来越多的国产硅片参与者进入市场,名义建设产能极有可能高于实际市场需求,那么各硅片供应商的实际产能利用率预期将低于100%,进一步提升硅片生产设备的需求空间,即新进入者的不断进入市场将持续提升硅片生产设备的行业天花板。
图表3 12寸硅片国产化对应设备需求测算
图表4 8寸硅片国产化对应设备需求测算
图表5 各细分设备合计需求空间
特别声明:北极星转载其他网站内容,出于传递更多信息而非盈利之目的,同时并不代表赞成其观点或证实其描述,内容仅供参考。版权归原作者所有,若有侵权,请联系我们删除。
凡来源注明北极星*网的内容为北极星原创,转载需获授权。
4月25日,某分销商拿到一款组件产品规格书的预览版,显示该产品系隆基Hi-MO9,组件效率达到24.4%,功率在625-660W。据业内人士分析,如果24.4%高效光伏组件量产,将成为当前主流版型之下的最高效率,该组件对应的电池技术潜力也备受关注。如今,光伏产业链正在面临着技术同质化和市场环境变化的双重风
4月26日,TCL中环公布2024年一季度报告,主要财务数据见下:主营业务经营情况方面,光伏材料业务板块:2024年一季度,TCL中环布局持续推进技术创新和工业4.0柔性制造能力,光伏材料销售规模约34.95GW,同比增长40%;N型及大尺寸(210系列)产品出货占比88%,其中N型210外销市占率90%以上,持续保持领先
本周硅片价格呈分化趋势,有头部企业积极挺价,也有二三线企业低价甩货,低价成交量很小因此不纳入统计范围内。P型M10单晶硅片(182mm/150μm)成交均价降至1.63元/片,周环比跌幅为2.4%;N型M10单晶硅片(183.75mm/130μm/256mm)成交均价降至1.55元/片,周环比跌幅3.13%;P型G12单晶硅片(210mm/150
4月22日,华民股份发布年度报告,2023年公司实现营业收入11.75亿元,较上年同期上升367.71%,归属于上市公司股东的净利润亏损约1.98亿元。报告期内,华民股份共规划了20GW硅棒和24GW切片产能,其中在云南大理的“高效N型单晶硅棒、单晶硅片项目”一期4GW拉棒、4GW切片的产能爬坡顺利完成,并且云南大理
本周P型硅片价格小幅下降,N型硅片价格持稳。具体来看,P型M10单晶硅片(182mm/150μm)成交均价降至1.67元/片,周环比跌幅为1.76%;N型M10单晶硅片(182mm/130μm/256mm)成交均价维持在1.60元/片,周环比持平;P型G12单晶硅片(210mm/150μm)成交均价降至2.13元/片,周环比跌幅为0.93%。N型G12单晶
4月16日,晶盛机电发布投资者关系管理信息。1、公司2023年业绩情况?答:2023年,公司继续贯彻“先进材料、先进装备”的发展战略,持续加强研发和技术创新,快速推进各材料业务产业化进程,持续推进国际化市场开拓,大力加强供应链保障,全面提升组织管理效能,逐步实现由光伏行业高速增长向多业态并举
4月15日,2024年三一朔州光伏全产业项目在山西省朔州市举行开工仪式。据了解,本次开工建设的三一光伏全产业项目包括10GW单晶/硅片、5GW组件以及支架等产业链配套,建成后将与地企之前合作的一期单晶硅项目、二期超薄单晶硅切片项目“抱团发力”,形成150亿元以上的年产值。
4月15日,正泰新能首个硅片项目——泰国基地切片项目首刀硅片成功下线,正泰新能泰国基地业已落成硅片切片、光伏电池到光伏组件为一体的产业链条,带动泰国光伏产业链强链、补链、延链,实现高质量发展。正泰新能泰国基地正泰新能泰国基地切片项目规划5GW产能,以供应正泰新能泰国基地的光伏电池与组件
2024年1-2月,我国光伏产业继续保持高位运行。根据光伏行业规范公告企业信息和行业协会测算,全国晶硅组件产量同比增长近40%,光伏产品出口总额超过62亿美元。多晶硅环节,1-2月全国产量约33万吨。硅片环节,1-2月全国产量130GW;出口量达9.3GW,同比增长7.4%。电池环节,1-2月全国晶硅电池产量100GW,
4月11日,琏升科技发布关于琏升科技股份有限公司签署重大合同法律意见书,公告称,下属控股孙公司眉山琏升光伏科技有限公司(简称“眉山光伏”)与华晟新材料、华晟新能源分别签订了硅片采购框架合同、电池片销售框架合同,眉山光伏将在合同有效期内向华晟新材料采购1.8亿片的210/N单晶硅片(半片),
本周硅片价格延续跌势,系原材料成本下行传导。P型M10单晶硅片(182mm/150μm)成交均价降至1.70元/片,周环比跌幅为3.53%;N型M10单晶硅片(182mm/130μm/256mm)成交均价降至1.60元/片,周环比跌幅为5.88%;P型G12单晶硅片(210mm/150μm)成交均价降至2.15元/片,周环比跌幅为15.69%。N型G12单晶硅
4月9日,工信部、国家发改委、财政部等七部门联合印发《推动工业领域设备更新实施方案》,《方案》提出,到2027年,工业领域设备投资规模较2023年增长25%以上,规模以上工业企业数字化研发设计工具普及率、关键工序数控化率分别超过90%、75%,工业大省大市和重点园区规上工业企业数字化改造全覆盖,重
长期以来,“降本增效”始终是光伏产业发展的核心逻辑。而今,随着组件、逆变器等主要光伏设备降本增效路径明晰,市场开始放眼产业链整个环节寻求新的降本增效空间。单晶炉作为光伏硅片拉晶环节的核心设备,其价值量始终处于高位。有报告显示,在硅片生产设备中,单晶炉的价值量占比高达60%-70%。另一方
8月31日晚,奥特维发布公告称,公司控股子公司无锡松瓷机电有限公司(以下简称“松瓷机电”)已取得天合光能(青海)晶硅有限公司单晶炉采购项目的中标通知书,尚未与招标人签订正式合同,合同签订及合同条款尚存在不确定性。公告显示,因松瓷机电商品平均验收周期为6个月左右,受本项目具体交货批次及
8月8日,奥特维发布关于控股子公司签订日常经营重要合同的公告,公告显示,近日奥特维控股子公司无锡松瓷机电有限公司(简称“松瓷机电”)与新疆中部合盛硅业有限公司签订采购合同,松瓷机电向新疆中部合盛硅业有限公司销售大尺寸单晶炉,合同金额约2.9亿元(含税)。奥特维表示,该项目将在合同生效后3个
6月6日,奥特维发布公告称,公司控股子公司无锡松瓷机电有限公司(以下简称“松瓷机电”)近日与青海晶科能源有限公司签订《设备采购合同》,松瓷机电向青海晶科能源有限公司销售大尺寸单晶炉,合同金额约4.8亿元(含税)。公告显示,因松瓷机电商品平均验收周期为6-9个月,受本合同具体交货批次及验收
3月13日,奥特维发布公告称,公司控股子公司无锡松瓷机电有限公司(以下简称“松瓷机电”)近日与新疆晶品新能源有限公司签订《采购合同》,松瓷机电向新疆晶品新能源有限公司销售大尺寸单晶炉,合同金额约3.8亿元(含税)。本次合同金额约3.8亿元(含税)。因松瓷机电商品平均验收周期为6-9个月,受本
3月9日,京运通在投资者互动平台表示,乐山二期计划安装1200台左右的单晶炉。乐山二期目前正在建设中,初步预计将于今年年中点火。并表示,目前乐山一期约1000台单晶炉。
1月4日,华民股份发布公告称,公司控股子公司鸿新新能源与湖南宇晶机器股份有限公司签订《设备采购合同》,以自有或自筹资金购买金刚线晶硅切片机,合同金额约为700万元(含税),用于“年产10GW高效N型单晶硅棒、硅片项目”第一期建设。同日,华民股份另一则公告显示,公司控股子公司鸿新新能源分别与
在光伏产业链轰轰烈烈的扩产潮下,也带动着光伏设备企业订单数量的不断增加以及业绩的上涨。今年以来奥特维赶超去年火热态势,订单数量持续增长,再创历史新高。2022年设备订单再攀新高据北极星太阳能光伏网不完全统计,奥特维2021年全年光伏设备中标金额就已创新高,达9.31亿元。今年以来奥特维中标总
9月8日,双良节能发布公告,对外投资设立全资孙公司,作为在包头投建年产50GW单晶硅拉晶项目的投资运营主体,在包头继续扩大单晶硅项目的投资建设和生产。新公司注册资本20亿元,尚处于筹划阶段。2月22日,包头市人民政府与双良节能就40GW单晶硅项目合作签约,项目分两期建设,一期20GW项目已在包头建
8月20日,奥特维发布公告称,公司控股子公司无锡松瓷机电有限公司(以下简称“松瓷机电”)近日与天合光能(青海)晶硅有限公司签订《采购合同》,松瓷机电向天合光能(青海)晶硅有限公司销售SC-1600单晶炉,合同金额约2.6亿元(含税)。上述项目将于合同生效后4个月内分批次交货。因松瓷机电商品平均
日前,晶盛机电发布向特定对象发行股票募集说明书公告,本次向特定对象发行股票的发行对象不超过35名(含),为符合中国证监会规定条件的特定投资者,本次向特定对象发行的股票种类为中国境内上市人民币普通股(A股),每股面值为人民币1.00元。本次向特定对象发行股票的发行数量按照募集资金总额除以
根据梅耶博格披露的消息,其光伏以及特殊材料(如半导体等)的硅片设备和服务业务将出售给美国PSS公司(PrecisionSurfacingSolutions)。作为交易的一部分,梅耶博格目前在Thun的大部分生产设施、在Thun参与硅片技术相关的约100名员工以及全球相关的服务网点也都将转给PSS。该交易预计在2019年第一季度
请使用微信扫一扫
关注公众号完成登录
姓名: | |
性别: | |
出生日期: | |
邮箱: | |
所在地区: | |
行业类别: | |
工作经验: | |
学历: | |
公司名称: | |
任职岗位: |
我们将会第一时间为您推送相关内容!