ALICAT MCE气体质量流量控制器真空管镀膜 江浙沪气体质量流量控制器厂家  MCV和MCE联系紧密，采用内置气动截止阀，适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上，防止在设定点为零时出现污染情况。

• 多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
• 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
• 耐用。MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。

•  ALICAT MCE气体质量流量控制器真空管镀膜 江浙沪气体质量流量控制器厂家   型号变体

  • 阀门内置（确保与SEMI端口长度一致）型号（MCE系列）
  • 阀门内置并加装气动截止阀的型号，适合真空应用（MCV系列）
  • 腐蚀性气体型号（MCS系列，见下文）

   ALICAT MCE气体质量流量控制器真空管镀膜 江浙沪气体质量流量控制器厂家   另有：

  • 阀门安装在外部的标准配置型号(MC系列)
   

  阀门选项

  您可以为您的质量流量控制器定制以下一种阀门，以确保在预期过程条件下保持最佳性能。

  • MCE系列—选配外部安装的小型比例控制阀
  • MCV系列—选配内部安装的小型比例控制阀以及外部下游安装的气动截止阀
   

  腐蚀性气体（MCES和MCVS系列）

  MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MCES和MCVS系列）可供选择。在该配置中，我们将阀门升级为303不锈钢阀门，传感器升级为316L不锈钢传感器，弹性体材料升级为FFKM。

   

  结构选项

  • 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
  • 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
  • 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO配件）
  • 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）
   

  性能选项

  • 流量累加器
  • 集成式电位计控制
  • 高精度或自定义校准