Aera  FC-R7800 氨气质量流量计 硅烷质量流量计 气体质量流量控制器

 Aera 创建于美国，是一家提供流体测量和控制产品及全套解决方案的跨国高科技企业，拥有研发及运营团队，掌握行业先进的流体测量及控制技术，专注于高科技工业领域的广泛应用，包括半导体、新能源、 新材料，平板显示、数据存储、工业镀膜、食品及化工分析等。Aera 的产品包高性能的气体质量流量控制仪器及测量仪器，Aera始终致力于为客户开发优化的解决方案及相关产品，客户包括但不限于原始设备制造商（OEM）和终端用户（END-USER）。

Aera® FC-7800 系列MFC提供的流量控制以极佳的可靠性和超高防漏的金属密封，适合大部分气体控制用，包含腐蚀性气体。 

 Aera  FC-R7800 氨气质量流量计 硅烷质量流量计 气体质量流量控制器

性能：

快速的响应,响应时间＜1秒.  

精度≤1%FS   线性度小于等于0.5%FS  重复性≤0.2%FS

易于整合——标准连接器和尺寸

高度的可靠性和稳定性

特点:

耐腐蚀性，流量范围从10sccm－200slm

VCR® 及 Swagelok®共容性连接

全金属密封

常关或常开的电磁控制阀

泄漏率1 x 10-10 atm-cc/sec of He