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国产太阳能和LED生产设备将亮相秋季中国电子展

2010-10-15 14:03来源:北极星电力网新闻中心关键词:光伏发电光伏产业太阳能收藏点赞

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另一家参展商青岛赛瑞达设备制造有限公司也将展示低压化学气相淀积设备、等离子增强化学气相淀积设备和SRD-VGF单晶炉设备。其LPCVD用于淀积薄膜Poly-Si、Si3N4、SiO2、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅及难熔金属硅化物等多种薄膜。主要特性和优势如下:

◆对工艺时间、温度、气体流量、阀门动作、反应室压力实现自动控制;

◆采用进口压力控制系统,闭环控制,稳定性强;

◆采用进口耐腐蚀不锈钢管件、阀门,确保气路气密性;

◆具有完善的报警功能及安全互锁装置;

◆具有良好的人机界面,灵活的工艺性能。

在LED照明方面,中国的大功率特性衬底技术、加工稳定性以及对外延效率的提升率与国外相比,差距逐渐缩小,但是上游生产性外延设备一直主要依赖进口昂贵的国外产品。MOCVD等关键设备对LED产业发展具有举足轻重的作用,有识之士都呼吁中国相关部门要集中人才和资源进行重点开发,解决制造设备中的关键技术,掌握具有自主产权的核心技术,并尽早实现LED生产设备国产化量产。只有这样才会加快推动LED产业发展,降低LED相关产品的成本,实现健康、迅速地发展。

可喜的是,即将在第76届中国电子展亮相的国产LED生产设备为人们点燃了希望,以青岛华旗科技和青岛赛瑞达为代表的一批中国设备制造商在关注太阳能电池市场的同时,正把目光投向LED、LCD、电力电子器件等市场应用领域,并保持住价格优势,在新一轮的竞争中争取更大的市场空间。他们或将成为改变中国乃至世界LED生产设备市场格局的重要力量。

图2就是青岛华旗科技的一款适用于化合物半导体-LED/半导体照明等科研领域的外延及晶体生长MOCVD系统。该系统由生长室、气源、气体控制系统、真空系统、整机的计算机控制系统等组成,系统各工艺参数均可由计算机自动控制(WINDOW界面)。该产品可满足2"多片晶圆,支持GaN/GaAs等薄膜工艺、采用电阻加热/感应加热的结构形式,生产能力为2英寸1、3、6片。另外,该公司还承担了部分国家863项目(如半导体白光照明GaN生长的HVPE设备等)。

图2:华旗科技的MOCVD系统。

投稿与新闻线索:陈女士 微信/手机:13693626116 邮箱:chenchen#bjxmail.com(请将#改成@)

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